VET Energy Graphite Substrate Wafer Дорандаи як интиқолдиҳандаи дақиқест, ки барои раванди PECVD (Plasma Enhanced Chemical Deposition Deposition) тарҳрезӣ шудааст. Ин Дорандаи Substrate Graphite-и баландсифат аз маводи графити баланд, зичии баланд бо муқовимати аълои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва дигар хусусиятҳо сохта шудааст. Он метавонад як платформаи устувори дастгирии раванди PECVD-ро таъмин кунад ва якранг ва ҳамвории таҳшиншавии филмро таъмин кунад.
Ҷадвали дастгирии вафли графити раванди VET Energy PECVD дорои хусусиятҳои зерин мебошад:
▪тозагии баланд:мазмуни ифлосии бениҳоят паст, пешгирӣ кардани ифлосшавии филм, таъмини сифати филм.
▪Зичии баланд:зичии баланд, қувваи баланди механикӣ, метавонад ҳарорати баланд ва фишори баланди муҳити PECVD тоб.
▪Устувории хуби андоза:тағирёбии андозаи хурд дар ҳарорати баланд, таъмини устувории раванд.
▪Қобилияти гармидиҳии аъло:гармиро самаранок интиқол медиҳанд, то аз ҳад зиёд гарм шудани вафлиро пешгирӣ кунанд.
▪Муқовимат ба зангзании қавӣ:ба эрозия бо газхои гуногуни зангзананда ва плазма тоб оварда метавонад.
▪Хадамоти фармоишӣ:Ҷадвалҳои дастгирии графити андоза ва шаклҳои гуногунро мувофиқи ниёзҳои муштариён фармоиш додан мумкин аст.
Афзалиятҳои маҳсулот
▪Беҳтар кардани сифати филм:якхела гузоштани плёнка ва бехтар намудани сифати плёнка таъмин карда шавад.
▪Муддати таҷҳизотро дароз кунед:Муқовимати аъло ба зангзанӣ, дароз кардани мӯҳлати хидмати таҷҳизоти PECVD.
▪Кам кардани хароҷоти истеҳсолӣ:Ҷӯйборҳои баландсифати графитӣ метавонанд суръати бракро кам кунанд ва хароҷоти истеҳсолро кам кунанд.
Маводи графити SGL:
| Параметри маъмулӣ: R6510 | |||
| Индекс | Стандарти санҷишӣ | Арзиш | Воҳиди |
| Андозаи миёнаи дона | ISO 13320 | 10 | мкм |
| Зичии масса | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | г/см3 |
| Порозияи кушода | DIN66133 | 10 | % |
| Андозаи сӯрохи миёна | DIN66133 | 1.8 | мкм |
| Гузаришнокӣ | DIN 51935 | 0,06 | см²/с |
| Сахтии Роквелл HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Муқовимати хоси электрикӣ | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкм |
| Қувваи флексия | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
| Қувваи фишор | DIN 51910 | 130 | МПа |
| Модули ҷавон | DIN 51915 | 11,5×103 | МПа |
| Тавсеаи гармидиҳӣ (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Қобилияти гармидиҳӣ (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Он махсусан барои истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобии баландсифат тарҳрезӣ шудааст, ки коркарди вафли калонҳаҷми G12-ро дастгирӣ мекунад. Тарҳрезии оптимизатсияи интиқолдиҳанда қобилияти интиқолро ба таври назаррас афзоиш дода, имкон медиҳад, ки суръати баландтари ҳосилнокӣ ва кам кардани хароҷоти истеҳсолот.
| Адад | Навъи | Рақами интиқолдиҳандаи вафли |
| PEVCD заврақи Грефит - Силсилаи 156 | 156-13 киштии грефитӣ | 144 |
| 156-19 киштии грофитӣ | 216 | |
| 156-21 киштии грефитӣ | 240 | |
| 156-23 киштии графитӣ | 308 | |
| PEVCD қаиқ Grephite - Силсилаи 125 | 125-15 киштии грефитӣ | 196 |
| 125-19 киштии грефитӣ | 252 | |
| 125-21 киштии грфит | 280 |
