குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவுடன் ஒப்பிடும்போது சிலிக்கான் கார்பைடு படகு ஆதரவின் நன்மைகள்

முக்கிய செயல்பாடுகள்சிலிக்கான் கார்பைடு படகுஆதரவு மற்றும் குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவு ஒன்றுதான்.சிலிக்கான் கார்பைடு படகுஆதரவு சிறந்த செயல்திறன் ஆனால் அதிக விலை உள்ளது. இது கடுமையான வேலை நிலைமைகள் (எல்பிசிவிடி உபகரணங்கள் மற்றும் போரான் பரவல் உபகரணங்கள் போன்றவை) பேட்டரி செயலாக்க கருவிகளில் குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவுடன் ஒரு மாற்று உறவை உருவாக்குகிறது. சாதாரண வேலை நிலைமைகள் கொண்ட பேட்டரி செயலாக்க உபகரணங்களில், விலை உறவுகள் காரணமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவு ஆகியவை இணைந்து செயல்படும் மற்றும் போட்டியிடும் வகைகளாகின்றன.

① LPCVD மற்றும் போரான் பரவல் கருவிகளில் மாற்று உறவு

LPCVD உபகரணங்கள் பேட்டரி செல் டன்னலிங் ஆக்சிடேஷன் மற்றும் டோப் பாலிசிலிகான் லேயர் தயாரிப்பு செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது. வேலை கொள்கை:

குறைந்த அழுத்த வளிமண்டலத்தின் கீழ், தகுந்த வெப்பநிலையுடன் இணைந்து, இரசாயன எதிர்வினை மற்றும் படிவு பட உருவாக்கம் ஆகியவை அதி-மெல்லிய சுரங்கப்பாதை ஆக்சைடு அடுக்கு மற்றும் பாலிசிலிகான் ஃபிலிம் தயாரிக்க அடையப்படுகின்றன. சுரங்கப்பாதை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிகான் லேயர் தயாரிப்பு செயல்பாட்டில், படகு ஆதரவு அதிக வேலை வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் ஒரு சிலிக்கான் படம் மேற்பரப்பில் வைக்கப்படும். குவார்ட்ஸின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் சிலிக்கானில் இருந்து முற்றிலும் வேறுபட்டது. மேற்கூறிய செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தும்போது, ​​சிலிக்கானில் இருந்து வெவ்வேறு வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் காரணமாக வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் காரணமாக குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவு உடைவதைத் தடுக்க மேற்பரப்பில் படிந்துள்ள சிலிக்கானை தொடர்ந்து ஊறுகாய் மற்றும் அகற்றுவது அவசியம். அடிக்கடி ஊறுகாய் மற்றும் குறைந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை காரணமாக, குவார்ட்ஸ் படகு வைத்திருப்பவர் குறுகிய ஆயுளைக் கொண்டுள்ளார் மற்றும் சுரங்கப்பாதை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிகான் லேயர் தயாரிப்பு செயல்முறையில் அடிக்கடி மாற்றப்படுகிறது, இது பேட்டரி கலத்தின் உற்பத்தி செலவை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது. விரிவாக்க குணகம்சிலிக்கான் கார்பைடுசிலிக்கானுக்கு அருகில் உள்ளது. ஒருங்கிணைந்தசிலிக்கான் கார்பைடு படகுவைத்திருப்பவருக்கு சுரங்கப்பாதை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் டோப் செய்யப்பட்ட பாலிசிலிகான் லேயர் தயாரிப்பு செயல்பாட்டில் ஊறுகாய் தேவைப்படாது. இது உயர் வெப்பநிலை வலிமை மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை உள்ளது. குவார்ட்ஸ் படகு வைத்திருப்பவருக்கு இது ஒரு நல்ல மாற்றாகும்.

