VET Energy тозагии ултра баландро истифода мебарадкарбиди кремний (SiC)дар натичаи пошидани буги химиявй ба вучуд меояд(CVD)ҳамчун маводи сарчашма барои парваришКристаллҳои SiCтавассути интиқоли буғи ҷисмонӣ (PVT). Дар PVT, маводи манбаъ ба a бор карда мешавадтигельва ба кристали тухмӣ сублиматсия карда мешавад.
Барои истеҳсоли сифати баланд манбаи тозагии баланд лозим астКристаллҳои SiC.
VET Energy ба таъмини зарраҳои калон-заррачаҳои SiC барои PVT тахассус дорад, зеро он нисбат ба маводи заррачаҳои хурд, ки дар натиҷаи сӯхтани газҳои Si ва C дорои зичии баландтар аст. Баръакси синтеризатсияи марҳилаи сахт ё реаксияи Si ва C, он як кӯраи махсуси агломератсия ё қадами синтеризатсияи вақтро дар кӯраи афзоиш талаб намекунад. Ин маводи заррачаҳои калон дорои суръати тақрибан доимии бухоршавӣ мебошад, ки якрангии давиданро беҳтар мекунад.
Муқаддима:
1. Манбаи блоки CVD-SiC-ро омода кунед: Аввалан, шумо бояд як манбаи блоки CVD-SiC-и баландсифатро омода кунед, ки одатан тозагии баланд ва зичии баланд дорад. Онро бо усули таҳшини буғи химиявӣ (CVD) дар шароити реаксияи мувофиқ омода кардан мумкин аст.
2. Омода кардани субстрат: субстрати мувофиқро ҳамчун субстрат барои афзоиши ягона кристалл SiC интихоб кунед. Маводҳои зеризаминии маъмулан истифодашаванда карбиди кремний, нитриди кремний ва ғайраро дар бар мегиранд, ки бо як кристали афзояндаи SiC мувофиқати хуб доранд.
3. Гармкунӣ ва сублиматсия: Манбаи блоки CVD-SiC ва субстратро дар кӯраи ҳарорати баланд ҷойгир кунед ва шароити мувофиқи сублиматсияро таъмин кунед. Сублиматсия маънои онро дорад, ки дар ҳарорати баланд манбаи блок мустақиман аз ҳолати сахт ба буғ мегузарад ва сипас дар сатҳи субстрат дубора конденсатсия шуда, як кристаллро ташкил медиҳад.
4. Назорати ҳарорат: Дар ҷараёни раванди сублиматсия, градиенти ҳарорат ва тақсимоти ҳарорат бояд дақиқ назорат карда шавад, то ба сублиматсияи манбаи блок ва афзоиши кристаллҳои ягона мусоидат кунад. Назорати мувофиқи ҳарорат метавонад сифати беҳтарини кристалл ва суръати афзоишро ба даст орад.
5. Назорати атмосфера: Дар ҷараёни сублиматсия, атмосфераи реаксия низ бояд назорат карда шавад. Гази инертии тозаи баланд (масалан, аргон) одатан ҳамчун гази интиқолдиҳанда барои нигоҳ доштани фишор ва тозагии мувофиқ ва пешгирии олудашавӣ бо ифлосиҳо истифода мешавад.
6. Афзоиши як кристалл: Манбаи блоки CVD-SiC дар ҷараёни сублиматсия гузариши марҳилаи буғро аз сар мегузаронад ва дар сатҳи субстрат дубора конденсатсия карда, як сохтори кристаллро ташкил медиҳад. Афзоиши босуръати яккристаллҳои SiC тавассути шароити мувофиқи сублиматсия ва назорати градиенти ҳарорат ба даст оварда мешавад.
Шуморо самимона истиқбол мегиред, ки ба заводи мо ташриф оред, биёед минбаъд муҳокима кунем!
