Erken ıslak aşındırma, temizleme veya külleme işlemlerinin gelişimini teşvik etti. Günümüzde plazma kullanılarak yapılan kuru aşındırma, ana aşındırma işlemi haline geldi. Plazma elektronlardan, katyonlardan ve radikallerden oluşur. Plazmaya uygulanan enerji en dıştaki elektronların oluşmasına neden olur.
Devamını oku