Дастгирии Wafer Graphite PECVD

PECVD Graphite Wafer Дастгирии тасвири пешниҳодшуда

Тавсифи кӯтоҳ:

Дастгирии Wafer Graphite VET Energy барои дақиқ ва иҷрои тарҳрезӣ шудааст, маводи беҳтарин барои истифода дар коркарди пешрафтаи вафли аст, ки дар он устувории баланди гармӣ ва иҷрои пайваста муҳим аст. Новобаста аз он ки шумо бо вафли нимноқил ё дигар субстратҳои нозук кор мекунед, ин дастгирии графити баландсифат эътимоднокии раванд ва сифати маҳсулотро баланд бардошта, онро ҷузъи ҷудонашавандаи истеҳсоли муосир месозад.

Ба мо почтаи электронӣ фиристед Ҳамчун PDF зеркашӣ кунед

Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Дастгирии вафли графитӣ раванди VET Energy PECVD як ашёи асосии истеъмолӣ мебошад, ки барои раванди PECVD (таҳвили буғҳои кимиёвии мукаммали плазма) тарҳрезӣ шудааст. Ин маҳсулот аз маводи графити баланд, зичии баланд, бо муқовимати аълои ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва дигар хусусиятҳо сохта шудааст, метавонад як платформаи устувори дастгирии раванди PECVD-ро таъмин кунад, то якрангӣ ва ҳамвор будани таҳшиншавии филмро таъмин кунад.

Тарҳрезии "дастгирии графитӣ"-и пуштибони графити вафли VET Energy метавонад на танҳо вафлиро самаранок дастгирӣ кунад, балки устувории гармиро дар муҳити ҳарорати баланд ва фишори баланди PECVD барои таъмини устувории раванд таъмин кунад.

Дастгирии вафли графити раванди VET Energy PECVD дорои хусусиятҳои зерин мебошад:

▪тозагии баланд:мундариҷаи ифлосии бениҳоят паст, ифлосшавии филмро пешгирӣ кунед, то сифати филмро таъмин кунед.

▪Зичии баланд:зичии баланд, қувваи баланди механикӣ, метавонад ҳарорати баланд ва фишори баланди муҳити PECVD тоб.

▪Устувории хуби андоза:тағироти андозаи хурд дар ҳарорати баланд барои таъмини устувории раванд.

▪Қобилияти гармидиҳии аъло:гармиро самаранок интиқол медиҳанд, то аз ҳад зиёд гарм шудани вафлиро пешгирӣ кунанд.

▪Муқовимат ба зангзании қавӣ:Ба эрозия бо газҳои гуногуни зангзананда ва плазма муқовимат карда метавонад.

▪Хадамоти фармоишӣ:Ҷадвалҳои дастгирии графитҳои андоза ва шаклҳои гуногун метавонанд мувофиқи ниёзҳои муштариён фармоиш дода шаванд.

Маводи графити SGL:

Параметри маъмулӣ: R6510
Индекс	Стандарти санҷишӣ	Арзиш	Воҳиди
Андозаи миёнаи дона	ISO 13320	10	мкм
Зичии масса	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Порозияи кушода	DIN66133	10	%
Андозаи сӯрохи миёна	DIN66133	1.8	мкм
Гузаришнокӣ	DIN 51935	0,06	см²/с
Сахтии Роквелл HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Муқовимати хоси электрикӣ	DIN IEC 60413/402	13	мкм
Қувваи флексия	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қувваи фишор	DIN 51910	130	МПа
Модули ҷавон	DIN 51915	11,5×103	МПа
Тавсеаи гармидиҳӣ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Қобилияти гармидиҳӣ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Он махсусан барои истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобии баландсифат тарҳрезӣ шудааст, ки коркарди вафли калонҳаҷми G12-ро дастгирӣ мекунад. Тарҳрезии оптимизатсияи интиқолдиҳанда қобилияти интиқолро ба таври назаррас афзоиш дода, имкон медиҳад, ки суръати баландтари ҳосилнокӣ ва кам кардани хароҷоти истеҳсолот.

Адад	Навъи	Рақами интиқолдиҳандаи вафли
PEVCD заврақи Грефит - Силсилаи 156	156-13 киштии грефитӣ	144
	156-19 киштии грофитӣ	216
	156-21 киштии грефитӣ	240
	156-23 киштии графитӣ	308
PEVCD қаиқ Grephite - Силсилаи 125	125-15 киштии грефитӣ	196
	125-19 киштии грефитӣ	252
	125-21 киштии грфит	280