Чаро лоғар кардан лозим аст?

Дар марҳилаи раванди бозгашт, бавафли (вафли кремнийбо схемаҳо дар пеш) бояд пеш аз буридани минбаъда, кафшер ва бастабандӣ дар қафо лоғар карда шавад, то баландии васлкунии бастаро кам кунад, ҳаҷми бастаи чипро кам кунад, самаранокии диффузияи гармии чип, кори электрикӣ, хосиятҳои механикиро беҳтар кунад ва миқдори буридан. Суфтакунии бозгашт бартариҳои самаранокии баланд ва арзиши паст дорад. Он равандҳои анъанавии пошидани тар ва ионҳоро иваз карда, ба муҳимтарин технологияи бориккунии қафо табдил ёфт.

Вафли борикшуда

Чӣ тавр лоғар кардан?

Раванди асосии лоғаркунии вафли дар раванди бастабандии анъанавӣ

Қадамҳои мушаххасивафлиРастанӣ ин аст, ки вафли коркардшаванда ба филми тунук пайваст карда шавад ва пас аз вакуум барои адсорбатсия кардани филми тунук ва чипи он ба мизи вафли сафолии ковок истифода шавад, хатҳои марказии даврашаклии дарунӣ ва берунии сатҳи кории қаиқро танзим кунед. чархи суфтакунандаи алмосшакли коса ба маркази вафли кремний ва вафли кремний ва чархи суфтакунанда дар атрофи меҳварҳои мувофиқи худ давр мезананд барои буридани суфтакунӣ. Суфтакунӣ се марҳиларо дар бар мегирад: суфтакунии ноҳамвор, суфтакунии хуб ва сайқал додан.

Вафелье, ки аз заводи вафель мебарояд, барои тунук кардани вафель ба гафсии барои бастабандй зарурй боз суфта мешавад. Ҳангоми дастос кардани вафли, лента бояд ба пеш (Майдони фаъол) барои муҳофизат кардани майдони схема гузошта шавад ва тарафи қафо ҳамзамон хок карда мешавад. Пас аз суфтан, лентаро хориҷ кунед ва ғафсӣ чен кунед.
Равандҳои суфтакунӣ, ки дар тайёр кардани вафли кремний бомуваффақият татбиқ карда шудаанд, суфтакунии мизи гардишкунанда,вафли кремнийсуфтакунии гардиш, суфтакунии дутарафа ва ғайра. Бо такмили минбаъдаи талаботи сифати рӯи вафли кремнийи монокристалӣ, технологияҳои нави суфтакунӣ пайваста пешниҳод карда мешаванд, ба монанди суфтакунии TAIKO, суфтакунии механикии кимиёвӣ, суфтакунии сайқалдиҳанда ва суфтакунии диски сайёра.

Суфтакунии мизи гардиш:

Дастоскунии мизи гардишӣ (суфтакунии мизи гардишӣ) як раванди дастоскунии барвақт аст, ки дар тайёр кардани вафли кремний ва бориккунии пушт истифода мешавад. Принсипи он дар расми 1 нишон дода шудааст. Вафли кремний дар пиёлаҳои соркунандаи мизи гардиш ҷойгир карда шудаанд ва ба таври синхронӣ бо мизҳои даврзананда давр мезананд. Худи пластинкахои кремний дар атрофи мехвари худ давр намезананд; чархи суфтакунанда ҳангоми гардиш бо суръати баланд ба таври меҳвар ғизо дода мешавад ва диаметри чархи суфтакунанда аз диаметри пласти кремний калонтар аст. Ду намуди дастоскунии мизи гардишкунанда вуҷуд дорад: дастоскунии рӯйпӯшӣ ва суфтакунии тангенсиалӣ. Дар суфтакунии руй, паҳнои чархи дастос аз диаметри вафли кремний калонтар аст ва шпиндели чархи суфтакунанда пайваста бо самти меҳвари худ то коркарди зиёдатӣ ғизо медиҳад ва сипас пласти кремний дар зери гардонандаи мизи гардиш чарх мезанад; дар суфтакунии тангенсиалӣ чархи суфтакунанда аз рӯи самти меҳвари худ ҳаракат мекунад ва пластинкаи кремний дар зери чархи диски даврзананда пайваста гардиш карда, суфтакунӣ бо ғизодиҳии мутақобила (муқобила) ё хазанда (хаззанда) анҷом меёбад.

