Сохти дохилии тачхизоти трубахои печьхо муфассал шарх дода шудааст

Тавре ки дар боло нишон дода шудааст, маъмул аст

Нимаи аввал:

▪ Элементи гармидиҳӣ (каттаи гармидиҳӣ):

дар атрофи найчаи печь вокеъ гардида, одатан аз симхои муковимат сохта мешавад, ки барои гарм кардани дохили найчаи печь истифода мешавад.

▪ Туби кварцӣ:

Асоси печи оксидшавии гарм, ки аз кварси тозаи баланд сохта шудааст, ки метавонад ба ҳарорати баланд тобовар бошад ва аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол мемонад.

▪ Ғизои газ:

Он дар боло ё паҳлӯи найчаи танӯр ҷойгир аст, он барои интиқоли оксиген ё дигар газҳо ба дохили қубури оташдон истифода мешавад.

▪ Халқаи SS:

ҷузъҳо, ки қубурҳои кварцӣ ва хатҳои газро мепайванданд, мустаҳкам ва устувории пайвастро таъмин мекунанд.

▪ Хатҳои интиқоли газ:

Қубурҳое, ки MFC-ро ба бандари интиқоли газ барои интиқоли газ пайваст мекунанд.

▪ MFC (Назоратчии ҷараёни оммавӣ):

Таҷҳизоте, ки ҷараёни газро дар дохили қубури кварц назорат мекунад, то миқдори гази лозимиро дақиқ танзим кунад.

▪ Вентад:

Барои баровардани гази ихроҷшуда аз дохили қубури танӯр ба беруни таҷҳизот истифода мешавад.

Қисми поёнӣ:

▪ Вафли кремний дар Дорандаи:

Вафли кремний дар Дорандаи махсус ҷойгир карда шудааст, то гармии якхела ҳангоми оксидшавӣ таъмин карда шавад.

▪ Дорандаи вафли:

Барои нигоҳ доштани вафли кремний ва кафолат додани он, ки вафли кремний дар давоми раванд устувор боқӣ мемонад.

▪ Пойафзол:

Сохторе, ки Дорандаи вафли кремний дорад, ки одатан аз маводи тобовар ба ҳарорати баланд сохта шудааст.

▪ Лифт:

Истифода бурда мешавад, барои бардоштан дорандагони вафли ба дохили ва берун аз найҳои кварц барои бор кардан ва борфарории автоматии пластинҳои кремний.

▪ Роботи интиқоли вафли:

ки дар пахлуи дастгохи найи печь вокеъ аст, барои ба таври автоматй аз куттй дур кардани пластинки кремний ва дар найчаи печь чойгир кардани он истифода мешавад, ё баъди коркарди он гирифта мешавад.