CVD kremniy karbid örtüginiň taýýarlyk usullary we öndürijilik aýratynlyklary haýsylar?

CVD (Himiki bug çöketligi) kremniniň karbid örtüklerini taýýarlamak üçin giňden ulanylýan usuldyr.CVD kremniy karbid örtükleriköp üýtgeşik öndürijilik aýratynlyklaryna eýe. Bu makalada CVD kremniy karbid örtüginiň taýýarlanyş usuly we öndürijilik aýratynlyklary hödürlener.

1. Taýýarlyk usulyCVD kremniy karbid örtügi
CVD usuly gazly prekursorlary ýokary temperatura şertlerinde gaty kremniy karbid örtüklerine öwürýär. Dürli gazly prekursorlara görä, gaz fazasy CVD we suwuk faza CVD-e bölünip bilner.

1. Bug fazasy CVD
Bug fazasy CVD, kremniý karbid filmleriniň ösmegine ýetmek üçin gazly prekursorlary, adatça organosilikon birleşmelerini ulanýar. Köplenç ulanylýan organosilikon birleşmelerine gaz prekursorlaryny ýokary temperaturaly reaksiýa kameralaryna daşamak arkaly metal substratlarda kremniy karbid filmlerini emele getirýän metilsilan, dimetilsilan, monosilana we ş.m. degişlidir. Reaksiýa kamerasyndaky ýokary temperaturaly ýerler, adatça induksiýa ýylylygy ýa-da garşylykly ýyladyş arkaly emele gelýär.

2. Suwuk faza CVD
Suwuk fazaly CVD suwuk prekursor ulanýar, adatça kremnini we silanol birleşmesini öz içine alýan organiki erginç, reaksiýa kamerasynda gyzdyrylýar we buglanýar, soňra himiki reaksiýa arkaly substratda kremniy karbid filmi emele gelýär.

2. Öndürijilik aýratynlyklaryCVD kremniy karbid örtügi

1. Ajaýyp ýokary temperatura öndürijiligi
CVD kremniy karbid örtükleriajaýyp ýokary temperatura durnuklylygyny we okislenme garşylygyny hödürläň. Highokary temperaturaly şertlerde işlemäge ukyply we ýokary temperaturada aşa şertlere çydap bilýär.

2. Gowy mehaniki aýratynlyklar
CVD kremniy karbid örtügigaty berkligi we gowy eşik garşylygy bar. Metal substratlary könelmekden we poslamakdan goraýar, materialyň hyzmat möhletini uzaldýar.

3. Ajaýyp himiki durnuklylyk
CVD kremniy karbid örtüklerikislotalar, aşgarlar we duzlar ýaly umumy himiki maddalara ýokary çydamlydyr. Himiki hüjüme we substratyň poslamagyna garşy.

4. Pes sürtülme koeffisiýenti
CVD kremniy karbid örtügipes sürtülme koeffisiýenti we gowy ýaglaýjy häsiýetleri bar. Sürtülmäni we könelmegi peseldýär we material ulanmagyň netijeliligini ýokarlandyrýar.

5. Gowy ýylylyk geçirijiligi
CVD kremniy karbid örtügi gowy ýylylyk geçirijilik aýratynlyklaryna eýedir. Heatylylygy çalt geçirip, demir bazasynyň ýylylyk paýlanyş netijeliligini ýokarlandyryp biler.

6. Ajaýyp elektrik izolýasiýa aýratynlyklary
CVD kremniy karbid örtügi gowy elektrik izolýasiýa häsiýetine eýedir we häzirki syzmagyň öňüni alyp biler. Elektron enjamlaryň izolýasiýa goragynda giňden ulanylýar.

7. Düzülip bilinýän galyňlyk we kompozisiýa
CVD prosesinde şertlere we deslapky konsentrasiýa gözegçilik etmek bilen, kremniy karbid filminiň galyňlygy we düzümi sazlanyp bilner. Bu dürli programmalar üçin köp sanly we çeýeligi üpjün edýär.

Gysgaça aýdylanda, CVD kremniy karbid örtügi ýokary ýokary temperatura öndürijiligine, ajaýyp mehaniki aýratynlyklaryna, himiki durnuklylygyna, pes sürtülme koeffisiýentine, gowy ýylylyk geçirijiligine we elektrik izolýasiýa aýratynlyklaryna eýedir. Bu häsiýetler, elektronika, optika, aerokosmos, himiýa senagaty we ş.m. ýaly köp ugurlarda giňden ulanylýan CVD kremniy karbid örtüklerini döredýär.