உலை குழாய் உபகரணங்களின் உள் அமைப்பு விரிவாக விளக்கப்பட்டுள்ளது

மேலே காட்டப்பட்டுள்ளபடி, ஒரு பொதுவானது

முதல் பாதி:
வெப்பமூட்டும் உறுப்பு (வெப்பமூட்டும் சுருள்) : உலைக் குழாயைச் சுற்றி அமைந்துள்ளது, பொதுவாக எதிர்ப்புக் கம்பிகளால் ஆனது, உலைக் குழாயின் உட்புறத்தை சூடாக்கப் பயன்படுகிறது.
குவார்ட்ஸ் குழாய்: சூடான ஆக்சிஜனேற்ற உலையின் மையப்பகுதி, அதிக தூய்மையான குவார்ட்ஸால் ஆனது, இது அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கி, வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றதாக இருக்கும்.
எரிவாயு ஊட்டம்: உலைக் குழாயின் மேல் அல்லது பக்கவாட்டில் அமைந்துள்ளது, இது உலைக் குழாயின் உள்ளே ஆக்ஸிஜன் அல்லது பிற வாயுக்களை கொண்டு செல்லப் பயன்படுகிறது.
SS Flange: குவார்ட்ஸ் குழாய்கள் மற்றும் எரிவாயு இணைப்புகளை இணைக்கும் கூறுகள், இணைப்பின் இறுக்கம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
எரிவாயு ஊட்டக் கோடுகள்: எரிவாயு பரிமாற்றத்திற்கான எரிவாயு விநியோக துறைமுகத்துடன் MFC ஐ இணைக்கும் குழாய்கள்.
MFC (மாஸ் ஃப்ளோ கன்ட்ரோலர்) : குவார்ட்ஸ் குழாய்க்குள் வாயு ஓட்டத்தை கட்டுப்படுத்தும் ஒரு சாதனம், தேவையான வாயுவின் அளவை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்துகிறது.
வென்ட்: உலைக் குழாயின் உள்ளே இருந்து உபகரணங்களின் வெளிப்புறத்திற்கு வெளியேற்ற வாயுவை வெளியேற்றப் பயன்படுகிறது.

கீழ் பகுதி
ஹோல்டரில் சிலிக்கான் வேஃபர்கள்: ஆக்சிஜனேற்றத்தின் போது சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்வதற்காக சிலிக்கான் செதில்கள் ஒரு சிறப்பு ஹோல்டரில் வைக்கப்படுகின்றன.
வேஃபர் ஹோல்டர்: சிலிக்கான் செதில்களைப் பிடிக்கவும், செயல்பாட்டின் போது சிலிக்கான் செதில் நிலையாக இருப்பதை உறுதி செய்யவும் பயன்படுகிறது.
பீடம்: சிலிக்கான் வேஃபர் ஹோல்டரை வைத்திருக்கும் ஒரு அமைப்பு, பொதுவாக அதிக வெப்பநிலையை எதிர்க்கும் பொருளால் ஆனது.
எலிவேட்டர்: சிலிக்கான் செதில்களை தானாக ஏற்றுவதற்கும் இறக்குவதற்கும் வேஃபர் ஹோல்டர்களை குவார்ட்ஸ் குழாய்களுக்குள் மற்றும் வெளியே உயர்த்த பயன்படுகிறது.
வேஃபர் டிரான்ஸ்ஃபர் ரோபோ: உலைக் குழாய் சாதனத்தின் பக்கத்தில் அமைந்துள்ளது, இது பெட்டியிலிருந்து சிலிக்கான் செதில்களைத் தானாக அகற்றி உலைக் குழாயில் வைக்க அல்லது செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு அதை அகற்ற பயன்படுகிறது.
கேசட் ஸ்டோரேஜ் கொணர்வி: கேசட் சேமிப்பு கொணர்வி சிலிக்கான் செதில்கள் கொண்ட பெட்டியை சேமிக்க பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் ரோபோ அணுகலுக்காக சுழற்ற முடியும்.
வேஃபர் கேசட்: செதில் கேசட் சிலிக்கான் செதில்களைச் சேமித்து மாற்றுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.