Муқаддима ба технологияи таҳшинсозии буғи кимиёвӣ (CVD).

Ҷойгиркунии буғҳои кимиёвӣ (CVD) як технологияи муҳими гузоштани филми тунук аст, ки аксар вақт барои тайёр кардани филмҳои гуногуни функсионалӣ ва маводи қабати тунук истифода мешавад ва дар истеҳсоли нимноқилҳо ва дигар соҳаҳо васеъ истифода мешавад.

1. Принсипи кори CVD

Дар раванди CVD, як пешгузаштаи газ (як ё якчанд пайвастагиҳои пешгузаштаи газ) бо сатҳи субстрат тамос гирифта, то ҳарорати муайян гарм карда мешавад, то реаксияи кимиёвӣ ба вуҷуд орад ва дар сатҳи субстрат ҷойгир карда, филм ё қабати дилхоҳро ташкил кунад. қабат. Маҳсулоти ин реаксияи кимиёвӣ як чизи сахт аст, одатан таркиби маводи дилхоҳ. Агар мо хоҳем, ки кремнийро ба рӯи замин часпоним, мо метавонем трихлоросиланро (SiHCl3) ҳамчун гази пешгузашта истифода барем: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Кремний ба ҳама сатҳҳои дарунӣ ва берунӣ пайваст мешавад, дар ҳоле ки газҳои хлор ва кислотаи хлоридӣ аз палата озод карда шаванд.

2. Таснифи CVD

CVD гармидиҳӣ: Бо гарм кардани гази прекурсор барои таҷзия ва гузоштани он дар сатҳи субстрат. Plasma Enhanced CVD (PECVD): Плазма ба CVD гармидиҳӣ илова карда мешавад, то суръати реаксияро баланд бардошт ва раванди таҳшинро назорат кунад. Metal Organic CVD (MOCVD): Бо истифода аз пайвастагиҳои органикии металлӣ ҳамчун газҳои пешгузашта, филмҳои тунуки металлҳо ва нимноқилҳоро омода кардан мумкин аст ва аксар вақт дар истеҳсоли дастгоҳҳо ба монанди LEDҳо истифода мешаванд.

3. Ариза

(1) Истеҳсоли нимноқилҳо

Плёнкаи силицидӣ: барои тайёр кардани қабатҳои изолятсия, субстратҳо, қабатҳои изолятсия ва ғайра истифода мешавад. қабатҳо ва ғайра.

(2) Технологияи намоиш

Филми ITO: Плёнкаи шаффофи оксиди гузаронанда, ки одатан дар дисплейҳои панелҳои ҳамвор ва экранҳои сенсорӣ истифода мешаванд. Плёнкаи мис: барои тайёр кардани қабатҳои бастабандӣ, хатҳои интиқолдиҳанда ва ғайра, барои беҳтар кардани кори дастгоҳҳои намоишӣ истифода мешавад.

(3) Дигар соҳаҳо

Сарпӯшҳои оптикӣ: аз ҷумла рӯйпӯшҳои зидди инъикоскунанда, филтрҳои оптикӣ ва ғайра.

4. Хусусиятҳои раванди CVD

Барои баланд бардоштани суръати реаксия муҳити ҳарорати баландро истифода баред. Одатан дар муҳити вакуумӣ анҷом дода мешавад. Пеш аз ранг кардан, ифлоскунандаҳои рӯи қисм бояд тоза карда шаванд. Раванд метавонад дар рӯи субстратҳое, ки пӯшонида мешаванд, маҳдудиятҳо дошта бошанд, яъне маҳдудиятҳои ҳарорат ё маҳдудиятҳои реактивӣ. Сарпӯши CVD тамоми соҳаҳои қисм, аз ҷумла риштаҳо, сӯрохиҳои кӯр ва сатҳи дохилиро фаро мегирад. Метавонад қобилияти ниқоб кардани минтақаҳои мушаххасро маҳдуд кунад. Ғафсии филм бо раванд ва шароити моддӣ маҳдуд аст. Адгезияи олӣ.