இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) என்பது ஒரு முக்கியமான மெல்லிய பட படிவு தொழில்நுட்பமாகும், இது பெரும்பாலும் பல்வேறு செயல்பாட்டு படங்கள் மற்றும் மெல்லிய அடுக்கு பொருட்களை தயாரிக்க பயன்படுகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகிறது.
1. சிவிடியின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை
CVD செயல்பாட்டில், ஒரு வாயு முன்னோடி (ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட வாயு முன்னோடி கலவைகள்) அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்புடன் தொடர்பு கொள்ளப்பட்டு ஒரு குறிப்பிட்ட வெப்பநிலைக்கு வெப்பப்படுத்தப்பட்டு ஒரு வேதியியல் எதிர்வினையை ஏற்படுத்துகிறது மற்றும் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் விரும்பிய படம் அல்லது பூச்சு உருவாகிறது. அடுக்கு. இந்த இரசாயன எதிர்வினையின் தயாரிப்பு ஒரு திடமானது, பொதுவாக விரும்பிய பொருளின் கலவையாகும். நாம் ஒரு மேற்பரப்பில் சிலிக்கானை ஒட்ட விரும்பினால், ட்ரைக்ளோரோசிலேனை (SiHCl3) முன்னோடி வாயுவாகப் பயன்படுத்தலாம்: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl சிலிக்கான் வெளிப்படும் எந்த மேற்பரப்பிலும் (உள் மற்றும் வெளிப்புறம்) பிணைக்கும், அதே சமயம் குளோரின் மற்றும் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமில வாயுக்கள் அறையிலிருந்து வெளியேற்றப்பட வேண்டும்.
2. CVD வகைப்பாடு
வெப்ப CVD: முன்னோடி வாயுவை வெப்பமாக்குவதன் மூலம் சிதைந்து, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் வைப்பது. பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட CVD (PECVD): எதிர்வினை வீதத்தை அதிகரிக்க மற்றும் படிவு செயல்முறையை கட்டுப்படுத்த பிளாஸ்மா வெப்ப CVD இல் சேர்க்கப்படுகிறது. மெட்டல் ஆர்கானிக் சிவிடி (எம்ஓசிவிடி): உலோக கரிம சேர்மங்களை முன்னோடி வாயுக்களாகப் பயன்படுத்தி, உலோகங்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிக்கலாம், மேலும் அவை பெரும்பாலும் எல்இடி போன்ற சாதனங்களின் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
3. விண்ணப்பம்
(1) செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி
சிலிசைட் படம்: இன்சுலேடிங் லேயர், அடி மூலக்கூறுகள், தனித்த அடுக்குகள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. நைட்ரைடு படம்: சிலிக்கான் நைட்ரைடு, அலுமினியம் நைட்ரைடு போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. அடுக்குகள், முதலியன
(2) காட்சி தொழில்நுட்பம்
ITO படம்: வெளிப்படையான கடத்தும் ஆக்சைடு படம், பொதுவாக பிளாட் பேனல் காட்சிகள் மற்றும் தொடுதிரைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. காப்பர் படம்: காட்சி சாதனங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்த பேக்கேஜிங் அடுக்குகள், கடத்தும் கோடுகள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
(3) பிற துறைகள்
ஒளியியல் பூச்சுகள்: எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு பூச்சுகள், ஆப்டிகல் வடிகட்டிகள், முதலியன உட்பட. எதிர்ப்பு அரிப்பு பூச்சு: வாகன பாகங்கள், விண்வெளி சாதனங்கள் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
4. CVD செயல்முறையின் சிறப்பியல்புகள்
எதிர்வினை வேகத்தை மேம்படுத்த அதிக வெப்பநிலை சூழலைப் பயன்படுத்தவும். பொதுவாக வெற்றிட சூழலில் நிகழ்த்தப்படுகிறது. ஓவியம் வரைவதற்கு முன், பகுதியின் மேற்பரப்பில் உள்ள அசுத்தங்கள் அகற்றப்பட வேண்டும். செயல்முறையானது பூசப்படக்கூடிய அடி மூலக்கூறுகளில் வரம்புகளைக் கொண்டிருக்கலாம், அதாவது வெப்பநிலை வரம்புகள் அல்லது வினைத்திறன் வரம்புகள். CVD பூச்சு நூல்கள், குருட்டு துளைகள் மற்றும் உள் மேற்பரப்புகள் உட்பட பகுதியின் அனைத்து பகுதிகளையும் உள்ளடக்கும். குறிப்பிட்ட இலக்கு பகுதிகளை மறைக்கும் திறனைக் கட்டுப்படுத்தலாம். படத்தின் தடிமன் செயல்முறை மற்றும் பொருள் நிலைமைகளால் வரையறுக்கப்படுகிறது. உயர்ந்த ஒட்டுதல்.
5. CVD தொழில்நுட்பத்தின் நன்மைகள்
சீரான தன்மை: பெரிய பரப்பளவு அடி மூலக்கூறுகளின் மீது சீரான படிவுகளை அடைய முடியும்.
கட்டுப்படுத்தக்கூடிய தன்மை: முன்னோடி வாயுவின் ஓட்ட விகிதம் மற்றும் வெப்பநிலையைக் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் படிவு விகிதம் மற்றும் பட பண்புகளை சரிசெய்யலாம்.
பன்முகத்தன்மை: உலோகங்கள், குறைக்கடத்திகள், ஆக்சைடுகள் போன்ற பல்வேறு பொருட்களின் படிவுகளுக்கு ஏற்றது.
இடுகை நேரம்: மே-06-2024