Epitaksial Epi Grafit Barrel Suseptor

Epitaksial Epi Grafit Barrel Suseptor

Epitaksial Epi Grafit Barrel SuseptorDeposition ýa-da Epitaxy prosesleri ýaly önümçilik proseslerinde ýarymgeçiriji substratlary saklamak we gyzdyrmak üçin ulanylýan ýörite taýýarlanan goldaw we ýyladyş enjamy.

Onuň gurluşy adatça silindr görnüşli ýa-da birneme barrel şekilli, üstünde birnäçe jübü ýa-da wafli ýerleşdirmek üçin platformalar bar, ýyladyş usulyna baglylykda gaty ýa-da içi dizaýn bolup biler.

Epitaksial barrel duýgurlygynyň esasy wezipeleri:

-Substrate goldawy: birnäçe ýarymgeçiriji wafli ygtybarly saklaýar;
- atylylyk çeşmesi: ýyladyş arkaly ösmek üçin zerur ýokary temperaturany üpjün edýär;
-Temperaturanyň birmeňzeşligi: substratlaryň birmeňzeş gyzdyrylmagyny üpjün edýär;
-Rotasiýa: adatça temperaturanyň we gaz paýlanyşynyň birmeňzeşligini ýokarlandyrmak üçin ösüş wagtynda aýlanýar.

Epi grafit barrel duýgurlygynyň iş prinsipi:
- Epitaksial reaktorda barrel duýgurlygy zerur temperaturada gyzdyrylýar (adatça kremniniň epitaksiýasy üçin 1000 ℃ -1200;);
- Barrel duýgurlygy birmeňzeş temperatura paýlanyşyny we gaz akymyny üpjün etmek üçin aýlanýar;
-Raksiýa gazlary ýokary temperaturada dargap, substratyň üstünde epitaksial gatlaklary emele getirýär.

Goýmalar:
- Ilki bilen kremniniň epitaksial ösmegi üçin ulanylýar
- GaAs, InP we ş.m. ýaly beýleki ýarymgeçiriji materiallaryň epitaksiýasy üçin hem ulanylýar.

VET Energy himiki durnuklylygy ýokarlandyrmak üçin CVD-SiC örtükli ýokary arassa grafit ulanýar:

“VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor” -yň artykmaçlyklary:

- temperatureokary temperaturanyň durnuklylygy;
- Gowy termiki birmeňzeşlik;
- Önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyryp, bir wagtyň özünde birnäçe substraty gaýtadan işläp bolýar;
-Hemiki taýdan inert, ýokary arassa ösüş gurşawyny saklamak.