VET ఎనర్జీ అందించే సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్రికేషన్ కోసం 12 అంగుళాల సిలికాన్ వేఫర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అవసరమైన ఖచ్చితమైన ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా రూపొందించబడింది. మా లైనప్‌లోని ప్రముఖ ఉత్పత్తులలో ఒకటిగా, VET ఎనర్జీ ఈ పొరలు ఖచ్చితమైన ఫ్లాట్‌నెస్, స్వచ్ఛత మరియు ఉపరితల నాణ్యతతో ఉత్పత్తి చేయబడతాయని నిర్ధారిస్తుంది, మైక్రోచిప్‌లు, సెన్సార్లు మరియు అధునాతన ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలతో సహా అత్యాధునిక సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌లకు వాటిని ఆదర్శంగా మారుస్తుంది.
ఈ పొర Si Wafer, SiC సబ్‌స్ట్రేట్, SOI వేఫర్, SiN సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు ఎపి వేఫర్ వంటి విస్తృత శ్రేణి మెటీరియల్‌లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది, వివిధ కల్పన ప్రక్రియలకు అద్భుతమైన బహుముఖ ప్రజ్ఞను అందిస్తుంది. అదనంగా, ఇది Gallium Oxide Ga2O3 మరియు AlN Wafer వంటి అధునాతన సాంకేతికతలతో బాగా జత చేస్తుంది, ఇది అత్యంత ప్రత్యేకమైన అప్లికేషన్‌లలో విలీనం చేయబడుతుందని నిర్ధారిస్తుంది. సున్నితమైన ఆపరేషన్ కోసం, సెమీకండక్టర్ తయారీలో సమర్థవంతమైన నిర్వహణను నిర్ధారిస్తూ, పరిశ్రమ-ప్రామాణిక క్యాసెట్ సిస్టమ్‌లతో ఉపయోగించడానికి పొర ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది.
VET ఎనర్జీ యొక్క ఉత్పత్తి శ్రేణి సిలికాన్ పొరలకే పరిమితం కాలేదు. మేము SiC సబ్‌స్ట్రేట్, SOI వేఫర్, SiN సబ్‌స్ట్రేట్, ఎపి వేఫర్ మొదలైన అనేక రకాల సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ మెటీరియల్‌లను, అలాగే Gallium Oxide Ga2O3 మరియు AlN వేఫర్ వంటి కొత్త విస్తృత బ్యాండ్‌గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌లను కూడా అందిస్తాము. ఈ ఉత్పత్తులు పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ, సెన్సార్లు మరియు ఇతర రంగాలలో వివిధ కస్టమర్ల అప్లికేషన్ అవసరాలను తీర్చగలవు.
అప్లికేషన్ ప్రాంతాలు:
•లాజిక్ చిప్స్:CPU మరియు GPU వంటి అధిక-పనితీరు గల లాజిక్ చిప్‌ల తయారీ.
•మెమరీ చిప్స్:DRAM మరియు NAND ఫ్లాష్ వంటి మెమరీ చిప్‌ల తయారీ.
•అనలాగ్ చిప్స్:ADC మరియు DAC వంటి అనలాగ్ చిప్‌ల తయారీ.
•సెన్సార్లు:MEMS సెన్సార్లు, ఇమేజ్ సెన్సార్లు మొదలైనవి.
VET ఎనర్జీ కస్టమర్‌లకు అనుకూలీకరించిన పొర పరిష్కారాలను అందిస్తుంది మరియు కస్టమర్ల నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా వివిధ రెసిస్టివిటీ, విభిన్న ఆక్సిజన్ కంటెంట్, విభిన్న మందం మరియు ఇతర స్పెసిఫికేషన్‌లతో పొరలను అనుకూలీకరించవచ్చు. అదనంగా, ఉత్పత్తి ప్రక్రియలను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని మెరుగుపరచడంలో కస్టమర్‌లకు సహాయం చేయడానికి మేము ప్రొఫెషనల్ టెక్నికల్ సపోర్ట్ మరియు అమ్మకాల తర్వాత సేవలను కూడా అందిస్తాము.
వేఫరింగ్ స్పెసిఫికేషన్‌లు
*n-Pm=n-రకం Pm-గ్రేడ్,n-Ps=n-రకం Ps-గ్రేడ్,Sl=సెమీ-ల్సులేటింగ్
| అంశం | 8-అంగుళాల | 6-అంగుళాల | 4-అంగుళాల | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| విల్లు(GF3YFCD)-సంపూర్ణ విలువ | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| వార్ప్(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| వేఫర్ ఎడ్జ్ | బెవిలింగ్ | ||||
ఉపరితల ముగింపు
*n-Pm=n-రకం Pm-గ్రేడ్,n-Ps=n-రకం Ps-గ్రేడ్,Sl=సెమీ-ల్సులేటింగ్
| అంశం | 8-అంగుళాల | 6-అంగుళాల | 4-అంగుళాల | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| ఉపరితల ముగింపు | డబుల్ సైడ్ ఆప్టికల్ పోలిష్, Si- ఫేస్ CMP | ||||
| ఉపరితల కరుకుదనం | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
| ఎడ్జ్ చిప్స్ | ఏదీ అనుమతించబడలేదు (పొడవు మరియు వెడల్పు≥0.5 మిమీ) | ||||
| ఇండెంట్లు | ఏదీ అనుమతించబడలేదు | ||||
| గీతలు (Si-Face) | Qty.≤5,సంచితం | Qty.≤5,సంచితం | Qty.≤5,సంచితం | ||
| పగుళ్లు | ఏదీ అనుమతించబడలేదు | ||||
| ఎడ్జ్ మినహాయింపు | 3మి.మీ | ||||
