Silisyum Karbürsilikon ve karbon içeren sert bir bileşiktir ve doğada son derece nadir bulunan mozanit minerali olarak bulunur. Silisyum karbür parçacıkları, özellikle yarı iletken işlemlerde yüksek dayanıklılık gerektiren uygulamalarda yaygın olarak kullanılan çok sert seramikler oluşturmak üzere sinterleme yoluyla birbirine bağlanabilir.
SiC'nin fiziksel yapısı
SiC Kaplama Nedir?
SiC kaplama, yüksek korozyon ve ısı direncine ve mükemmel ısı iletkenliğine sahip, yoğun, aşınmaya dayanıklı bir silisyum karbür kaplamadır. Bu yüksek saflıkta SiC kaplama öncelikle yarı iletken ve elektronik endüstrilerinde levha taşıyıcıları, tabanları ve ısıtma elemanlarını aşındırıcı ve reaktif ortamlardan korumak için kullanılır. SiC kaplama aynı zamanda vakum fırınları ve yüksek vakumlu, reaktif ve oksijenli ortamlarda numune ısıtma için de uygundur.
Yüksek saflıkta SiC kaplama yüzeyi
SiC kaplama işlemi nedir?
Alt tabakanın yüzeyine ince bir silisyum karbür tabakası uygulanır.CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme). Biriktirme genellikle 1200-1300°C sıcaklıklarda gerçekleştirilir ve termal gerilimi en aza indirmek için altlık malzemesinin termal genleşme davranışı SiC kaplamayla uyumlu olmalıdır.
CVD SIC Kaplama FİLM KRİSTAL YAPISI
SiC kaplamanın fiziksel özellikleri esas olarak yüksek sıcaklık dayanımı, sertliği, korozyon direnci ve termal iletkenliğine yansır.
Tipik fiziksel parametreler genellikle aşağıdaki gibidir:
Sertlik: SiC kaplama tipik olarak 2000-2500 HV aralığında bir Vickers Sertliğine sahiptir, bu da onlara endüstriyel uygulamalarda son derece yüksek aşınma ve darbe direnci sağlar.
Yoğunluk: SiC kaplamalar tipik olarak 3,1-3,2 g/cm³ yoğunluğa sahiptir. Yüksek yoğunluk, kaplamanın mekanik mukavemetine ve dayanıklılığına katkıda bulunur.
Isı iletkenliği: SiC kaplamalar, tipik olarak 120-200 W/mK (20°C'de) aralığında yüksek bir termal iletkenliğe sahiptir. Bu, yüksek sıcaklıktaki ortamlarda iyi bir termal iletkenlik sağlar ve onu özellikle yarı iletken endüstrisindeki ısıl işlem ekipmanları için uygun hale getirir.
Erime noktası: silisyum karbürün erime noktası yaklaşık 2730°C'dir ve aşırı sıcaklıklarda mükemmel termal stabiliteye sahiptir.
Termal Genleşme Katsayısı: SiC kaplamalar, tipik olarak 4,0-4,5 µm/mK aralığında (25-1000°C'de) düşük bir doğrusal termal genleşme katsayısına (CTE) sahiptir. Bu, boyutsal stabilitesinin büyük sıcaklık farklarında mükemmel olduğu anlamına gelir.
Korozyon direnci: SiC kaplamalar güçlü asit, alkali ve oksitleyici ortamlarda, özellikle güçlü asitler (HF veya HCl gibi) kullanıldığında korozyona karşı son derece dayanıklıdır, korozyon dirençleri geleneksel metal malzemelerin çok ötesindedir.
SiC kaplamalar aşağıdaki malzemelere uygulanabilir:
Yüksek saflıkta izostatik grafit (düşük CTE)
Tungsten
Molibden
Silisyum Karbür
Silisyum Nitrür
Karbon-Karbon Kompozitleri (CFC)
SiC kaplamalı ürünler yaygın olarak aşağıdaki alanlarda kullanılmaktadır:
LED çip üretimi
Polisilikon üretimi
Yarı iletkenkristal büyümesi
Silikon veSiC epitaksi
Gofret ısıl işlemi ve aşındırma
Neden VET Energy'yi seçmelisiniz?
VET Energy, Çin'deki SiC kaplama ürünlerinin lider üreticisi, yenilikçisi ve lideridir; ana SiC kaplama ürünleri şunları içerir:SiC kaplamalı levha taşıyıcı, SiC kaplıepitaksiyel suseptör, SiC kaplı grafit halka, SiC kaplamalı yarım ay parçalar, SiC kaplı karbon-karbon kompozit, SiC kaplı gofret teknesi, SiC kaplı ısıtıcıVET Energy, yarı iletken endüstrisine en üst düzey teknolojiyi ve ürün çözümlerini sağlamaya kararlıdır ve özelleştirme hizmetlerini destekler. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı içtenlikle bekliyoruz.
Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.
Whatsapp&Wechat:+86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Gönderim zamanı: 18 Ekim 2024