Ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD) як равандест, ки тавассути реаксияи кимиёвии омехтаи газ ҷойгир кардани филми сахтро дар сатҳи вафли кремний дар бар мегирад. Ин тартибро метавон ба модели таҷҳизоти гуногун тақсим кард, ки дар шароити гуногуни реаксияи кимиёвӣ, ба монанди фишор ва прекурсор муқаррар карда мешавад.
Ин ду дастгоҳ барои кадом тартиб истифода мешаванд?Таҷҳизоти PECVD (Plazma Enhanced) дар барномаҳо ба мисли OX, Nitride, дарвозаи элементҳои металлӣ ва карбон аморфӣ васеъ истифода мешавад. Аз тарафи дигар, LPCVD (Pod Power) одатан барои нитрид, поли ва TEOS истифода мешавад.
Принсип чист?Технологияи PECVD энергияи плазма ва CVD-ро бо истифода аз плазмаи ҳарорати паст муттаҳид мекунад, то разряди тару тозаро дар катодҳои камераи табобатӣ ба вуҷуд орад. Ин имкон медиҳад, ки реаксияи кимиёвии кимиёвӣ ва плазма назорат карда шавад, то дар сатҳи намуна филми сахт ба вуҷуд оранд. Ба ҳамин монанд, LPCVD ба нақша гирифта шудааст, ки бо коҳиш додани фишори гази реаксияи химиявӣ дар реактор кор кунад.
инсоникунонии АИ: Истифодаи Humanize AI дар соҳаи технологияи CVD метавонад самаранокӣ ва дақиқии тартиби гузоштани филмро ба таври назаррас афзоиш диҳад. Бо фишангҳои алгоритми AI, назорат ва танзими параметр ба монанди параметри ион, суръати ҷараёни газ, ҳарорат ва ғафсии филм метавонад барои натиҷаҳои беҳтар оптимизатсия карда шавад.
Вақти фиристодан: октябр-24-2024