เครื่องมือที่ดำเนินงานอย่างดี ทีมงานผู้เชี่ยวชาญที่ให้ผลกำไร และผลิตภัณฑ์และบริการหลังการขายที่ดีกว่ามาก นอกจากนี้เรายังเป็นคู่สมรสและลูกที่สำคัญที่เป็นหนึ่งเดียวกัน ทุกคนยึดมั่นในผลประโยชน์ของบริษัท "การรวมกัน การอุทิศตน ความอดทน" สำหรับพายเท้าแขนซิลิคอนคาร์ไบด์ RBSIC/SISIC คุณภาพดีที่ใช้ในอุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์พลังงานแสงอาทิตย์ เรายินดีต้อนรับทั้งสองจากต่างประเทศและในประเทศอย่างจริงใจ สหายองค์กรธุรกิจและหวังว่าจะได้ร่วมงานกับคุณในระยะยาว!
เครื่องมือที่ดำเนินงานอย่างดี ทีมงานผู้เชี่ยวชาญที่ให้ผลกำไร และผลิตภัณฑ์และบริการหลังการขายที่ดีกว่ามาก นอกจากนี้เรายังเป็นคู่สมรสและบุตรที่สำคัญที่เป็นเอกภาพ ทุกคนยึดมั่นในผลประโยชน์ของบริษัท "ความสามัคคี การอุทิศตน ความอดทน" สำหรับประเทศจีน เซรามิกทนไฟและเตาเผาเซรามิกเพื่อตอบสนองความต้องการของลูกค้าแต่ละรายสำหรับบริการที่สมบูรณ์แบบและสินค้าที่มีคุณภาพมีเสถียรภาพมากขึ้น เรายินดีต้อนรับลูกค้าอย่างอบอุ่นทั่วโลกเพื่อเยี่ยมชมเรา ด้วยความร่วมมือหลายแง่มุมของเรา และร่วมกันพัฒนาตลาดใหม่ สร้างอนาคตที่สดใส!
การเคลือบ SiC/เคลือบสารตั้งต้นกราไฟท์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ ตัวรับจะยึดและให้ความร้อนกับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างการประมวลผลด้วยความร้อน ซัพเซพเตอร์ทำจากวัสดุที่ดูดซับพลังงานโดยการเหนี่ยวนำ การนำ และ/หรือการแผ่รังสี และทำให้แผ่นเวเฟอร์ร้อนขึ้น การต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน การนำความร้อน และความบริสุทธิ์มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) กราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์, ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) และซิลิคอน (Si) มักใช้สำหรับตัวรับ ขึ้นอยู่กับสภาพแวดล้อมทางความร้อนและทางเคมีที่เฉพาะเจาะจง วัสดุบริสุทธิ์พิเศษ PureSiC® CVD SiC และ ClearCarbon™ ซึ่งให้ความเสถียรทางความร้อน ความต้านทานการกัดกร่อน และความทนทานที่เหนือกว่า รายละเอียดสินค้า
การเคลือบ SiC ของซับสเตรตกราไฟท์สำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์จะสร้างชิ้นส่วนที่มีความบริสุทธิ์ที่เหนือกว่าและต้านทานต่อบรรยากาศออกซิไดซ์
CVD SiC หรือ CVI SiC ถูกนำไปใช้กับกราไฟท์ของชิ้นส่วนการออกแบบที่เรียบง่ายหรือซับซ้อน การเคลือบสามารถใช้ได้กับความหนาต่าง ๆ และกับชิ้นส่วนที่มีขนาดใหญ่มาก
เซรามิกเชิงเทคนิคเป็นตัวเลือกที่เป็นธรรมชาติสำหรับการใช้งานในการประมวลผลด้วยความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึง RTP (การประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว), Epi (Epitaxial), การแพร่กระจาย, ออกซิเดชัน และการหลอม CoorsTek นำเสนอส่วนประกอบวัสดุขั้นสูงที่ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อให้ทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน ด้วยประสิทธิภาพที่มีความบริสุทธิ์สูง ทนทาน และสามารถทำซ้ำได้ในอุณหภูมิสูง
คุณสมบัติ:
· ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อนได้ดีเยี่ยม
· ทนต่อแรงกระแทกทางกายภาพได้ดีเยี่ยม
· ทนสารเคมี ดีเยี่ยม
· มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ
· มีจำหน่ายในรูปทรงที่ซับซ้อน
· ใช้งานได้ภายใต้บรรยากาศออกซิไดซ์
แอปพลิเคชัน:
เวเฟอร์ต้องผ่านหลายขั้นตอนก่อนที่จะพร้อมใช้งานในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ กระบวนการที่สำคัญอย่างหนึ่งคือซิลิคอนเอพิแทกซี ซึ่งเวเฟอร์จะถูกลำเลียงไปยังตัวรับกราไฟท์ คุณสมบัติและคุณภาพของตัวรับมีผลอย่างมากต่อคุณภาพของชั้นเยื่อบุผิวของเวเฟอร์
คุณสมบัติทั่วไปของวัสดุกราไฟท์ฐาน:
| ความหนาแน่นปรากฏ: | 1.85 ก./ซม.3 |
| ความต้านทานไฟฟ้า: | 11 ไมโครโอห์มม |
| แรงดัดงอ: | 49 เมกะปาสคาล (500kgf/cm2) |
| ความแข็งฝั่ง: | 58 |
| เถ้า: | <5 หน้าต่อนาที |
| การนำความร้อน: | 116 วัตต์/กิโลแคลอรี (100 กิโลแคลอรี/เมกะเฮิรตซ์-℃) |
ผลิตภัณฑ์เพิ่มเติม
