రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీకి పరిచయం

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) అనేది ఒక ముఖ్యమైన సన్నని చలనచిత్ర నిక్షేపణ సాంకేతికత, ఇది తరచుగా వివిధ ఫంక్షనల్ ఫిల్మ్‌లు మరియు సన్నని-పొర పదార్థాలను తయారు చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు ఇతర రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

1. CVD యొక్క పని సూత్రం

CVD ప్రక్రియలో, ఒక వాయువు పూర్వగామి (ఒకటి లేదా అంతకంటే ఎక్కువ వాయు పూర్వగామి సమ్మేళనాలు) ఉపరితల ఉపరితలంతో సంబంధంలోకి తీసుకురాబడుతుంది మరియు ఒక నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయబడి రసాయన ప్రతిచర్యకు కారణమవుతుంది మరియు కావలసిన ఫిల్మ్ లేదా పూతను ఏర్పరచడానికి ఉపరితల ఉపరితలంపై జమ చేస్తుంది. పొర. ఈ రసాయన చర్య యొక్క ఉత్పత్తి ఘనమైనది, సాధారణంగా కావలసిన పదార్థం యొక్క సమ్మేళనం. మేము సిలికాన్‌ను ఉపరితలంపై అంటుకోవాలనుకుంటే, మేము ట్రైక్లోరోసిలేన్ (SiHCl3) ను పూర్వగామి వాయువుగా ఉపయోగించవచ్చు: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl సిలికాన్ ఏదైనా బహిర్గత ఉపరితలంతో (అంతర్గత మరియు బాహ్య రెండూ) బంధిస్తుంది, అయితే క్లోరిన్ మరియు హైడ్రోక్లోరిక్ యాసిడ్ వాయువులు ఛాంబర్ నుండి విడుదల చేయాలి.

2. CVD వర్గీకరణ

థర్మల్ CVD: పూర్వగామి వాయువును వేడి చేయడం ద్వారా కుళ్ళిపోయి ఉపరితల ఉపరితలంపై జమ చేస్తుంది. ప్లాస్మా మెరుగైన CVD (PECVD): ప్రతిచర్య రేటును మెరుగుపరచడానికి మరియు నిక్షేపణ ప్రక్రియను నియంత్రించడానికి ప్లాస్మా థర్మల్ CVDకి జోడించబడుతుంది. మెటల్ ఆర్గానిక్ CVD (MOCVD): లోహ కర్బన సమ్మేళనాలను పూర్వగామి వాయువులుగా ఉపయోగించడం, లోహాలు మరియు సెమీకండక్టర్ల యొక్క పలుచని ఫిల్మ్‌లను తయారు చేయవచ్చు మరియు తరచుగా LED ల వంటి పరికరాల తయారీలో ఉపయోగిస్తారు.

3. అప్లికేషన్

(1) సెమీకండక్టర్ తయారీ

సిలిసైడ్ ఫిల్మ్: ఇన్సులేటింగ్ లేయర్‌లు, సబ్‌స్ట్రేట్‌లు, ఐసోలేషన్ లేయర్‌లు మొదలైనవాటిని సిద్ధం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. నైట్రైడ్ ఫిల్మ్: సిలికాన్ నైట్రైడ్, అల్యూమినియం నైట్రైడ్ మొదలైనవాటిని తయారు చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు, LED లు, పవర్ పరికరాలు మొదలైన వాటిలో ఉపయోగిస్తారు. మెటల్ ఫిల్మ్: వాహక పొరలను సిద్ధం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు, మెటలైజ్ చేయబడింది పొరలు, మొదలైనవి

(2) ప్రదర్శన సాంకేతికత

ITO ఫిల్మ్: పారదర్శక వాహక ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్, సాధారణంగా ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు మరియు టచ్ స్క్రీన్‌లలో ఉపయోగించబడుతుంది. రాగి చలనచిత్రం: ప్రదర్శన పరికరాల పనితీరును మెరుగుపరచడానికి ప్యాకేజింగ్ పొరలు, వాహక రేఖలు మొదలైన వాటిని సిద్ధం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

(3) ఇతర క్షేత్రాలు

ఆప్టికల్ కోటింగ్‌లు: యాంటీ రిఫ్లెక్టివ్ కోటింగ్‌లు, ఆప్టికల్ ఫిల్టర్‌లు మొదలైన వాటితో సహా. యాంటీ తుప్పు పూత: ఆటోమోటివ్ భాగాలు, ఏరోస్పేస్ పరికరాలు మొదలైన వాటిలో ఉపయోగించబడుతుంది.

4. CVD ప్రక్రియ యొక్క లక్షణాలు

ప్రతిచర్య వేగాన్ని ప్రోత్సహించడానికి అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని ఉపయోగించండి. సాధారణంగా వాక్యూమ్ వాతావరణంలో నిర్వహిస్తారు. పెయింటింగ్ చేయడానికి ముందు భాగం యొక్క ఉపరితలంపై కలుషితాలను తొలగించాలి. ప్రక్రియకు పూత పూయగల ఉపరితలాలపై పరిమితులు ఉండవచ్చు, అనగా ఉష్ణోగ్రత పరిమితులు లేదా ప్రతిచర్య పరిమితులు. CVD పూత థ్రెడ్‌లు, బ్లైండ్ హోల్స్ మరియు అంతర్గత ఉపరితలాలతో సహా భాగం యొక్క అన్ని ప్రాంతాలను కవర్ చేస్తుంది. నిర్దిష్ట లక్ష్య ప్రాంతాలను మాస్క్ చేసే సామర్థ్యాన్ని పరిమితం చేయవచ్చు. ఫిల్మ్ మందం ప్రక్రియ మరియు వస్తు పరిస్థితుల ద్వారా పరిమితం చేయబడింది. సుపీరియర్ సంశ్లేషణ.