Ang fan out wafer level packaging (FOWLP) ay isang cost-effective na paraan sa industriya ng semiconductor. Ngunit ang karaniwang mga side effect ng prosesong ito ay warping at chip offset. Sa kabila ng patuloy na pagpapabuti ng wafer level at panel level fan out na teknolohiya, umiiral pa rin ang mga isyung ito na nauugnay sa paghubog.
Ang warping ay sanhi ng kemikal na pag-urong ng liquid compression molding compound (LCM) sa panahon ng paggamot at paglamig pagkatapos ng paghubog. Ang pangalawang dahilan ng pag-warping ay ang mismatch sa koepisyent ng thermal expansion (CTE) sa pagitan ng silicon chip, molding material, at substrate. Ang offset ay dahil sa ang katunayan na ang malapot na mga materyales sa paghubog na may mataas na nilalaman ng tagapuno ay kadalasang magagamit lamang sa ilalim ng mataas na temperatura at mataas na presyon. Habang ang chip ay naayos sa carrier sa pamamagitan ng pansamantalang pagbubuklod, ang pagtaas ng temperatura ay palambutin ang malagkit, at sa gayon ay humihina ang lakas ng malagkit nito at binabawasan ang kakayahang ayusin ang chip. Ang pangalawang dahilan para sa offset ay ang presyon na kinakailangan para sa paghubog ay lumilikha ng stress sa bawat chip.
Upang makahanap ng mga solusyon sa mga hamong ito, nagsagawa ang DELO ng feasibility study sa pamamagitan ng pag-bonding ng isang simpleng analog chip sa isang carrier. Sa mga tuntunin ng pag-setup, ang carrier wafer ay pinahiran ng pansamantalang bonding adhesive, at ang chip ay nakaharap sa ibaba. Kasunod nito, ang wafer ay hinulma gamit ang mababang lagkit na DELO adhesive at pinagaling ng ultraviolet radiation bago alisin ang carrier wafer. Sa ganitong mga aplikasyon, ang mataas na lagkit na thermosetting molding composites ay karaniwang ginagamit.
Inihambing din ng DELO ang warpage ng mga thermosetting molding material at UV cured na produkto sa eksperimento, at ang mga resulta ay nagpakita na ang mga tipikal na molding na materyales ay mag-warp sa panahon ng paglamig pagkatapos ng thermosetting. Samakatuwid, ang paggamit ng ultraviolet curing sa temperatura ng silid sa halip na heating curing ay lubos na makakabawas sa epekto ng thermal expansion coefficient mismatch sa pagitan ng molding compound at ng carrier, at sa gayon ay pinapaliit ang warping sa pinakamaraming posibleng lawak.
Ang paggamit ng ultraviolet curing materials ay maaari ding bawasan ang paggamit ng mga filler, at sa gayon ay binabawasan ang lagkit at Young's modulus. Ang lagkit ng modelong pandikit na ginamit sa pagsubok ay 35000 mPa · s, at ang modulus ng Young ay 1 GPa. Dahil sa kawalan ng pag-init o mataas na presyon sa materyal ng paghubog, ang chip offset ay maaaring mabawasan sa pinakamaraming lawak na posible. Ang isang tipikal na molding compound ay may lagkit na humigit-kumulang 800000 mPa · s at isang Young's modulus sa hanay ng dalawang digit.
Sa pangkalahatan, ipinakita ng pananaliksik na ang paggamit ng UV cured na materyales para sa malalaking lugar na paghuhulma ay kapaki-pakinabang para sa paggawa ng chip leader fan out wafer level packaging, habang pinapaliit ang warpage at chip offset sa pinakamaraming posibleng lawak. Sa kabila ng makabuluhang pagkakaiba sa mga thermal expansion coefficient sa pagitan ng mga materyales na ginamit, ang prosesong ito ay mayroon pa ring maraming aplikasyon dahil sa kawalan ng pagkakaiba-iba ng temperatura. Bilang karagdagan, ang UV curing ay maaari ring bawasan ang oras ng paggamot at pagkonsumo ng enerhiya.
Binabawasan ng UV sa halip na thermal curing ang warpage at die shift sa fan-out na wafer-level na packaging
Paghahambing ng 12-pulgadang coated wafer na gumagamit ng thermally cured, high-filler compound (A) at UV-cured compound (B)
Oras ng post: Nob-05-2024