மேலே காட்டப்பட்டுள்ளபடி, ஒரு பொதுவானது
முதல் பாதி:
▪ வெப்பமூட்டும் உறுப்பு (வெப்ப சுருள்):
உலைக் குழாயைச் சுற்றி அமைந்துள்ளது, பொதுவாக எதிர்ப்புக் கம்பிகளால் ஆனது, உலைக் குழாயின் உட்புறத்தை சூடாக்கப் பயன்படுகிறது.
▪ குவார்ட்ஸ் குழாய்:
ஒரு சூடான ஆக்சிஜனேற்ற உலையின் மையப்பகுதி, உயர்-தூய்மை குவார்ட்ஸால் ஆனது, இது அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும் மற்றும் இரசாயன மந்தமாக இருக்கும்.
▪ எரிவாயு ஊட்டம்:
உலைக் குழாயின் மேல் அல்லது பக்கத்தில் அமைந்துள்ளது, இது உலைக் குழாயின் உட்புறத்திற்கு ஆக்ஸிஜன் அல்லது பிற வாயுக்களை கொண்டு செல்லப் பயன்படுகிறது.
▪ SS Flange:
குவார்ட்ஸ் குழாய்கள் மற்றும் எரிவாயு இணைப்புகளை இணைக்கும் கூறுகள், இணைப்பின் இறுக்கம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.
▪ எரிவாயு ஊட்டக் கோடுகள்:
எரிவாயு பரிமாற்றத்திற்கான எரிவாயு விநியோக துறைமுகத்திற்கு MFC ஐ இணைக்கும் குழாய்கள்.
▪ MFC (மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர்):
தேவைப்படும் வாயுவின் அளவைத் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்த குவார்ட்ஸ் குழாயின் உள்ளே வாயு ஓட்டத்தைக் கட்டுப்படுத்தும் சாதனம்.
▪ காற்றோட்டம்:
உலைக் குழாயின் உள்ளே இருந்து உபகரணங்களின் வெளிப்புறத்திற்கு வெளியேற்ற வாயுவை வெளியேற்றப் பயன்படுகிறது.
கீழ் பகுதி:
▪ ஹோல்டரில் சிலிக்கான் வேஃபர்கள்:
ஆக்ஸிஜனேற்றத்தின் போது சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்வதற்காக சிலிக்கான் செதில்கள் ஒரு சிறப்பு ஹோல்டரில் வைக்கப்படுகின்றன.
▪ வேஃபர் ஹோல்டர்:
சிலிக்கான் செதில்களைப் பிடிக்கவும், செயல்பாட்டின் போது சிலிக்கான் செதில் நிலையாக இருப்பதை உறுதி செய்யவும் பயன்படுகிறது.
▪ பீடம்:
சிலிக்கான் வேஃபர் ஹோல்டரை வைத்திருக்கும் ஒரு அமைப்பு, பொதுவாக அதிக வெப்பநிலையை எதிர்க்கும் பொருளால் ஆனது.
▪ உயர்த்தி:
சிலிக்கான் செதில்களை தானாக ஏற்றுவதற்கும் இறக்குவதற்கும் வேஃபர் ஹோல்டர்களை குவார்ட்ஸ் குழாய்களுக்குள் மற்றும் வெளியே உயர்த்த பயன்படுகிறது.
▪ வேஃபர் டிரான்ஸ்ஃபர் ரோபோ:
உலைக் குழாய் சாதனத்தின் பக்கத்தில் அமைந்துள்ளது, இது பெட்டியிலிருந்து சிலிக்கான் செதில்களைத் தானாக அகற்றி உலைக் குழாயில் வைக்க அல்லது செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு அதை அகற்ற பயன்படுகிறது.
▪ கேசட் சேமிப்பு கொணர்வி:
கேசட் சேமிப்பு கொணர்வி சிலிக்கான் செதில்கள் கொண்ட பெட்டியை சேமிக்க பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் ரோபோ அணுகலுக்காக சுழற்ற முடியும்.
▪ வேஃபர் கேசட்:
செதில் கேசட் சிலிக்கான் செதில்களை சேமித்து மாற்ற பயன்படுகிறது.
பின் நேரம்: ஏப்-22-2024