PECVD новаи боркунии новаи графитӣ

PECVD Тасвири Тавсифи Тасвири Графити Ҷойгиркунии Табақи Боркунӣ

Тавсифи кӯтоҳ:

Табақи боркунаки PECVD-и VET Energy барои таъмини бехатар ва ҳатто дастгирии вафли ҳангоми таҳшинкунӣ тарҳрезӣ шудааст, ки пайвастагӣ ва сифати раванди таҳшинро беҳтар мекунад. Бо муқовимати аълои гармии худ, новаи графитӣ дар нигоҳ доштани муҳити назоратшаванда дар дохили камераҳои PECVD, коҳиш додани хатари ифлосшавӣ ва таъмини самаранокии баланди раванд кӯмак мекунад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед Ҳамчун PDF зеркашӣ кунед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Табақи боркунии VET Energy PECVD як интиқолдиҳандаи дақиқест, ки барои раванди PECVD (таҳвили буғи химиявии мукаммали плазма) пешбинӣ шудааст. Ин табақи графити баландсифат аз маводи графити тоза ва зичии баланд сохта шудааст. Он дорои муқовимати аълои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва дигар хусусиятҳо мебошад. Он метавонад як платформаи интиқолдиҳандаи устуворро барои раванди PECVD таъмин кунад ва якранг ва ҳамвор будани таҳшиншавии филмро таъмин кунад.

Зарфҳои боркунии VET Energy PECVD дар нимноқилҳо, фотоэлектрикҳо, LED ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешаванд. Барои намуна:

▪ Нимноқил: Раванди PECVD барои маводи нимноқилӣ ба монанди пластинҳои кремний ва вафли эпитаксиалӣ.

▪ Фотоэлектрикӣ: Раванди PECVD барои филмҳои тунуки ҳуҷайраҳои офтобӣ.

▪ LED: Раванди PECVD барои микросхемаҳои LED.

Афзалиятҳои маҳсулот

▪Беҳтар кардани сифати филм:якхела гузоштани плёнка ва бехтар намудани сифати плёнка таъмин карда шавад.

▪Муддати таҷҳизотро дароз кунед:Муқовимати аъло ба зангзанӣ, дароз кардани мӯҳлати хидмати таҷҳизоти PECVD.

▪Кам кардани хароҷоти истеҳсолӣ:Ҷӯйборҳои баландсифати графитӣ метавонанд суръати бракро кам кунанд ва хароҷоти истеҳсолро кам кунанд.

Маводи графити SGL:

Параметри маъмулӣ: R6510
Индекс	Стандарти санҷишӣ	Арзиш	Воҳиди
Андозаи миёнаи дона	ISO 13320	10	мкм
Зичии масса	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Порозияи кушода	DIN66133	10	%
Андозаи сӯрохи миёна	DIN66133	1.8	мкм
Гузаришнокӣ	DIN 51935	0,06	см²/с
Сахтии Роквелл HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Муқовимати хоси электрикӣ	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Қувваи флексия	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қувваи фишор	DIN 51910	130	МПа
Модули ҷавон	DIN 51915	11,5×103	МПа
Тавсеаи гармидиҳӣ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Қобилияти гармидиҳӣ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Он махсусан барои истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобии баландсифат тарҳрезӣ шудааст, ки коркарди вафли калонҳаҷми G12-ро дастгирӣ мекунад. Тарҳрезии оптимизатсияи интиқолдиҳанда қобилияти интиқолро ба таври назаррас афзоиш дода, имкон медиҳад, ки суръати баландтари ҳосилнокӣ ва кам кардани хароҷоти истеҳсолот.

Адад	Навъи	Рақами интиқолдиҳандаи вафли
PEVCD заврақи Грефит - Силсилаи 156	156-13 киштии грефитӣ	144
	156-19 киштии грофитӣ	216
	156-21 киштии грефитӣ	240
	156-23 киштии графитӣ	308
PEVCD қаиқ Grephite - Силсилаи 125	125-15 киштии грефитӣ	196
	125-19 киштии грефитӣ	252
	125-21 киштии грфит	280