Kimyasal buhar biriktirme (CVD) ince film biriktirme teknolojisine giriş

Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD), genellikle çeşitli fonksiyonel filmler ve ince katmanlı malzemeler hazırlamak için kullanılan önemli bir ince film biriktirme teknolojisidir ve yarı iletken imalatında ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılır.

1. CVD'nin çalışma prensibi

CVD işleminde, bir gaz öncüsü (bir veya daha fazla gaz halindeki öncü bileşik) substrat yüzeyiyle temas ettirilir ve belirli bir sıcaklığa ısıtılarak kimyasal bir reaksiyona neden olur ve istenen film veya kaplamayı oluşturmak üzere substrat yüzeyinde birikmeye neden olur. katman. Bu kimyasal reaksiyonun ürünü bir katıdır, genellikle istenen malzemenin bir bileşiğidir. Silikonu bir yüzeye yapıştırmak istiyorsak öncü gaz olarak triklorosilan (SiHCl3) kullanabiliriz: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silikon açıkta kalan herhangi bir yüzeye (hem iç hem de dış) bağlanacak, klor ve hidroklorik asit gazları ise odadan taburcu edilecektir.

2. CVD sınıflandırması

Termal CVD: Öncü gazı ayrıştırmak ve alt tabaka yüzeyinde biriktirmek için ısıtarak. Plazmayla Geliştirilmiş CVD (PECVD): Reaksiyon hızını arttırmak ve biriktirme sürecini kontrol etmek için termal CVD'ye plazma eklenir. Metal Organik CVD (MOCVD): Öncü gazlar olarak metal organik bileşikler kullanılarak ince metal ve yarı iletken filmler hazırlanabilir ve genellikle LED gibi cihazların imalatında kullanılır.

3. Başvuru

(1) Yarı iletken üretimi

Silisit film: yalıtım katmanları, alt tabakalar, izolasyon katmanları vb. hazırlamak için kullanılır. Nitrür film: LED'lerde, güç cihazlarında vb. kullanılan silikon nitrür, alüminyum nitrür vb. hazırlamak için kullanılır. Metal film: iletken katmanlar hazırlamak için kullanılır, metalize katmanlar vb.

(2) Ekran teknolojisi

ITO filmi: Düz panel ekranlarda ve dokunmatik ekranlarda yaygın olarak kullanılan şeffaf iletken oksit film. Bakır film: Görüntüleme cihazlarının performansını artırmak amacıyla ambalaj katmanlarını, iletken hatları vb. hazırlamak için kullanılır.

(3) Diğer alanlar

Optik kaplamalar: yansıma önleyici kaplamalar, optik filtreler vb. dahil. Korozyon önleyici kaplama: otomotiv parçalarında, havacılık cihazlarında vb. kullanılır.

4. CVD sürecinin özellikleri

Reaksiyon hızını arttırmak için yüksek sıcaklık ortamını kullanın. Genellikle vakum ortamında gerçekleştirilir. Boyamadan önce parçanın yüzeyindeki kirletici maddeler temizlenmelidir. İşlemin kaplanabilecek alt tabakalar üzerinde sınırlamaları olabilir, yani sıcaklık sınırlamaları veya reaktivite sınırlamaları. CVD kaplama; dişler, kör delikler ve iç yüzeyler de dahil olmak üzere parçanın tüm alanlarını kaplayacaktır. Belirli hedef alanları maskeleme yeteneğini sınırlayabilir. Film kalınlığı proses ve malzeme koşullarıyla sınırlıdır. Üstün yapışma.