Графит бо рӯйпӯши TaC

I. Таҳқиқи параметрҳои раванд

1. Системаи TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. Ҳарорати таҳшин:

Аз руи формулаи термодинамикй хисоб карда мешавад, ки хангоми аз 1273К зиёд будани харорат энергияи озоди реаксияи Гиббс хеле кам буда, реаксия нисбатан пурра мешавад. Константаи реаксия KP дар 1273К хеле калон буда, бо харорат зуд зиёд мешавад ва суръати афзоиш дар 1773К тадричан суст мешавад.

Таъсир ба морфологияи сатҳи рӯйпӯш: Вақте ки ҳарорат мувофиқ нест (хеле баланд ё хеле паст), сатҳ морфологияи карбон ё сӯрохиҳои фуҷурро пешниҳод мекунад.

(1) Дар ҳарорати баланд, суръати ҳаракати атомҳо ё гурӯҳҳои реактивҳои фаъол хеле зуд аст, ки ин ба тақсимоти нобаробар ҳангоми ҷамъшавии мавод оварда мерасонад ва минтақаҳои бой ва камбизоат наметавонанд ҳамвор гузаранд, ки дар натиҷа пораҳо ба вуҷуд меоянд.

(2) Дар байни суръати реаксияи пиролизи алканҳо ва суръати реаксияи коҳишёбии пентахлориди тантал фарқият вуҷуд дорад. Карбонҳои пиролиз аз ҳад зиёданд ва онро бо тантал бо сари вақт пайваст кардан мумкин нест, ки дар натиҷа сатҳ бо карбон печонида мешавад.

Вақте ки ҳарорат мувофиқ аст, сатҳиСарпӯши TaCзич аст.

TaCзаррахо бо хам гудохта, агрегация мешаванд, шакли кристалл пурра мешавад ва сархади донахо бемайлон мегузарад.

3. Таносуби гидроген:

Илова бар ин, омилҳои зиёде мавҷуданд, ки ба сифати пӯшиш таъсир мерасонанд:

- Сифати сатҳи субстрат

- кони газ

-Дараҷаи якрангии омехташавии газҳои реактивӣ

II. Камбудиҳои маъмулиипӯшонидани карбиди тантал

1. Крекинг ва пӯхтани рӯйпӯш

Коэффисиенти васеъшавии гармии хаттии CTE:

2. Таҳлили камбудиҳо:

(1) Сабаб:

(2) Усули тавсиф

① Барои чен кардани шиддати боқимонда технологияи дифраксияи рентгениро истифода баред.

② Барои тахмин кардани фишори боқимонда қонуни Ҳу Керо истифода баред.

(3) Формулаҳои алоқаманд

3.Мутобиқати механикии рӯйпӯш ва субстратро такмил диҳед

(1) Сарпӯши афзояндаи рӯизаминӣ

Депозитсияи реаксияи гармӣ ва технологияи диффузия TRD

Раванди намаки гудохта

Процесси истедсолотро содда кунед

Ҳарорати реаксияро паст кунед

Арзиши нисбатан паст

Бештар аз ҷиҳати экологӣ тоза

Барои истеҳсоли бузурги саноатӣ мувофиқ аст

(2) Қабати гузариши таркибӣ

Раванди якҷоякунӣ

CVDраванд

Сарпӯши бисёркомпонентӣ

Якҷоя кардани бартариҳои ҳар як ҷузъи

Таркиб ва таносуби рӯйпӯшро чандир танзим кунед

4. Депозитсияи реаксияи гармӣ ва технологияи диффузи TRD

(1) Механизми реаксия

Технологияи TRD инчунин раванди ҷобаҷокунӣ номида мешавад, ки системаи кислотаи бор-тантал пентоксиди натрий-фториди бор-оксиди бор-карбиди борро барои тайёр карданипӯшонидани карбиди тантал.

① Кислотаи бории гудохта пентоксиди танталро ҳал мекунад;

② Пентоксиди тантал ба атомҳои фаъоли тантал табдил ёфта, дар сатҳи графит паҳн мешавад;

③ Атомҳои фаъоли тантал дар сатҳи графит адсорб мешаванд ва бо атомҳои карбон реаксия карда, ба вуҷуд меоянд.пӯшонидани карбиди тантал.

(2) Калиди реаксия

Навъи пӯшиши карбид бояд талаботро қонеъ гардонад, ки энергияи озоди оксидшавии элементи ташаккули карбид нисбат ба оксиди бор баландтар аст.

Энергияи озоди Гиббс дар карбид ба қадри кофӣ паст аст (дар акси ҳол, бор ё борид ҳосил шуданаш мумкин аст).

Пентоксиди тантал як оксиди нейтрал аст. Дар borax гудохта дар ҳарорати баланд, он метавонад бо оксиди натрий оксиди сілтӣ реаксия карда, танталати натрийро ба вуҷуд орад ва ба ин васила ҳарорати реаксияи ибтидоиро коҳиш диҳад.