குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் மாசு மூலங்கள் மற்றும் தடுப்பு

செமிகண்டக்டர் சாதன உற்பத்தி முக்கியமாக தனித்த சாதனங்கள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் மற்றும் அவற்றின் பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை மூன்று நிலைகளாகப் பிரிக்கலாம்: தயாரிப்பு உடல் பொருள் உற்பத்தி, தயாரிப்புசெதில்உற்பத்தி மற்றும் சாதன அசெம்பிளி. அவற்றில், மிகவும் தீவிரமான மாசுபாடு தயாரிப்பு செதில் உற்பத்தி நிலை ஆகும்.
மாசுபடுத்திகள் முக்கியமாக கழிவு நீர், கழிவு வாயு மற்றும் திடக்கழிவுகளாக பிரிக்கப்படுகின்றன.

சிப் உற்பத்தி செயல்முறை:

சிலிக்கான் செதில்வெளிப்புற அரைத்தல் - சுத்தம் செய்தல் - ஆக்சிஜனேற்றம் - சீரான எதிர்ப்பு - ஃபோட்டோலித்தோகிராபி - மேம்பாடு - பொறித்தல் - பரவல், அயன் பொருத்துதல் - இரசாயன நீராவி படிவு - இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல் - உலோகமயமாக்கல் போன்றவை.

 

கழிவு நீர்

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி மற்றும் பேக்கேஜிங் சோதனையின் ஒவ்வொரு படிநிலையிலும் அதிக அளவு கழிவுநீர் உருவாக்கப்படுகிறது, முக்கியமாக அமில-அடிப்படை கழிவு நீர், அம்மோனியா கொண்ட கழிவு நீர் மற்றும் கரிம கழிவு நீர்.

 

1. புளோரின் கொண்ட கழிவு நீர்:

ஹைட்ரோபுளோரிக் அமிலம் அதன் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிக்கும் பண்புகள் காரணமாக ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் பொறித்தல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கரைப்பானாகிறது. செயல்பாட்டில் ஃவுளூரின் கொண்ட கழிவுநீர் முக்கியமாக பரவல் செயல்முறை மற்றும் சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல் செயல்முறையிலிருந்து வருகிறது. சிலிக்கான் செதில்கள் மற்றும் தொடர்புடைய பாத்திரங்களை சுத்தம் செய்யும் செயல்பாட்டில், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் பல முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த செயல்முறைகள் அனைத்தும் அர்ப்பணிக்கப்பட்ட பொறித்தல் தொட்டிகள் அல்லது துப்புரவு கருவிகளில் முடிக்கப்படுகின்றன, எனவே ஃவுளூரின் கொண்ட கழிவுநீரை சுயாதீனமாக வெளியேற்ற முடியும். செறிவின் படி, அதிக செறிவு கொண்ட புளோரின் கொண்ட கழிவு நீர் மற்றும் குறைந்த செறிவு கொண்ட அம்மோனியா கொண்ட கழிவு நீர் என பிரிக்கலாம். பொதுவாக, அதிக செறிவு கொண்ட அம்மோனியா கொண்ட கழிவுநீரின் செறிவு 100-1200 mg/L ஐ அடையலாம். பெரும்பாலான நிறுவனங்கள் அதிக நீர் தரம் தேவைப்படாத செயல்முறைகளுக்காக கழிவுநீரின் இந்த பகுதியை மறுசுழற்சி செய்கின்றன.

