ตัวรับเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์สำหรับเวเฟอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

ตัวรับเคลือบคาร์ไบด์แทนทาลัม VET Energy สำหรับเวเฟอร์เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

การเคลือบ TaC เป็นการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ชนิดหนึ่งที่เตรียมโดยเทคโนโลยีการสะสมไอทางกายภาพ โดยมีลักษณะดังต่อไปนี้:

1. ความแข็งสูง: ความแข็งของการเคลือบ TaC สูง มักจะสามารถเข้าถึง 2500-3000HV เป็นการเคลือบแข็งที่ดีเยี่ยม

2. ความต้านทานการสึกหรอ: การเคลือบ TaC ทนต่อการสึกหรอได้มาก ซึ่งสามารถลดการสึกหรอและความเสียหายของชิ้นส่วนเครื่องจักรกลระหว่างการใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ

3. ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดี: การเคลือบ TaC ยังสามารถรักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมภายใต้สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง

4. ความเสถียรทางเคมีที่ดี: การเคลือบ TaC มีความเสถียรทางเคมีที่ดีและสามารถต้านทานปฏิกิริยาทางเคมีหลายชนิด เช่น กรดและเบส

6 (3)
แทนทาลัมคาร์ไบด์ CVD เคลือบ EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

คุณสมบัติทางกายภาพของ แทค การเคลือบ

密度/ ความหนาแน่น

14.3 (ก./ซม.)

比辐射率 /การแผ่รังสีจำเพาะ

0.3

热膨胀系数 / สัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อน

6.3 10-6/K

努氏硬度/ ความแข็ง (ฮ่องกง)

2000 ฮ่องกง

电阻 / ความต้านทาน

1×10-5 โอห์ม*ซม

热稳定性 / เสถียรภาพทางความร้อน

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์

-10~-20um

涂层厚度 /ความหนาของชั้นเคลือบ

≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd เป็นองค์กรที่มีเทคโนโลยีสูงโดยมุ่งเน้นที่การผลิตและจำหน่ายวัสดุขั้นสูงระดับไฮเอนด์ วัสดุและเทคโนโลยีที่ครอบคลุมกราไฟท์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ เซรามิก การรักษาพื้นผิว และอื่นๆ ผลิตภัณฑ์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในเซลล์แสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ พลังงานใหม่ โลหะวิทยา ฯลฯ

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!