Ҳадафҳои пошиданасосан дар соҳаҳои электроника ва иттилоотӣ, аз қабили микросхемаҳои интегралӣ, нигаҳдории иттилоот, дисплейҳои кристалии моеъ, хотираҳои лазерӣ, дастгоҳҳои назорати электронӣ ва ғайра истифода мешаванд. Онҳо инчунин метавонанд дар соҳаи шишабандии шиша, инчунин дар фарсудашавӣ тобовар истифода шаванд. мавод, муқовимат ба зангзании ҳарорати баланд, маҳсулоти ороишӣ-охири баланд ва дигар соҳаҳо.
Парокандакунй яке аз усулхои асосии тайёр кардани материалхои тунук мебошад.Он ионҳоеро, ки аз манбаъҳои ионҳо тавлид мешаванд, барои суръат бахшидан ва муттаҳид шудан дар вакуум барои ба вуҷуд овардани нурҳои ионҳои энергияи баландсуръат, бомбаборон кардани сатҳи сахт ва мубодилаи энергияи кинетикӣ байни ионҳо ва атомҳои сатҳи сахт истифода мебарад. Атомҳо дар сатҳи сахт ҷисми сахтро тарк мекунанд ва дар рӯи субстрат ҷойгир мешаванд. Ҷисми сахти бомбабороншуда ашёи хом барои гузоштани плёнкаҳои тунук бо роҳи пошидан мебошад, ки онро ҳадафи пошидан меноманд. Дар микросхемаҳои интегралии нимноқилҳо, васоити сабт, дисплейҳои ҳамвор ва рӯйпӯшҳои рӯи қисмҳои корӣ намудҳои гуногуни маводи плёнкаи тунуки пошида ба таври васеъ истифода мешаванд.
Дар байни ҳама соҳаҳои татбиқ, саноати нимноқилҳо талаботи сахттарини сифатро барои филмҳои пошидани ҳадаф дорад. Ҳадафҳои пошидани металлҳои тозагии баланд асосан дар истеҳсоли вафли ва равандҳои пешрафтаи бастабандӣ истифода мешаванд. Истеҳсоли чипҳоро ҳамчун мисол мегирем, мо мебинем, ки аз пластинкаи кремний то чип, он бояд аз 7 раванди асосии истеҳсолӣ гузарад, аз ҷумла диффузия (раванди гармӣ), фото-литография (фото-литография), Etch (Etch), Имплантатсияи ионӣ (IonImplant), афзоиши қабати тунук (таҳшидани диэлектрикӣ), сайқал додани механикии химиявӣ (CMP), металлизатсия (Метализатсия) Равандҳо як ба як мувофиқат мекунанд. Ҳадафи пошидан дар раванди "металлизатсия" истифода мешавад. Ҳадаф аз зарраҳои энергияи баланд тавассути таҷҳизоти таҳшинкунии филми тунук бомбаборон карда мешавад ва сипас дар пластинкаи кремний қабати металлӣ бо вазифаҳои мушаххас, ба монанди қабати интиқолдиҳанда, қабати монеа ба вуҷуд меояд. Мунтазир бошед. Азбаски равандҳои тамоми нимноқилҳо гуногунанд, пас барои тасдиқи дурустии система баъзе ҳолатҳои тасодуфӣ лозиманд, аз ин рӯ мо дар марҳилаҳои муайяни истеҳсолот барои тасдиқи эффектҳо якчанд намуди маводи мукаммалро талаб мекунем.
Вақти фиристодан: январ-17-2022