PECVD ýük daşaýan çöketlik grafit lagasy

PECVD ýükleýiş lýuboý grafit tarelkasy aýratyn surat

Gysga düşündiriş:

VET Energy-iň PECVD adingükleme lýubkasy, çöketlik döwründe wafli üçin ygtybarly we hatda goldaw bermek, çöketlik prosesiniň yzygiderliligini we hilini ýokarlandyrmak üçin niýetlenendir. Ajaýyp ýylylyk garşylygy bilen, Grafit Traý PECVD otaglarynyň içinde gözegçilik edilýän gurşawy saklamaga kömek edýär, hapalanmak howpuny azaldýar we ýokary iş netijeliligini üpjün edýär.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

VET Energy PECVD ýükleýiş lýubkasy, PECVD (plazmany güýçlendirilen himiki bug çökdürmek) prosesi üçin döredilen takyk göterijidir. Bu ýokary hilli çöketlik grafit lagasy ýokary arassalyk, ýokary dykyzlykly grafit materialdan ýasalýar. Ajaýyp ýokary temperatura garşylygy, poslama garşylygy, ölçegli durnuklylygy we beýleki aýratynlyklary bar. PECVD prosesi üçin durnukly daşaýjy platforma üpjün edip biler we film depozitiniň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün edip biler.

VET Energy PECVD ýükleýiş gaplary ýarymgeçiriji, fotoelektrik, LED we beýleki ugurlarda giňden ulanylýar. Mysal üçin:

Icarymgeçiriji: Silikon wafli we epitaksial wafli ýaly ýarymgeçiriji materiallar üçin PECVD prosesi.

Oto Fotowoltaik: Gün öýjükleriniň inçe filmleri üçin PECVD prosesi.

▪ LED: LED çipleri üçin PECVD prosesi.

Önümiň artykmaçlyklary

▪Filmiň hilini ýokarlandyrmak:Filmiň birmeňzeş ýerleşdirilmegini üpjün ediň we filmiň hilini ýokarlandyryň.

▪Enjamlaryň ömrüni uzaltmak:Ajaýyp poslama garşylyk, PECVD enjamlarynyň hyzmat möhletini uzaldyň.

▪Önüm çykdajylaryny azaltmak:Qualityokary hilli grafit gaplar döwük derejesini peseldip we önümçilik çykdajylaryny azaldyp biler.

SGL-den grafit materialy:

Adaty parametr: R6510
Indeks	Synag standarty	Gymmatlyk	Bölüm
Dänäniň ortaça ululygy	ISO 13320	10	μm
Köp dykyzlygy	DIN IEC 60413/204	1.83	g / sm³
Açyk gözenek	DIN66133	10	%
Orta gözenegiň ululygy	DIN66133	1.8	μm
Ygtyýarlylyk	DIN 51935	0.06	cm² / s
Rokwelliň gatylygy HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Electricörite elektrik garşylygy	DIN IEC 60413/402	13	μm
Fleksural güýç	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Sykyş güýji	DIN 51910	130	MPa
Youngaş modul	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Malylylyk giňelişi (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Malylylyk geçirijiligi (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 uly göwrümli wafli gaýtadan işlemegi goldaýan ýokary öndürijilikli gün öýjükleri öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimal göterijiniň dizaýny, has ýokary öndürijilik we önümçilik çykdajylaryny peseltmek mümkinçiligini ep-esli ýokarlandyrýar.

Haryt	Görnüşi	San wafli daşaýjy
PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýa	156-13 grefit gaýygy	144
	156-19 grefit gaýygy	216
	156-21 grefit gaýygy	240
	156-23 grafit gaýyk	308
PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýa	125-15 grefit gaýygy	196
	125-19 grefit gaýygy	252
	125-21 grfit gaýyk	280