Ano ang function ng PECVD graphite boat?

Bilang carrier ng normal na mga wafer ng silikon sa produksyon ng proseso ng patong, angbangkang grapaytay may maraming mga wafer ng bangka na may tiyak na agwat sa istraktura, at mayroong isang napakakitid na espasyo sa pagitan ng dalawang katabing wafer ng bangka, at ang mga silicon na wafer ay inilalagay sa magkabilang panig ng walang laman na pinto.

Dahil ang graphite, ang materyal ng graphite boat, ay may magandang conductivity at thermal conductivity, isang AC boltahe ang inilalapat sa pagitan ng dalawang katabing bangka upang bumuo ng positibo at negatibong mga electrodes. Kapag mayroong isang tiyak na presyon ng hangin at gas sa silid, isang glow discharge ang nangyayari sa pagitan ng dalawang bangka. Ang glow discharge ay maaaring mabulok ang SiH4 at NH3 gas sa espasyo, bumuo ng Si at N ions, at pagsamahin upang bumuo ng mga molekula ng SiNx Ito ay idineposito sa ibabaw ng silicon wafer upang makamit ang layunin ng patong.

Bilang carrier ng solar cell antireflection coating, ang istraktura at laki ng graphite boat ay direktang nakakaapekto sa conversion efficiency at production efficiency ng silicon wafer. Pagkatapos ng mga taon ng teknikal na pananaliksik at pag-unlad, ang aming kumpanya ay mayroon na ngayong mga advanced na kagamitan sa produksyon, mga mature na taga-disenyo ng teknolohiya at may karanasan na mga tauhan ng produksyon, at ang mga materyales ay imported na hilaw na materyales. Sa kasalukuyan, ang graphite boat na ginawa ng aming kumpanya ay may mga bentahe ng mataas na kahusayan Ang istraktura ay simple at ang distansya sa pagitan ng graphite boat ay makatwiran, na ginagawang ang patong ng silicon wafer uniporme, nagpapabuti sa kalidad ng silicon wafer, at gumagawa mataas ang kahusayan ng conversion ng solar energy. Ang kumpanya ng Shijin ay mayroong lahat ng uri ng mga bangkang tinta na kailangan ng merkado ngayon

21


Oras ng post: Abr-08-2021
WhatsApp Online Chat!