PECVD Grafit Wafer goldawy

Gysga düşündiriş:

Takyklyk we öndürijilik üçin döredilen VET Energy-iň grafit wafli goldawy, ýokary ýylylyk durnuklylygy we yzygiderli öndürijiligi möhüm bolan ösen wafli gaýtadan işlemekde ulanmak üçin iň amatly materialdyr. Ondarymgeçiriji wafli ýa-da beýleki näzik substratlar bilen işleýärsiňizmi, bu ýokary hilli grafit goldawy, işiňiziň ygtybarlylygyny we önümiň hilini ýokarlandyrar we häzirki zaman önümçiliginiň aýrylmaz bölegine öwrüler.

Bize e-poçta iberiň PDF görnüşinde göçürip alyň

Önümiň jikme-jigi

Haryt bellikleri

VET Energy PECVD prosesi grafit wafli goldawy, PECVD (plazmany güýçlendirilen himiki bug çökdürmek) prosesi üçin işlenip düzülen ýadro. Bu önüm ýokary arassalygy, ýokary dykyzlykly grafit materialyndan ýasalan, ýokary ýokary temperatura garşylygy, poslama garşylygy, ölçegli durnuklylygy we beýleki aýratynlyklary bilen, film depozitiniň birmeňzeşligini we tekizligini üpjün etmek üçin PECVD prosesi üçin durnukly goldaw platformasyny üpjün edip biler.

“VET Energy” grafit wafli goldawynyň “grafit goldawy” dizaýny diňe bir wafli netijeli goldap bilmez, eýsem prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek üçin ýokary temperaturada we ýokary basyşly PECVD gurşawynda ýylylyk durnuklylygyny üpjün edip biler.

VET Energy PECVD prosesi grafit wafli goldawy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:

▪Purokary arassalyk:gaty pes haramlyk, filmiň hilini üpjün etmek üçin filmiň hapalanmagyndan gaça duruň.

▪Dokary dykyzlyk:ýokary dykyzlygy, ýokary mehaniki güýji, ýokary temperatura we ýokary basyşly PECVD gurşawyna çydap biler.

▪Gowy ölçegli durnuklylyk:prosesiň durnuklylygyny üpjün etmek üçin ýokary temperaturada kiçi ölçegli üýtgemeler.

▪Ajaýyp ýylylyk geçirijiligi:Wafli gyzmagyň öňüni almak üçin ýylylygy netijeli geçiriň.

▪Güýçli poslama garşylyk:Dürli poslaýjy gazlar we plazmalar bilen eroziýa garşy durmaga ukyply.

▪Custöriteleşdirilen hyzmat:Dürli ululykdaky we şekilli grafit goldaw tablisalary müşderiniň isleglerine görä düzülip bilner.

SGL-den grafit materialy:

Adaty parametr: R6510
Indeks	Synag standarty	Gymmatlyk	Bölüm
Dänäniň ortaça ululygy	ISO 13320	10	μm
Köp dykyzlygy	DIN IEC 60413/204	1.83	g / sm³
Açyk gözenek	DIN66133	10	%
Orta gözenegiň ululygy	DIN66133	1.8	μm
Ygtyýarlylyk	DIN 51935	0.06	cm² / s
Rokwelliň gatylygy HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Electricörite elektrik garşylygy	DIN IEC 60413/402	13	μm
Fleksural güýç	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Sykyş güýji	DIN 51910	130	MPa
Youngaş modul	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Malylylyk giňelişi (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Malylylyk geçirijiligi (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 uly göwrümli wafli gaýtadan işlemegi goldaýan ýokary öndürijilikli gün öýjükleri öndürmek üçin ýörite döredildi. Optimal göterijiniň dizaýny, has ýokary öndürijilik we önümçilik çykdajylaryny peseltmek mümkinçiligini ep-esli ýokarlandyrýar.

Haryt	Görnüşi	San wafli daşaýjy
PEVCD Grefit gaýygy - 156 seriýa	156-13 grefit gaýygy	144
	156-19 grefit gaýygy	216
	156-21 grefit gaýygy	240
	156-23 grafit gaýyk	308
PEVCD Grefit gaýygy - 125 seriýa	125-15 grefit gaýygy	196
	125-19 grefit gaýygy	252
	125-21 grfit gaýyk	280