Тасвири 1, диаграммаи схематикии принсипи дастос кардани мизи гардиш (рӯи тангенсиалӣ).

Дар муқоиса бо усули дастос, суфтакунии мизи гардишӣ дорои бартариятҳои суръати баланди тозакунӣ, осеби хурди рӯизаминӣ ва автоматизатсияи осон мебошад. Аммо майдони воқеии суфтакунӣ (сустакунии фаъол) B ва кунҷи буриш θ (кунҷи байни ҳалқаи берунии чархи суфта ва доираи берунии пласти кремний) дар раванди суфтакунӣ бо тағйири мавқеи буриш тағйир меёбад. чархи суфтакунанда, ки дар натиҷа қувваи суфтакунандаи ноустувор ба вуҷуд меояд, ба даст овардани дақиқии беҳтарини рӯизаминиро душвор мегардонад (қимати баланди TTV) ва ба осонӣ ба камбудиҳо, аз қабили канор фурӯпошӣ ва фурӯпошии канор. Технологияи дастоскунии мизи гардишӣ асосан барои коркарди вафли кремнийи яккристалл аз 200 мм истифода мешавад. Афзоиши андозаи вафли кремнийи яккристаллӣ талаботҳои баландтарро нисбат ба дақиқии рӯизаминӣ ва дақиқии ҳаракати дастгоҳи корӣ ба миён овард, аз ин рӯ дастоскунии мизи гардиш барои суфтани вафли яккристаллӣ аз 300 мм мувофиқ нест.
Бо мақсади баланд бардоштани самаранокии дастос, таҷҳизоти суфтакунандаи ҳавопаймои тиҷории тангенсиалӣ одатан сохтори чархи бисёрсоҳаро қабул мекунад. Масалан, дар болои тачхизот як катор чарххои суфтакунандаи нохамвор ва як катор чарххои майдакунандаи суфтакунанда гузошта шудаанд ва столи гардишгар як давраро давр мезанад, то ки суфтакунии нохамвор ва майдакуниро бо навбат ба анчом расонад. Ин навъи таҷҳизот G-500DS-и ширкати амрикоии GTI-ро дар бар мегирад (Расми 2).

Тасвири 2, таҷҳизоти суфтакунандаи мизи гардиши G-500DS аз ширкати GTI дар Иёлоти Муттаҳида

Суфтакунии гардиши вафли кремний:

Бо мақсади қонеъ кардани эҳтиёҷоти тайёр кардани вафли кремнийи калонҳаҷм ва коркарди бориккунии қафо ва ба даст овардани дақиқии сатҳи бо арзиши хуби TTV. Соли 1988 олими ҷопонӣ Мацуи усули гардиши вафли кремнийро пешниҳод кард (дар суфтакунӣ). Принсипи он дар расми 3 нишон дода шудааст. Вафли кремнийи яккристаллӣ ва чархи суфтакунандаи алмосшакли косашакл, ки дар дастгоҳи корӣ адсорб карда шудааст, дар атрофи меҳварҳои мувофиқи худ давр мезананд ва чархи суфтакунанда дар як вақт аз рӯи самти меҳвар пайваста ғизо дода мешавад. Дар байни онхо диаметри чархи суфташуда аз диаметри пластинкаи кремнийи коркардшуда калонтар буда, гирду атрофи он аз маркази пластинки кремний мегузарад. Бо мақсади кам кардани қувваи суфтакунӣ ва кам кардани гармии суфтакунӣ, косаи вакуумӣ одатан ба шакли конвекс ё конкав бурида мешавад ё кунҷи байни шпиндели чархи суфтакунанда ва меҳвари шпиндели коса барои таъмини суфтакунии нимтамос байни суфтакунӣ танзим карда мешавад. чархи суфтакунанда ва пластинкаи кремний.

