ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరాల అంతర్గత నిర్మాణం వివరంగా వివరించబడింది

పైన చూపిన విధంగా, ఒక విలక్షణమైనది

ప్రథమార్ధం:

▪ హీటింగ్ ఎలిమెంట్ (హీటింగ్ కాయిల్) :

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ చుట్టూ ఉన్న, సాధారణంగా రెసిస్టెన్స్ వైర్లతో తయారు చేస్తారు, ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపలి భాగాన్ని వేడి చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

▪ క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్:

వేడి ఆక్సీకరణ కొలిమి యొక్క కోర్, అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్‌తో తయారు చేయబడింది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు మరియు రసాయనికంగా జడంగా ఉంటుంది.

▪ గ్యాస్ ఫీడ్:

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ యొక్క ఎగువ లేదా వైపున ఉన్న, ఇది ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపలికి ఆక్సిజన్ లేదా ఇతర వాయువులను రవాణా చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.

▪ SS ఫ్లాంజ్:

క్వార్ట్జ్ గొట్టాలు మరియు గ్యాస్ లైన్లను అనుసంధానించే భాగాలు, కనెక్షన్ యొక్క బిగుతు మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.

▪ గ్యాస్ ఫీడ్ లైన్లు:

గ్యాస్ ట్రాన్స్మిషన్ కోసం గ్యాస్ సరఫరా పోర్ట్కు MFCని కనెక్ట్ చేసే పైపులు.

▪ MFC (మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్) :

క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్ లోపల గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని నియంత్రించే పరికరం అవసరమైన గ్యాస్ మొత్తాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించడానికి.

▪ వెంట్:

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపల నుండి ఎగ్జాస్ట్ వాయువును పరికరాల వెలుపలికి వెళ్లడానికి ఉపయోగిస్తారు.

దిగువ భాగం:

▪ హోల్డర్‌లో సిలికాన్ వేఫర్‌లు:

ఆక్సీకరణ సమయంలో ఏకరీతి వేడిని నిర్ధారించడానికి సిలికాన్ పొరలు ప్రత్యేక హోల్డర్‌లో ఉంచబడతాయి.

▪ వేఫర్ హోల్డర్:

సిలికాన్ పొరను పట్టుకోవడానికి మరియు ప్రక్రియ సమయంలో సిలికాన్ పొర స్థిరంగా ఉండేలా చూసుకోవడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.

▪ పీఠం:

సిలికాన్ పొర హోల్డర్‌ను కలిగి ఉండే నిర్మాణం, సాధారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధక పదార్థంతో తయారు చేయబడుతుంది.

▪ ఎలివేటర్:

సిలికాన్ పొరలను స్వయంచాలకంగా లోడ్ చేయడానికి మరియు అన్‌లోడ్ చేయడానికి వేఫర్ హోల్డర్‌లను క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్‌లలోకి మరియు వెలుపలికి ఎత్తడానికి ఉపయోగిస్తారు.

▪ వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ రోబోట్:

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరం వైపున ఉంది, ఇది పెట్టె నుండి సిలికాన్ పొరను స్వయంచాలకంగా తీసివేసి ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లో ఉంచడానికి లేదా ప్రాసెస్ చేసిన తర్వాత దాన్ని తీసివేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.