Yukarıda gösterildiği gibi tipik bir
İlk yarı:
Isıtma Elemanı (ısıtma bobini): Fırın tüpünün etrafında bulunur, genellikle direnç tellerinden yapılır ve fırın tüpünün içini ısıtmak için kullanılır.
Kuvars Tüp: Yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve kimyasal olarak inert kalabilen yüksek saflıkta kuvarstan yapılmış sıcak oksidasyon fırınının çekirdeği.
Gaz Beslemesi: Fırın tüpünün üst veya yan tarafında bulunur, oksijeni veya diğer gazları fırın tüpünün içine taşımak için kullanılır.
SS Flanş: kuvars tüpleri ve gaz hatlarını birbirine bağlayan, bağlantının sıkılığını ve stabilitesini sağlayan bileşenler.
Gaz Besleme Hatları: MFC'yi gaz iletimi için gaz besleme portuna bağlayan borular.
MFC (Kütle Akış Kontrol Cihazı): Gerekli gaz miktarını tam olarak ayarlamak için kuvars tüpün içindeki gaz akışını kontrol eden bir cihaz.
Havalandırma: Egzoz gazını fırın borusunun içinden ekipmanın dışına çıkarmak için kullanılır.
Alt kısmı
Tutucudaki Silikon Gofretler: Silikon gofretler, oksidasyon sırasında eşit ısı sağlamak için özel bir Tutucuya yerleştirilir.
Gofret Tutucu: Silikon gofreti tutmak ve işlem sırasında silikon gofretin sabit kalmasını sağlamak için kullanılır.
Kaide: Genellikle yüksek sıcaklığa dayanıklı bir malzemeden yapılmış, silikon levha Tutucuyu tutan bir yapı.
Asansör: Silikon levhaların otomatik olarak yüklenmesi ve boşaltılması için Gofret tutucularını kuvars tüplerin içine ve dışına kaldırmak için kullanılır.
Gofret Transfer Robotu: Fırın tüpü cihazının yan tarafında bulunur, silikon gofreti otomatik olarak kutudan çıkarıp fırın tüpüne yerleştirmek veya işlendikten sonra çıkarmak için kullanılır.
Kaset Depolama Karuseli: Kaset depolama karuseli, silikon plakalar içeren bir kutuyu depolamak için kullanılır ve robot erişimi için döndürülebilir.
Gofret Kaseti: Gofret kaseti, işlenecek silikon gofretlerin depolanması ve aktarılması için kullanılır.
Gönderim zamanı: Nis-22-2024