VET Energy aşa ýokary arassalygy ulanýarkremniy karbid (SiC)himiki bug çökdürilmegi netijesinde emele gelýär(CVD)ösmeginiň çeşmesi hökmündeSiC kristallaryfiziki bug transporty (PVT) arkaly. PVT-de çeşme materialy awajypwe tohum kristalyna sublimasiýa edildi.
Qualityokary hilli öndürmek üçin ýokary arassalyk çeşmesi talap edilýärSiC kristallary.
VET Energy, PVT üçin uly bölejikli SiC bilen üpjün etmekde ýöriteleşendir, sebäbi Si we C öz içine alýan gazlaryň öz-özünden ýanmagy netijesinde emele gelen ownuk bölejik materiallardan has ýokary dykyzlygy bar. Gaty fazaly sintezlemekden ýa-da Si we C reaksiýasyndan tapawutlylykda, ýörite peçli peç ýa-da ösüş peçinde köp wagt talap edýän ädim gerek däl. Bu uly bölejikli material, yzygiderli bugarmak derejesine eýe bolup, işlemegiň birmeňzeşligini ýokarlandyrýar.
Giriş:
1. CVD-SiC blok çeşmesini taýýarlaň: Ilki bilen ýokary arassalygy we ýokary dykyzlygy bolan ýokary hilli CVD-SiC blok çeşmesini taýýarlamaly. Muny degişli reaksiýa şertlerinde himiki bug çökdürmek (CVD) usuly bilen taýýarlap bolýar.
2. Substrat taýýarlygy: SiC ýeke kristal ösmegi üçin substrat hökmünde laýyk substrat saýlaň. Köplenç ulanylýan substrat materiallara ösýän SiC ýeke kristaly bilen gowy gabat gelýän kremniy karbid, kremniý nitrid we ş.m. degişlidir.
3. atingyladyş we sublimasiýa: CVD-SiC blok çeşmesini we substraty ýokary temperaturaly peje ýerleşdiriň we degişli sublimasiýa şertlerini üpjün ediň. Sublimasiýa, ýokary temperaturada blok çeşmesiniň gatydan bug ýagdaýyna gönüden-göni üýtgeýändigini, soň bolsa substratyň üstünde gaýtadan kondensasiýa edilip, bir kristal emele gelýändigini aňladýar.
4. Temperatura gözegçiligi: Sublimasiýa prosesinde, blok çeşmesiniň sublimasiýasyny we ýeke kristallaryň ösmegini öňe sürmek üçin temperatura gradiýenti we temperatura paýlanyşy takyk gözegçilikde saklanmalydyr. Degişli temperatura gözegçiligi kristal hiline we ösüş depginine ýetip biler.
5. Atmosfera gözegçiligi: Sublimasiýa prosesinde reaksiýa atmosferasyna hem gözegçilik edilmeli. Purokary arassa inert gazy (argon ýaly) adatça degişli basyşy we arassalygy saklamak we hapalar bilen hapalanmagynyň öňüni almak üçin daşaýjy gaz hökmünde ulanylýar.
6. hrustal kristal ösüşi: CVD-SiC blok çeşmesi sublimasiýa prosesinde bug fazasyna geçýär we ýekeje kristal gurluşy emele getirmek üçin substratyň üstünde gaýtadan işleýär. SiC ýeke kristallarynyň çalt ösmegine degişli sublimasiýa şertleri we temperatura gradient gözegçiligi arkaly ýetip bolýar.