ఫ్యాన్-అవుట్ వేఫర్-లెవల్ ప్యాకేజింగ్ కోసం UV ప్రాసెసింగ్

ఫ్యాన్ అవుట్ వేఫర్ లెవల్ ప్యాకేజింగ్ (FOWLP) అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఖర్చుతో కూడుకున్న పద్ధతి. కానీ ఈ ప్రక్రియ యొక్క సాధారణ దుష్ప్రభావాలు వార్పింగ్ మరియు చిప్ ఆఫ్‌సెట్. వేఫర్ స్థాయి మరియు ప్యానెల్ స్థాయి ఫ్యాన్ అవుట్ టెక్నాలజీ యొక్క నిరంతర అభివృద్ధి ఉన్నప్పటికీ, మోల్డింగ్‌కు సంబంధించిన ఈ సమస్యలు ఇప్పటికీ ఉన్నాయి.

అచ్చు తర్వాత క్యూరింగ్ మరియు శీతలీకరణ సమయంలో లిక్విడ్ కంప్రెషన్ మోల్డింగ్ సమ్మేళనం (LCM) యొక్క రసాయన సంకోచం వల్ల వార్పింగ్ ఏర్పడుతుంది. వార్పింగ్‌కు రెండవ కారణం సిలికాన్ చిప్, మోల్డింగ్ మెటీరియల్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ (CTE) కోఎఫీషియంట్‌లో అసమతుల్యత. ఆఫ్‌సెట్ అనేది అధిక పూరక కంటెంట్‌తో కూడిన జిగట అచ్చు పదార్థాలను సాధారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడనం కింద మాత్రమే ఉపయోగించవచ్చు. తాత్కాలిక బంధం ద్వారా చిప్ క్యారియర్‌కు స్థిరంగా ఉన్నందున, పెరుగుతున్న ఉష్ణోగ్రత అంటుకునేదాన్ని మృదువుగా చేస్తుంది, తద్వారా దాని అంటుకునే బలాన్ని బలహీనపరుస్తుంది మరియు చిప్‌ను పరిష్కరించే సామర్థ్యాన్ని తగ్గిస్తుంది. ఆఫ్‌సెట్‌కి రెండవ కారణం ఏమిటంటే, అచ్చుకు అవసరమైన ఒత్తిడి ప్రతి చిప్‌పై ఒత్తిడిని సృష్టిస్తుంది.

ఈ సవాళ్లకు పరిష్కారాలను కనుగొనడానికి, DELO ఒక సాధారణ అనలాగ్ చిప్‌ను క్యారియర్‌పై బంధించడం ద్వారా సాధ్యత అధ్యయనాన్ని నిర్వహించింది. సెటప్ పరంగా, క్యారియర్ పొర తాత్కాలిక బంధన అంటుకునే పూతతో ఉంటుంది మరియు చిప్ ముఖం క్రిందికి ఉంచబడుతుంది. తదనంతరం, తక్కువ స్నిగ్ధత కలిగిన DELO అంటుకునే ఉపయోగించి పొర అచ్చు వేయబడింది మరియు క్యారియర్ పొరను తొలగించే ముందు అతినీలలోహిత వికిరణంతో నయమవుతుంది. అటువంటి అనువర్తనాల్లో, అధిక స్నిగ్ధత థర్మోసెట్టింగ్ మౌల్డింగ్ మిశ్రమాలు సాధారణంగా ఉపయోగించబడతాయి.

640

DELO ప్రయోగంలో థర్మోసెట్టింగ్ మౌల్డింగ్ మెటీరియల్స్ మరియు UV క్యూర్డ్ ఉత్పత్తుల యొక్క వార్‌పేజ్‌ను కూడా పోల్చింది మరియు థర్మోసెట్టింగ్ తర్వాత శీతలీకరణ సమయంలో సాధారణ అచ్చు పదార్థాలు వార్ప్ అవుతాయని ఫలితాలు చూపించాయి. అందువల్ల, హీటింగ్ క్యూరింగ్‌కు బదులుగా గది ఉష్ణోగ్రత అతినీలలోహిత క్యూరింగ్‌ని ఉపయోగించడం వల్ల మోల్డింగ్ సమ్మేళనం మరియు క్యారియర్ మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం అసమతుల్యత యొక్క ప్రభావాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది, తద్వారా సాధ్యమైనంత వరకు వార్పింగ్‌ను తగ్గిస్తుంది.

అతినీలలోహిత క్యూరింగ్ పదార్థాల ఉపయోగం ఫిల్లర్ల వినియోగాన్ని కూడా తగ్గిస్తుంది, తద్వారా స్నిగ్ధత మరియు యంగ్ యొక్క మాడ్యులస్ తగ్గుతుంది. పరీక్షలో ఉపయోగించిన మోడల్ అంటుకునే స్నిగ్ధత 35000 mPa · s, మరియు యంగ్ మాడ్యులస్ 1 GPa. మౌల్డింగ్ మెటీరియల్‌పై వేడి చేయడం లేదా అధిక పీడనం లేకపోవడం వల్ల, చిప్ ఆఫ్‌సెట్‌ను సాధ్యమైనంత వరకు తగ్గించవచ్చు. ఒక సాధారణ అచ్చు సమ్మేళనం 800000 mPa · s స్నిగ్ధత మరియు రెండు అంకెల పరిధిలో యంగ్స్ మాడ్యులస్‌ని కలిగి ఉంటుంది.

మొత్తంగా, పెద్ద-ఏరియా మౌల్డింగ్ కోసం UV క్యూర్డ్ మెటీరియల్‌లను ఉపయోగించడం అనేది చిప్ లీడర్ ఫ్యాన్ అవుట్ వేఫర్ లెవల్ ప్యాకేజింగ్‌ను ఉత్పత్తి చేయడానికి ప్రయోజనకరంగా ఉంటుందని పరిశోధనలో తేలింది, అదే సమయంలో వార్‌పేజ్ మరియు చిప్ ఆఫ్‌సెట్‌ను సాధ్యమైనంత వరకు తగ్గించడం. ఉపయోగించిన పదార్థాల మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకాలలో గణనీయమైన వ్యత్యాసాలు ఉన్నప్పటికీ, ఉష్ణోగ్రత వైవిధ్యం లేకపోవడం వల్ల ఈ ప్రక్రియ ఇప్పటికీ బహుళ అనువర్తనాలను కలిగి ఉంది. అదనంగా, UV క్యూరింగ్ క్యూరింగ్ సమయం మరియు శక్తి వినియోగాన్ని కూడా తగ్గిస్తుంది.

640

థర్మల్ క్యూరింగ్‌కు బదులుగా UV ఫ్యాన్-అవుట్ వేఫర్-లెవల్ ప్యాకేజింగ్‌లో వార్‌పేజ్ మరియు డై షిఫ్ట్‌ని తగ్గిస్తుంది

థర్మల్లీ క్యూర్డ్, హై-ఫిల్లర్ కాంపౌండ్ (A) మరియు UV-క్యూర్డ్ కాంపౌండ్ (B)ని ఉపయోగించి 12-అంగుళాల కోటెడ్ పొరల పోలిక


పోస్ట్ సమయం: నవంబర్-05-2024
WhatsApp ఆన్‌లైన్ చాట్!