Тасвири 3, Диаграммаи схематикии принсипи суфтакунандаи гардиши кремний

Дар муқоиса бо дастоскунии мизи гардишӣ, суфтакунии гардиши кремний бартариҳои зерин дорад: ① дастоскунии якдафъаина метавонад вафли кремнийи калонҳаҷми зиёда аз 300 мм коркард карда шавад; ② Майдони воқеии суфтакунии B ва кунҷи буриши θ доимӣ аст ва қувваи суфтакунӣ нисбатан устувор аст; ③ Тавассути танзими кунҷи майл байни меҳвари чархи суфтакунанда ва меҳвари вафли кремний, шакли рӯи вафли кремнийи ягона кристаллӣ метавонад фаъолона назорат карда шавад, то дақиқии беҳтари шакли сатҳ ба даст ояд. Илова бар ин, майдони дастос ва кунҷи буриши θ аз суфтакунандаи гардиши кремний инчунин бартариҳои дастос кардани маржаи калон, ғафсии осони онлайн ва муайян ва назорати сифати рӯизаминӣ, сохтори таҷҳизоти паймон, дастоскунии осони бисёрсоҳаи ҳамгирошуда ва самаранокии баланди дастосро доранд.
Бо мақсади баланд бардоштани самаранокии истеҳсолот ва қонеъ кардани ниёзҳои хатҳои истеҳсолии нимноқилҳо, таҷҳизоти суфтакунандаи тиҷоратӣ дар асоси принсипи суфтакунии гардиши кремнийӣ сохтори бисёрсоҳаи истгоҳро қабул мекунад, ки метавонад суфтакунии ноҳамвор ва суфтакунии майдаро дар як боркунӣ ва борфарорӣ анҷом диҳад. . Дар якҷоягӣ бо дигар иншооти ёрирасон, он метавонад суфтакунии пурраи автоматии вафли кремнийи яккристалии "хушк/хушк" ва "касета ба кассетаро" амалӣ созад.

Гирифтани дутарафа:

Ҳангоме ки суфтакунандаи гардиши кремнийи вафли кремнийӣ рӯи боло ва поёнии пластинкаи кремнийро коркард мекунад, пораи корро тоб додан ва қадам ба қадам иҷро кардан лозим аст, ки самаранокиро маҳдуд мекунад. Ҳамзамон, суфтакунии гардиши вафли кремний дорои хатогиҳои рӯизаминии нусхабардорӣ (нусхабардорӣ) ва аломатҳои суфтакунӣ (тамғаи дастос) дорад ва пас аз буридани сим ба таври муассир бартараф кардани камбудиҳо ба монанди мавҷнокӣ ва конус дар рӯи вафли кремнийи яккристаллӣ ғайриимкон аст. (бисёр арра), чи тавре ки дар расми 4 нишон дода шудааст. Барои бартараф намудани камбудихои дар боло овардашуда технологияи суфтакунии дутарафа (дучандон) дар солҳои 1990 пайдо шуда буд ва принсипи он дар расми 5 нишон дода шудааст. Қисмҳои ба таври симметрӣ тақсимшуда дар ҳар ду ҷониб пластинкаи кремнийи ягона кристаллро дар ҳалқаи нигоҳдорӣ часпонида, оҳиста тавассути ғилдирак чарх мезананд. Як ҷуфт чархҳои суфтакунандаи алмос шакли косашакл нисбатан дар ҳар ду тарафи вафли кремнийи кристаллӣ ҷойгиранд. Онҳо тавассути шпиндели барқии ҳавоӣ ронда мешаванд ва ба самтҳои муқобил давр мезананд ва ба таври меҳварӣ ғизо медиҳанд, то суфтакунии дутарафаи вафли кремнийи яккристалиро ба даст оранд. Тавре ки аз расм дида мешавад, суфтакунии дутарафа метавонад пас аз буридани сим мавҷнокӣ ва конусро дар рӯи вафли кремнийи яккристаллӣ самаранок бартараф кунад. Мувофиқи самти ҷойгиркунии меҳвари чархи суфтакунӣ, суфтакунии дутарафа метавонад уфуқӣ ва амудӣ бошад. Дар байни онҳо, суфтакунии уфуқии дутарафа метавонад таъсири деформатсияи вафли кремнийро, ки дар натиҷаи вазни мурдаи вафли кремний ба сифати дастос ба вуҷуд омадааст, ба таври муассир коҳиш диҳад ва кафолат додан осон аст, ки раванди суфтакунӣ дар ҳар ду тарафи кремнийи яккристалл вафли якхелаанд ва зарраҳои абразивӣ ва микросхемаҳои суфтакунанда дар рӯи вафли кремнийи ягона булӯр мондан осон нест. Ин як усули нисбатан идеалии дастос аст.

