పైన చూపిన విధంగా, ఒక విలక్షణమైనది
ప్రథమార్ధం:
హీటింగ్ ఎలిమెంట్ (హీటింగ్ కాయిల్) : ఫర్నేస్ ట్యూబ్ చుట్టూ ఉంటుంది, సాధారణంగా రెసిస్టెన్స్ వైర్‌లతో తయారు చేస్తారు, ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపలి భాగాన్ని వేడి చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.
క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్: వేడి ఆక్సీకరణ కొలిమి యొక్క ప్రధాన భాగం, అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్‌తో తయారు చేయబడింది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు మరియు రసాయనికంగా జడంగా ఉంటుంది.
గ్యాస్ ఫీడ్: ఫర్నేస్ ట్యూబ్ ఎగువన లేదా వైపున ఉంది, ఇది ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపలికి ఆక్సిజన్ లేదా ఇతర వాయువులను రవాణా చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.
SS ఫ్లాంజ్: క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్‌లు మరియు గ్యాస్ లైన్‌లను కనెక్ట్ చేసే భాగాలు, కనెక్షన్ యొక్క బిగుతు మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.
గ్యాస్ ఫీడ్ లైన్లు: గ్యాస్ ట్రాన్స్మిషన్ కోసం గ్యాస్ సరఫరా పోర్ట్కు MFCని కనెక్ట్ చేసే పైపులు.
MFC (మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్) : క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్ లోపల గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని నియంత్రిస్తూ అవసరమైన గ్యాస్ మొత్తాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించే పరికరం.
వెంట్: ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపల నుండి పరికరాల వెలుపలికి ఎగ్జాస్ట్ వాయువును బయటకు పంపడానికి ఉపయోగిస్తారు.
దిగువ భాగం
హోల్డర్‌లో సిలికాన్ పొరలు: ఆక్సీకరణ సమయంలో ఏకరీతి వేడిని నిర్ధారించడానికి సిలికాన్ పొరలను ప్రత్యేక హోల్డర్‌లో ఉంచుతారు.
వేఫర్ హోల్డర్: సిలికాన్ పొరను పట్టుకోవడానికి మరియు ప్రక్రియ సమయంలో సిలికాన్ పొర స్థిరంగా ఉండేలా చూసుకోవడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.
పీఠము: సిలికాన్ పొర హోల్డర్‌ను కలిగి ఉండే నిర్మాణం, సాధారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధక పదార్థంతో తయారు చేయబడుతుంది.
ఎలివేటర్: సిలికాన్ పొరలను స్వయంచాలకంగా లోడ్ చేయడం మరియు అన్‌లోడ్ చేయడం కోసం వేఫర్ హోల్డర్‌లను క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్‌లలోకి మరియు వెలుపలికి ఎత్తడానికి ఉపయోగిస్తారు.
వేఫర్ ట్రాన్స్‌ఫర్ రోబోట్: ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరం వైపున ఉంది, ఇది పెట్టె నుండి సిలికాన్ పొరను స్వయంచాలకంగా తీసివేసి ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లో ఉంచడానికి లేదా ప్రాసెస్ చేసిన తర్వాత దాన్ని తీసివేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.
క్యాసెట్ స్టోరేజ్ రంగులరాట్నం: క్యాసెట్ స్టోరేజ్ రంగులరాట్నం సిలికాన్ పొరలను కలిగి ఉన్న పెట్టెను నిల్వ చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది మరియు రోబోట్ యాక్సెస్ కోసం తిప్పవచ్చు.
వేఫర్ క్యాసెట్: ప్రాసెస్ చేయడానికి సిలికాన్ పొరలను నిల్వ చేయడానికి మరియు బదిలీ చేయడానికి పొర క్యాసెట్ ఉపయోగించబడుతుంది.
పోస్ట్ సమయం: ఏప్రిల్-22-2024