2. அமில-கார கழிவு நீர்:

ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி செயல்முறையில் கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு செயல்முறையும் சிப் சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும். தற்போது, ​​சல்பூரிக் அமிலம் மற்றும் ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு ஆகியவை ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் துப்புரவு திரவங்களாகும். அதே நேரத்தில், நைட்ரிக் அமிலம், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் மற்றும் அம்மோனியா நீர் போன்ற அமில-அடிப்படை வினைகளும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
உற்பத்தி செயல்முறையின் அமில-அடிப்படை கழிவுநீர் முக்கியமாக சிப் உற்பத்தி செயல்முறையில் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறையிலிருந்து வருகிறது. பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில், எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் மற்றும் வேதியியல் பகுப்பாய்வின் போது சிப் அமில-அடிப்படை தீர்வுடன் சிகிச்சையளிக்கப்படுகிறது. சுத்திகரிப்புக்குப் பிறகு, அமில-அடிப்படையிலான சலவை கழிவுநீரை உற்பத்தி செய்ய தூய நீரில் கழுவ வேண்டும். கூடுதலாக, சோடியம் ஹைட்ராக்சைடு மற்றும் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் போன்ற அமில-அடிப்படை உலைகளும் தூய நீர் நிலையத்தில் அமில-அடிப்படை மீளுருவாக்கம் கழிவுநீரை உற்பத்தி செய்ய அயனி மற்றும் கேஷன் ரெசின்களை மீண்டும் உருவாக்க பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அமில-அடிப்படை கழிவு வாயு சலவை செயல்முறையின் போது வாஷிங் வால் நீரும் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது. ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி நிறுவனங்களில், அமில-அடிப்படை கழிவுநீரின் அளவு குறிப்பாக பெரியது.

3. கரிம கழிவு நீர்:

வெவ்வேறு உற்பத்தி செயல்முறைகள் காரணமாக, குறைக்கடத்தி தொழிலில் பயன்படுத்தப்படும் கரிம கரைப்பான்களின் அளவு மிகவும் வேறுபட்டது. இருப்பினும், துப்புரவு முகவர்களாக, கரிம கரைப்பான்கள் இன்னும் உற்பத்தி பேக்கேஜிங்கின் பல்வேறு இணைப்புகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சில கரைப்பான்கள் கரிம கழிவு நீரை வெளியேற்றும்.

4. பிற கழிவு நீர்:

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்முறையின் செதுக்கல் செயல்முறையானது அதிக அளவு அம்மோனியா, ஃவுளூரின் மற்றும் உயர்-தூய்மை நீரை தூய்மையாக்க பயன்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் அதிக செறிவு கொண்ட அம்மோனியா கொண்ட கழிவு நீர் வெளியேற்றத்தை உருவாக்கும்.
குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்பாட்டில் எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் செயல்முறை தேவைப்படுகிறது. மின்முலாம் பூசப்பட்ட பிறகு சில்லு சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும், மேலும் இந்த செயல்பாட்டில் எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் சுத்தம் செய்யும் கழிவு நீர் உருவாக்கப்படும். எலக்ட்ரோபிளேட்டிங்கில் சில உலோகங்கள் பயன்படுத்தப்படுவதால், ஈயம், தகரம், வட்டு, துத்தநாகம், அலுமினியம் போன்ற மின்முலாம் சுத்தம் செய்யும் கழிவுநீரில் உலோக அயனி உமிழ்வுகள் இருக்கும்.

 

கழிவு வாயு

குறைக்கடத்தி செயல்முறையானது இயக்க அறையின் தூய்மைக்கான மிக உயர்ந்த தேவைகளைக் கொண்டிருப்பதால், செயல்முறையின் போது ஆவியாகும் பல்வேறு வகையான கழிவு வாயுக்களை பிரித்தெடுக்க மின்விசிறிகள் வழக்கமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. எனவே, குறைக்கடத்தி துறையில் கழிவு வாயு வெளியேற்றம் பெரிய வெளியேற்ற அளவு மற்றும் குறைந்த உமிழ்வு செறிவு வகைப்படுத்தப்படும். கழிவு வாயு வெளியேற்றமும் முக்கியமாக ஆவியாகிறது.
இந்த கழிவு வாயு வெளியேற்றங்களை முக்கியமாக நான்கு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: அமில வாயு, கார வாயு, கரிமக் கழிவு வாயு மற்றும் நச்சு வாயு.

