PECVD üçin grafit substrat wafli saklaýjy

PECVD Aýratyn surat üçin grafit substrat wafli saklaýjy

Gysga düşündiriş:

VET Energy-iň grafit substrat eýesi, hapalanmagyň öňüni almak we zeper ýetmek howpuny azaltmak üçin PECVD prosesinde wafli deňleşmegi we durnuklylygy saklamak üçin işlenip düzülendir. “Graphite Wafer Holder”, wafleriň yzygiderli we ýokary hilli depozit üçin plazma deň derejede täsir etmegini üpjün edýän ygtybarly, hatda platforma üpjün edýär. Highokary ýylylyk geçirijiligi we ajaýyp güýji bilen bu saklaýjy, umumy iş netijeliligini we önüm öndürijiligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder, PECVD (Plazma Enhanced Himiki Bug Depozisi) prosesi üçin döredilen takyk göterijidir. Bu ýokary hilli grafit substrat saklaýjy, ýokary temperatura garşylygy, poslama garşylygy, ölçeg durnuklylygy we beýleki aýratynlyklary bilen ýokary arassalygy, ýokary dykyzlykly grafit materialyndan ýasalýar. PECVD prosesi üçin durnukly goldaw platformasyny üpjün edip biler we film depozitiniň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün edip biler.

VET Energy PECVD prosesi grafit wafli goldaw tablisasynda aşakdaky aýratynlyklar bar:

▪Purokary arassalyk:gaty pes hapalyk mazmuny, filmiň hapalanmagyndan gaça duruň, filmiň hilini üpjün ediň.

▪Dokary dykyzlyk:ýokary dykyzlygy, ýokary mehaniki güýji, ýokary temperatura we ýokary basyşly PECVD gurşawyna çydap biler.

▪Gowy ölçegli durnuklylyk:ýokary temperaturada kiçi ölçegli üýtgeşiklik, prosesiň durnuklylygyny üpjün edýär.

▪Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi:Wafli gyzmagyň öňüni almak üçin ýylylygy netijeli geçiriň.

▪Güýçli poslama garşylyk:dürli poslaýjy gazlar we plazma bilen eroziýa garşy durup biler.

▪Custöriteleşdirilen hyzmat:Müşderiniň isleglerine görä dürli ululykdaky we şekilli grafit goldaw tablisalary düzülip bilner.

Önümiň artykmaçlyklary

▪Filmiň hilini ýokarlandyrmak:Filmiň birmeňzeş ýerleşdirilmegini üpjün ediň we filmiň hilini ýokarlandyryň.

▪Enjamlaryň ömrüni uzaltmak:Ajaýyp poslama garşylyk, PECVD enjamlarynyň hyzmat möhletini uzaldyň.

▪Önüm çykdajylaryny azaltmak:Qualityokary hilli grafit gaplar döwük derejesini peseldip we önümçilik çykdajylaryny azaldyp biler.

SGL-den grafit materialy:

Adaty parametr: R6510
Indeks	Synag standarty	Gymmatlyk	Bölüm
Dänäniň ortaça ululygy	ISO 13320	10	μm
Köp dykyzlygy	DIN IEC 60413/204	1.83	g / sm³
Açyk gözenek	DIN66133	10	%
Orta gözenegiň ululygy	DIN66133	1.8	μm
Ygtyýarlylyk	DIN 51935	0.06	cm² / s
Rokwelliň gatylygy HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Electricörite elektrik garşylygy	DIN IEC 60413/402	13	μm
Fleksural güýç	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Sykyş güýji	DIN 51910	130	MPa
Youngaş modul	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Malylylyk giňelişi (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Malylylyk geçirijiligi (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 uly göwrümli wafli gaýtadan işlemegi goldaýan ýokary öndürijilikli gün öýjükleri öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimal göterijiniň dizaýny, has ýokary öndürijilik we önümçilik çykdajylaryny peseltmek mümkinçiligini ep-esli ýokarlandyrýar.

Haryt	Görnüşi	San wafli daşaýjy
PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýa	156-13 grefit gaýygy	144
	156-19 grefit gaýygy	216
	156-21 grefit gaýygy	240
	156-23 grafit gaýyk	308
PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýa	125-15 grefit gaýygy	196
	125-19 grefit gaýygy	252
	125-21 grfit gaýyk	280