PECVD için Grafit Substrat Gofret Tutucu

PECVD Öne Çıkan Görsel için Grafit Substrat Gofret Tutucu

Kısa Açıklama:

VET Energy'nin Grafit Substrat Tutucusu, PECVD süreci boyunca levha hizalamasını ve stabilitesini koruyacak, kirlenmeyi önleyecek ve hasar riskini en aza indirecek şekilde tasarlanmıştır. Grafit Gofret Tutucu, güvenli ve eşit bir platform sağlayarak, tutarlı ve yüksek kaliteli biriktirme için gofretlerin plazmaya eşit şekilde maruz kalmasını sağlar. Yüksek termal iletkenliği ve olağanüstü mukavemeti ile bu tutucu, genel proses verimliliğinin ve ürün performansının iyileştirilmesine yardımcı olur.

Bize e-posta gönder PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

VET Enerji Grafit Substrat Gofret Tutucu, PECVD (Plazma Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme) prosesi için tasarlanmış hassas bir taşıyıcıdır. Bu yüksek kaliteli Grafit Substrat Tutucu, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahip, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden yapılmıştır. PECVD işlemi için istikrarlı bir destek platformu sağlayabilir ve film birikiminin tekdüzeliğini ve düzlüğünü sağlayabilir.

VET Energy PECVD proses grafit levha destek tablosu aşağıdaki özelliklere sahiptir:

▪Yüksek saflık:son derece düşük yabancı madde içeriği, filmin kirlenmesini önler, film kalitesini garanti eder.

▪Yüksek yoğunluk:yüksek yoğunluk, yüksek mekanik mukavemet, yüksek sıcaklık ve yüksek basınç PECVD ortamına dayanabilir.

▪İyi boyutsal kararlılık:Yüksek sıcaklıkta küçük boyut değişimi, proses stabilitesini sağlar.

▪Mükemmel termal iletkenlik:Gofretin aşırı ısınmasını önlemek için ısıyı etkili bir şekilde aktarın.

▪Güçlü korozyon direnci:çeşitli aşındırıcı gazlar ve plazmanın neden olduğu erozyona karşı koyabilir.

▪Özelleştirilmiş hizmet:Farklı boyut ve şekillerdeki grafit destek tablaları müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.

Ürün Avantajları

▪Film kalitesini artırın:Düzgün film birikimi sağlayın ve film kalitesini artırın.

▪Ekipman ömrünü uzatın:Mükemmel korozyon direnci, PECVD ekipmanının servis ömrünü uzatır.

▪Üretim maliyetlerini azaltın:Yüksek kaliteli grafit tepsiler hurda oranını azaltabilir ve üretim maliyetlerini azaltabilir.

SGL'den grafit malzeme:

Tipik parametre: R6510
Dizin	Test standardı	Değer	Birim
Ortalama tane büyüklüğü	ISO 13320	10	μm
Yığın yoğunluğu	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Açık gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek boyutu	DIN66133	1.8	μm
Geçirgenlik	DIN 51935	0,06	cm²/sn
Rockwell sertliği HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifik elektriksel direnç	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Eğilme mukavemeti	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basınç dayanımı	DIN 51910	130	MPa
Young modülü	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal genleşme(20-200°C)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Isı iletkenliği (20°C)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 büyük boyutlu levha işlemeyi destekleyen, yüksek verimli güneş pili üretimi için özel olarak tasarlanmıştır. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranlarına ve daha düşük üretim maliyetlerine olanak tanır.

Öğe	Tip	Numaralı gofret taşıyıcı
PEVCD Grefit tekne - 156 serisi	156-13 grefit tekne	144
	156-19 grefit tekne	216
	156-21 grefit tekne	240
	156-23 grafit tekne	308
PEVCD Grefit tekne - 125 serisi	125-15 grefit tekne	196
	125-19 grefit tekne	252
	125-21 grafit tekne	280