1. அமில-காரக் கழிவு வாயு:

அமில-காரக் கழிவு வாயு முக்கியமாக பரவலில் இருந்து வருகிறது,CVD, CMP மற்றும் செதுக்கல் செயல்முறைகள், அவை செதில்களை சுத்தம் செய்ய அமில-அடிப்படை சுத்திகரிப்பு தீர்வைப் பயன்படுத்துகின்றன.
தற்போது, ​​ஹைட்ரஜன் பெராக்சைடு மற்றும் சல்பூரிக் அமிலத்தின் கலவையானது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் துப்புரவு கரைப்பான் ஆகும்.
இந்த செயல்முறைகளில் உருவாகும் கழிவு வாயுவில் சல்பூரிக் அமிலம், ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலம், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம், நைட்ரிக் அமிலம் மற்றும் பாஸ்போரிக் அமிலம் போன்ற அமில வாயுக்கள் அடங்கும், மேலும் கார வாயு முக்கியமாக அம்மோனியா ஆகும்.

2. கரிம கழிவு வாயு:

கரிம கழிவு வாயு முக்கியமாக ஃபோட்டோலித்தோகிராபி, மேம்பாடு, செதுக்கல் மற்றும் பரவல் போன்ற செயல்முறைகளில் இருந்து வருகிறது. இந்த செயல்முறைகளில், கரிமக் கரைசல் (ஐசோபிரைல் ஆல்கஹால் போன்றவை) செதில்களின் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்யப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் ஆவியாகும் வாயுவால் உருவாகும் கழிவு வாயு கரிம கழிவு வாயுவின் ஆதாரங்களில் ஒன்றாகும்;
அதே நேரத்தில், ஃபோட்டோலித்தோகிராபி மற்றும் பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் (ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்) பியூட்டில் அசிடேட் போன்ற ஆவியாகும் கரிம கரைப்பான்களைக் கொண்டுள்ளது, இது செதில் செயலாக்கத்தின் போது வளிமண்டலத்தில் ஆவியாகிறது, இது கரிம கழிவு வாயுவின் மற்றொரு ஆதாரமாகும்.

3. நச்சுக் கழிவு வாயு:

நச்சுக் கழிவு வாயு முக்கியமாக படிக எபிடாக்ஸி, உலர் எச்சிங் மற்றும் சிவிடி போன்ற செயல்முறைகளில் இருந்து வருகிறது. இந்த செயல்முறைகளில், சிலிக்கான் (SiHj), பாஸ்பரஸ் (PH3), கார்பன் டெட்ராகுளோரைடு (CFJ), போரேன், போரான் ட்ரை ஆக்சைடு போன்ற பல்வேறு உயர் தூய்மை சிறப்பு வாயுக்கள் செதில்களைச் செயலாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. சில சிறப்பு வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை வாய்ந்தவை, மூச்சுத்திணறல் மற்றும் அரிக்கும்.
அதே நேரத்தில், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இரசாயன நீராவி படிவுக்குப் பிறகு உலர் பொறித்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் செயல்பாட்டில், NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6 போன்ற பெரிய அளவிலான முழு ஆக்சைடு (PFCS) வாயு தேவைப்படுகிறது. இந்த perfluorinated கலவைகள் அகச்சிவப்பு ஒளி மண்டலத்தில் வலுவான உறிஞ்சுதல் மற்றும் வளிமண்டலத்தில் நீண்ட நேரம் இருக்கும். அவை பொதுவாக உலகளாவிய கிரீன்ஹவுஸ் விளைவின் முக்கிய ஆதாரமாகக் கருதப்படுகின்றன.