Тасвири 4, "Нусхабардории хатогӣ" ва нуқсонҳои аломати фарсудашавӣ дар суфтакунии гардиши вафли кремний

Расми 5, диаграммаи схематикии принсипи суфтакунии дутарафа

Љадвали 1 муќоисаи байни суфтан ва суфтакунии дутарафаи се намуди дар боло зикргардидаи вафли кремнийи яккристаллро нишон медињад. Дастоскунии дуҷониба асосан барои коркарди вафли кремний аз 200 мм истифода мешавад ва ҳосили баланди вафли дорад. Аз сабаби истифодаи чархҳои суфтакунандаи абразивӣ, суфтакунии пластинаҳои кремнийи яккристаллӣ нисбат ба суфтакунии дутарафа сифати сатҳи баландтар ба даст оварда метавонад. Аз ин рӯ, ҳам суфтакунии гардиши вафли кремний ва ҳам суфтакунии дуҷониба метавонанд ба талаботи сифати коркарди вафли кремнийи 300 мм ҷавобгӯ бошанд ва дар айни замон муҳимтарин усулҳои коркарди ҳамворкунӣ мебошанд. Ҳангоми интихоби усули коркарди ҳамвор кардани вафли кремний, зарур аст, ки талаботи андозаи диаметр, сифати рӯизаминӣ ва технологияи коркарди пластинкаи кремнийи яккристаллро ҳамаҷониба ба назар гирифт. Рафтори қафои вафли метавонад танҳо як усули коркарди яктарафаро интихоб кунад, ба монанди усули суфтакунии гардиши кремний.

Илова ба интихоби усули суфтакунӣ дар суфтакунии вафли кремний, инчунин зарур аст, ки интихоби параметрҳои оқилонаи раванд ба монанди фишори мусбӣ, андозаи донаи чархи суфтакунанда, пайвасткунандаи чархи суфтакунӣ, суръати чархи суфтакунӣ, суръати вафли кремний, часпакии моеъи суфтакунӣ ва суръати ҷараён ва ғ. ва роҳи оқилонаи равандро муайян кунед. Одатан, барои ба даст овардани вафли кремнийи ягона кристаллӣ бо самаранокии баланди коркард, ҳамвории сатҳи баланд ва осеби пасти рӯизаминӣ, як раванди суфтакунии сегментӣ, аз ҷумла суфтакунии ноҳамвор, суфтакунии нимтайёр, суфтакунии ниҳоӣ, суфтакунии бе шарора ва пуштибонии суст истифода мешавад.