PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Maikling Paglalarawan:

Ang PECVD Loading Tray ng VET Energy ay idinisenyo upang magbigay ng secure at kahit na suporta para sa mga wafer sa panahon ng pagdedeposition, pagpapabuti ng pagkakapare-pareho at kalidad ng proseso ng pag-deposition. Sa napakahusay nitong paglaban sa init, nakakatulong ang Graphite Tray na mapanatili ang isang kontroladong kapaligiran sa loob ng mga silid ng PECVD, na binabawasan ang panganib ng kontaminasyon at tinitiyak ang mataas na kahusayan sa proseso.

Magpadala ng email sa amin I-download bilang PDF

Detalye ng Produkto

Mga Tag ng Produkto

Ang VET Energy PECVD loading tray ay isang precision carrier na idinisenyo para sa proseso ng PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ang mataas na kalidad na deposition graphite tray na ito ay gawa sa high-purity, high-density graphite material. Ito ay may mahusay na mataas na temperatura paglaban, kaagnasan pagtutol, dimensional katatagan at iba pang mga katangian. Maaari itong magbigay ng isang matatag na platform ng carrier para sa proseso ng PECVD at matiyak ang pagkakapareho at pagiging patag ng deposition ng pelikula.

Ang VET Energy PECVD loading trays ay malawakang ginagamit sa semiconductor, photovoltaic, LED at iba pang field. Halimbawa:

▪ Semiconductor: Proseso ng PECVD para sa mga materyal na semiconductor tulad ng mga silicon wafer at epitaxial wafer.

▪ Photovoltaic: Proseso ng PECVD para sa mga manipis na pelikula ng solar cell.

▪ LED: Proseso ng PECVD para sa mga LED chips.

Mga Bentahe ng Produkto

▪Pagbutihin ang kalidad ng pelikula:Tiyakin ang pare-parehong deposition ng pelikula at pagbutihin ang kalidad ng pelikula.

▪Palawakin ang buhay ng kagamitan:Napakahusay na paglaban sa kaagnasan, pahabain ang buhay ng serbisyo ng kagamitan ng PECVD.

▪Bawasan ang mga gastos sa produksyon:Maaaring bawasan ng mga de-kalidad na graphite tray ang scrap rate at bawasan ang mga gastos sa produksyon.

Graphite material mula sa SGL:

Karaniwang parameter: R6510
Index	Pamantayan sa pagsubok	Halaga	Yunit
Average na laki ng butil	ISO 13320	10	μm
Bulk density	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Buksan ang porosity	DIN66133	10	%
Katamtamang laki ng butas	DIN66133	1.8	μm
Pagkamatagusin	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ang tigas ng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Tukoy na resistivity ng kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Flexural na lakas	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Lakas ng compressive	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Thermal expansion(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Thermal conductivity (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ito ay partikular na idinisenyo para sa high-efficiency solar cell manufacturing, na sumusuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize na disenyo ng carrier ay makabuluhang nagpapataas ng throughput, na nagpapagana ng mas mataas na mga rate ng ani at mas mababang mga gastos sa produksyon.

item	Uri	Numero ng wafer carrier
PEVCD Grephite boat - Ang 156 series	156-13 grephite boat	144
	156-19 grephite boat	216
	156-21 grephite boat	240
	156-23 graphite boat	308
PEVCD Grephite boat - Ang 125 series	125-15 grephite boat	196
	125-19 grephite boat	252
	125-21 graphite na bangka	280