4. பேக்கேஜிங் செயல்முறை கழிவு வாயு:

குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​குறைக்கடத்தி பேக்கேஜிங் செயல்முறையால் உருவாக்கப்படும் கழிவு வாயு ஒப்பீட்டளவில் எளிமையானது, முக்கியமாக அமில வாயு, எபோக்சி பிசின் மற்றும் தூசி.
அமிலக் கழிவு வாயு முக்கியமாக மின்முலாம் பூசுதல் போன்ற செயல்முறைகளில் உருவாக்கப்படுகிறது;
பேக்கிங் கழிவு வாயு தயாரிப்பு ஒட்டுதல் மற்றும் சீல் பிறகு பேக்கிங் செயல்முறை உருவாக்கப்படுகிறது;
டைசிங் இயந்திரம் செதில் வெட்டும் செயல்பாட்டின் போது சிலிக்கான் தூசியைக் கொண்ட கழிவு வாயுவை உருவாக்குகிறது.

 

சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு சிக்கல்கள்

குறைக்கடத்தி துறையில் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாடு பிரச்சினைகளுக்கு, தீர்க்கப்பட வேண்டிய முக்கிய பிரச்சனைகள்:
ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி செயல்பாட்டில் காற்று மாசுபடுத்திகள் மற்றும் ஆவியாகும் கரிம சேர்மங்கள் (VOCs) பெரிய அளவிலான உமிழ்வு;
பிளாஸ்மா பொறித்தல் மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைகளில் பெர்ஃப்ளூரினேட்டட் சேர்மங்களின் (PFCS) உமிழ்வு;
· உற்பத்தி மற்றும் தொழிலாளர்களின் பாதுகாப்பு பாதுகாப்பில் ஆற்றல் மற்றும் நீரின் பெரிய அளவிலான நுகர்வு;
துணை தயாரிப்புகளின் மறுசுழற்சி மற்றும் மாசு கண்காணிப்பு;
· பேக்கேஜிங் செயல்முறைகளில் அபாயகரமான இரசாயனங்களைப் பயன்படுத்துவதில் உள்ள சிக்கல்கள்.

 

சுத்தமான உற்பத்தி

செமிகண்டக்டர் சாதனம் சுத்தமான உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தை மூலப்பொருட்கள், செயல்முறைகள் மற்றும் செயல்முறை கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றின் அம்சங்களில் இருந்து மேம்படுத்தலாம்.

 

மூலப்பொருட்கள் மற்றும் ஆற்றலை மேம்படுத்துதல்

முதலாவதாக, அசுத்தங்கள் மற்றும் துகள்களின் அறிமுகத்தை குறைக்க பொருட்களின் தூய்மை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும்.
இரண்டாவதாக, பல்வேறு வெப்பநிலை, கசிவு கண்டறிதல், அதிர்வு, உயர் மின்னழுத்த மின்சார அதிர்ச்சி மற்றும் பிற சோதனைகள் உள்வரும் கூறுகள் அல்லது அரை முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்புகள் உற்பத்திக்கு முன் மேற்கொள்ளப்பட வேண்டும்.
கூடுதலாக, துணை பொருட்களின் தூய்மை கண்டிப்பாக கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். ஆற்றல் சுத்தமான உற்பத்திக்கு பயன்படுத்தக்கூடிய ஒப்பீட்டளவில் பல தொழில்நுட்பங்கள் உள்ளன.

 

