Вақте ки манӣ бахабархои тичоратй, фахмидани мукаммалии сохтани нимноқилҳо зарур аст. вафли нимноқил ҷузъи муҳими ин саноат мебошанд, аммо онҳо аксар вақт бо олудашавӣ аз ифлосиҳои гуногун дучор меоянд. Ин ифлоскунандаҳо, аз ҷумла атом, моддаҳои органикӣ, ионҳои металлӣ ва оксид метавонанд ба раванди истеҳсолот таъсир расонанд.
Зарраҳоба монанди полимерӣ ва ифлосии ифлосшавӣ ба қувваи байнимолекулавӣ барои адсорб шудан дар сатҳи вафли, ба фотолитографияи дастгоҳ таъсир мерасонад.ифлосиҳои органикӣба монанди равғани пӯсти homo ва равғани мошин дар вафли филм ташаккул меёбад, ба тоза кардан халал мерасонад.ионҳои элементҳои металлӣба монанди оҳан ва алюминий аксар вақт тавассути ташаккули комплекси ионҳои элементҳои металлӣ хориҷ карда мешаванд.Оксидҳоба раванди истеҳсолот монеъ мешаванд ва маъмулан бо тар кардани кислотаи гидрофториди моеъ хориҷ карда мешаванд.
усулҳои химиявӣодатан барои тоза кардан ва канда кардани вафли нимноқил истифода мешаванд. техникаи тозакунии кимиёвии намӣ, ба монанди зери об мондани маҳлул ва скраби механикӣ бартарӣ дорад. Усули тозакунии фаврӣ ва мегасоникӣ роҳҳои самараноки тоза кардани наҷосатро пешниҳод мекунанд. тозакунии кимиёвии хушк, технологияи марҳилаи плазма ва газро дар бар мегирад, инчунин дар равандҳои тоза кардани вафли нимноқилҳо вазифа бозӣ мекунад.
Вақти фиристодан: октябр-29-2024