Yukarıda gösterildiği gibi tipik bir
İlk yarı:
▪ Isıtma Elemanı (ısıtma bobini):
Fırın tüpünün çevresine yerleştirilmiş, genellikle direnç tellerinden yapılmış olup, fırın tüpünün içini ısıtmak için kullanılır.
▪ Kuvars Tüp:
Yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve kimyasal olarak inert kalabilen yüksek saflıkta kuvarstan yapılmış sıcak oksidasyon fırınının çekirdeği.
▪ Gaz Beslemesi:
Fırın tüpünün üst veya yan tarafında bulunur, oksijeni veya diğer gazları fırın tüpünün içine taşımak için kullanılır.
▪ SS Flanş:
Kuvars tüpleri ve gaz hatlarını birbirine bağlayan, bağlantının sıkılığını ve stabilitesini sağlayan bileşenler.
▪ Gaz Besleme Hatları:
Gaz iletimi için MFC'yi gaz besleme portuna bağlayan borular.
▪ MFC (Kütle Akış Kontrol Cihazı):
Gerekli gaz miktarını tam olarak ayarlamak için kuvars tüpün içindeki gaz akışını kontrol eden bir cihaz.
▪ Havalandırma:
Egzoz gazını fırın borusunun içinden ekipmanın dışına çıkarmak için kullanılır.
Alt kısım:
▪ Tutucudaki Silikon Gofretler:
Silikon plakalar, oksidasyon sırasında eşit ısı sağlamak için özel bir Tutucuya yerleştirilmiştir.
▪ Gofret Tutucu:
Silikon levhayı tutmak ve işlem sırasında silikon levhanın sabit kalmasını sağlamak için kullanılır.
▪ Kaide:
Genellikle yüksek sıcaklığa dayanıklı bir malzemeden yapılmış, silikon plaka Tutucuyu tutan bir yapı.
▪ Asansör:
Silikon levhaların otomatik olarak yüklenmesi ve boşaltılması için Gofret tutucularını kuvars tüplerin içine ve dışına kaldırmak için kullanılır.
▪ Gofret Transfer Robotu:
Fırın tüpü cihazının yanında bulunan bu cihaz, silikon levhayı kutudan otomatik olarak çıkarıp fırın tüpüne yerleştirmek veya işlendikten sonra çıkarmak için kullanılır.
▪ Kaset Depolama Karuseli:
Kaset depolama karuseli, silikon plakalar içeren bir kutuyu depolamak için kullanılır ve robot erişimi için döndürülebilir.
▪ Gofret Kaseti:
Gofret kaseti, işlenecek silikon gofretlerin depolanması ve aktarılması için kullanılır.
Gönderim zamanı: Nis-22-2024