உற்பத்தி செயல்முறையை மேம்படுத்தவும்

செயல்முறை தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகள் மூலம் சுற்றுச்சூழலில் அதன் தாக்கத்தை குறைக்க குறைக்கடத்தி தொழில்துறையே முயற்சிக்கிறது.
எடுத்துக்காட்டாக, 1970 களில், ஒருங்கிணைந்த சுற்று சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பத்தில் செதில்களை சுத்தம் செய்ய கரிம கரைப்பான்கள் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்பட்டன. 1980 களில், சல்பூரிக் அமிலம் போன்ற அமிலம் மற்றும் காரக் கரைசல்கள் செதில்களை சுத்தம் செய்ய பயன்படுத்தப்பட்டன. 1990கள் வரை, பிளாஸ்மா ஆக்ஸிஜனை சுத்தம் செய்யும் தொழில்நுட்பம் உருவாக்கப்பட்டது.
பேக்கேஜிங்கைப் பொறுத்தவரை, பெரும்பாலான நிறுவனங்கள் தற்போது எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகின்றன, இது சுற்றுச்சூழலுக்கு கன உலோக மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும்.
இருப்பினும், ஷாங்காயில் உள்ள பேக்கேஜிங் ஆலைகள் இனி எலக்ட்ரோபிளேட்டிங் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதில்லை, எனவே சுற்றுச்சூழலில் கன உலோகங்களின் தாக்கம் இல்லை. செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறையானது செயல்முறை மேம்பாடுகள் மற்றும் அதன் சொந்த வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் இரசாயன மாற்றீடுகள் மூலம் சுற்றுச்சூழலில் அதன் தாக்கத்தை படிப்படியாகக் குறைப்பதைக் காணலாம், இது சுற்றுச்சூழலை அடிப்படையாகக் கொண்ட செயல்முறை மற்றும் தயாரிப்பு வடிவமைப்பை ஆதரிக்கும் தற்போதைய உலகளாவிய வளர்ச்சிப் போக்கையும் பின்பற்றுகிறது.

 

தற்போது, ​​மேலும் உள்ளூர் செயல்முறை மேம்பாடுகள் மேற்கொள்ளப்படுகின்றன, அவற்றுள்:

·அனைத்து அம்மோனியம் PFCS வாயுவை மாற்றுதல் மற்றும் குறைத்தல், அதாவது குறைந்த கிரீன்ஹவுஸ் விளைவு கொண்ட PFC வாயுவை அதிக கிரீன்ஹவுஸ் விளைவுடன் மாற்றுவது, செயல்முறை ஓட்டத்தை மேம்படுத்துதல் மற்றும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் PFCS வாயுவின் அளவைக் குறைத்தல் போன்றவை;
·சுத்தப்படுத்தும் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் இரசாயன துப்புரவு முகவர்களின் அளவைக் குறைக்க, பல-செதில் சுத்தம் செய்வதை ஒற்றை-செதில் சுத்தம் செய்வதை மேம்படுத்துதல்.
· கடுமையான செயல்முறை கட்டுப்பாடு:
அ. உற்பத்தி செயல்முறையின் தன்னியக்கத்தை உணரவும், இது துல்லியமான செயலாக்கம் மற்றும் தொகுதி உற்பத்தியை உணர முடியும், மேலும் கையேடு செயல்பாட்டின் உயர் பிழை விகிதத்தை குறைக்கிறது;
பி. அல்ட்ரா-க்ளீன் செயல்முறை சுற்றுச்சூழல் காரணிகள், சுமார் 5% அல்லது குறைவான மகசூல் இழப்பு மக்கள் மற்றும் சுற்றுச்சூழலால் ஏற்படுகிறது. அல்ட்ரா-க்ளீன் செயல்முறை சுற்றுச்சூழல் காரணிகள் முக்கியமாக காற்று தூய்மை, உயர்-தூய்மை நீர், அழுத்தப்பட்ட காற்று, CO2, N2, வெப்பநிலை, ஈரப்பதம் போன்றவை அடங்கும். ஒரு சுத்தமான பட்டறையின் தூய்மையின் அளவு பெரும்பாலும் ஒரு யூனிட் தொகுதிக்கு அனுமதிக்கப்பட்ட அதிகபட்ச துகள்களால் அளவிடப்படுகிறது. காற்று, அதாவது, துகள் எண்ணிக்கை செறிவு;
c. கண்டறிதலை வலுப்படுத்தவும், உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது அதிக அளவு கழிவுகளைக் கொண்ட பணிநிலையங்களில் கண்டறிவதற்கான பொருத்தமான முக்கிய புள்ளிகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

 

மேலும் கலந்துரையாடலுக்கு எங்களைப் பார்வையிட உலகம் முழுவதிலுமிருந்து எந்த வாடிக்கையாளர்களையும் வரவேற்கிறோம்!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j