போரான் விரிவாக்க கருவிகள் முக்கியமாக பேட்டரி கலத்தின் N-வகை சிலிக்கான் வேஃபர் அடி மூலக்கூறில் போரான் கூறுகளை ஊக்கப்படுத்தும் செயல்முறைக்கு P-வகை உமிழ்ப்பானை PN சந்திப்பை உருவாக்குவதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அதிக வெப்பநிலை வளிமண்டலத்தில் இரசாயன எதிர்வினை மற்றும் மூலக்கூறு படிவு பட உருவாக்கத்தை உணர்ந்துகொள்வதே செயல்பாட்டுக் கொள்கை. படம் உருவான பிறகு, சிலிக்கான் செதில் மேற்பரப்பின் ஊக்கமருந்து செயல்பாட்டை உணர உயர்-வெப்பநிலை வெப்பமாக்கல் மூலம் அது பரவுகிறது. போரான் விரிவாக்க உபகரணங்களின் அதிக வேலை வெப்பநிலை காரணமாக, குவார்ட்ஸ் படகு வைத்திருப்பவர் குறைந்த உயர் வெப்பநிலை வலிமை மற்றும் போரான் விரிவாக்க கருவியில் ஒரு குறுகிய சேவை வாழ்க்கை உள்ளது. ஒருங்கிணைந்தசிலிக்கான் கார்பைடு படகுஹோல்டர் அதிக வெப்பநிலை வலிமை கொண்டது மற்றும் போரான் விரிவாக்க செயல்பாட்டில் குவார்ட்ஸ் படகு வைத்திருப்பவருக்கு ஒரு நல்ல மாற்றாகும்.

② மற்ற செயல்முறை உபகரணங்களில் மாற்று உறவு

SiC படகு ஆதரவுகள் இறுக்கமான உற்பத்தி திறன் மற்றும் சிறந்த செயல்திறன் கொண்டவை. அவற்றின் விலை பொதுவாக குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவை விட அதிகமாக உள்ளது. செல் செயலாக்க உபகரணங்களின் பொதுவான வேலை நிலைமைகளில், SiC படகு ஆதரவு மற்றும் குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவு ஆகியவற்றுக்கு இடையேயான சேவை வாழ்க்கையில் வேறுபாடு சிறியது. கீழ்நிலை வாடிக்கையாளர்கள் தங்கள் சொந்த செயல்முறைகள் மற்றும் தேவைகளின் அடிப்படையில் விலை மற்றும் செயல்திறன் ஆகியவற்றிற்கு இடையே முக்கியமாக ஒப்பிட்டு தேர்வு செய்கிறார்கள். SiC படகு ஆதரவுகள் மற்றும் குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவுகள் இணைந்து மற்றும் போட்டித்தன்மையுடன் மாறியுள்ளன. இருப்பினும், SiC படகு ஆதரவின் மொத்த லாப வரம்பு தற்போது ஒப்பீட்டளவில் அதிகமாக உள்ளது. SiC படகு ஆதரவின் உற்பத்திச் செலவு குறைவதால், SiC படகு ஆதரவின் விற்பனை விலை தீவிரமாக சரிந்தால், அது குவார்ட்ஸ் படகு ஆதரவிற்கு அதிக போட்டித்தன்மையை ஏற்படுத்தும்.

பயன்பாட்டு விகிதம்

செல் தொழில்நுட்ப வழி முக்கியமாக PERC தொழில்நுட்பம் மற்றும் TOPCon தொழில்நுட்பம் ஆகும். PERC தொழில்நுட்பத்தின் சந்தைப் பங்கு 88% மற்றும் TOPCon தொழில்நுட்பத்தின் சந்தைப் பங்கு 8.3% ஆகும். இரண்டின் சந்தை பங்கு 96.30% ஆகும்.

கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளபடி:

PERC தொழில்நுட்பத்தில், முன் பாஸ்பரஸ் பரவல் மற்றும் அனீலிங் செயல்முறைகளுக்கு படகு ஆதரவுகள் தேவைப்படுகின்றன. TOPCon தொழில்நுட்பத்தில், முன் போரான் பரவல், LPCVD, பின் பாஸ்பரஸ் பரவல் மற்றும் அனீலிங் செயல்முறைகளுக்கு படகு ஆதரவுகள் தேவைப்படுகின்றன. தற்போது, ​​சிலிக்கான் கார்பைடு படகு ஆதரவுகள் முக்கியமாக TOPCon தொழில்நுட்பத்தின் LPCVD செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் போரான் பரவல் செயல்பாட்டில் அவற்றின் பயன்பாடு முக்கியமாக சரிபார்க்கப்பட்டது.

செல் செயலாக்க செயல்பாட்டில் படகு ஆதரவுகளின் பயன்பாடு

குறிப்பு: PERC மற்றும் TOPCon தொழில்நுட்பங்களின் முன் மற்றும் பின் பூச்சுக்குப் பிறகு, ஸ்கிரீன் பிரிண்டிங், சின்டரிங் மற்றும் டெஸ்டிங் மற்றும் வரிசைப்படுத்துதல் போன்ற இணைப்புகள் இன்னும் உள்ளன, இவை படகு ஆதரவைப் பயன்படுத்துவதில்லை மற்றும் மேலே உள்ள படத்தில் பட்டியலிடப்படவில்லை.