Тавре ки дар боло нишон дода шудааст, маъмул аст
Нимаи аввал:
Элементи гармидиҳӣ (каттаи гармидиҳӣ): дар атрофи найчаи танӯр ҷойгир аст, ки одатан аз симҳои муқовимат сохта шудааст, ки барои гарм кардани дохили найи танӯр истифода мешавад.
Tube кварц: ядрои кӯраи оксидшавии гарм, ки аз кварси тозаи баланд сохта шудааст, ки метавонад ба ҳарорати баланд тобовар бошад ва аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол монад.
Хӯроки газ: Дар боло ё паҳлӯи қубури танӯр ҷойгир аст, он барои интиқоли оксиген ё дигар газҳо ба дохили қубури танӯр истифода мешавад.
SS Flange: ҷузъҳое, ки қубурҳои кварцӣ ва хатҳои газро мепайванданд, мустаҳкам ва устувории пайвастро таъмин мекунанд.
Хатҳои интиқоли газ: Қубурҳое, ки MFC-ро ба бандари таъминоти газ барои интиқоли газ пайваст мекунанд.
MFC (Назоратчии ҷараёни оммавӣ) : Дастгоҳе, ки ҷараёни газро дар дохили қубури кварц назорат мекунад, то миқдори гази лозимиро дақиқ танзим кунад.
Вент: Барои баровардани гази ихроҷшуда аз дохили қубури танӯр ба беруни таҷҳизот истифода мешавад.
Қисми поёнӣ
Вафли кремний дар Доранда: Вафли кремний дар Дорандаи махсус ҷойгир карда шудааст, то гармии якхеларо ҳангоми оксидшавӣ таъмин кунад.
Дорандаи вафли: Барои нигоҳ доштани вафли кремний истифода мешавад ва кафолат медиҳад, ки вафли кремний дар давоми раванд устувор мемонад.
Пойдор: Сохторе, ки Дорандаи вафли кремний дорад, ки одатан аз маводи тобовар ба ҳарорати баланд сохта шудааст.
Лифт: Барои бардоштани дорандагони вафли ба дохили ва берун аз найҳои кварцӣ барои бор кардан ва борфарории автоматии вафли кремний истифода мешавад.
Роботи интиқоли вафли: дар паҳлӯи дастгоҳи найчаи оташдон ҷойгир аст, он барои ба таври худкор хориҷ кардани вафли кремний аз қуттӣ ва дар қубури оташдон ҷойгир кардани он ё пас аз коркард хориҷ кардани он истифода мешавад.
Карусели нигаҳдории кассета: Карусели нигаҳдории кассета барои нигоҳ доштани қуттии дорои вафли кремний истифода мешавад ва метавонад барои дастрасии робот гардиш карда шавад.
Кассетаи вафли: Кассетаи вафли барои нигоҳдорӣ ва интиқол додани вафли кремний барои коркард истифода мешавад.
Вақти фиристодан: апрел-22-2024