PECVD Inapakia Tray Deposition Graphite Tray

PECVD Inapakia Tray Deposition ya Graphite Tray Iliyoangaziwa

Maelezo Fupi:

Trei ya Kupakia ya VET Energy ya PECVD imeundwa ili kutoa salama na hata usaidizi wa kaki wakati wa uwekaji, kuboresha uthabiti na ubora wa mchakato wa uwekaji. Kwa upinzani wake bora wa joto, Tray ya Graphite husaidia kudumisha mazingira yaliyodhibitiwa ndani ya vyumba vya PECVD, kupunguza hatari ya uchafuzi na kuhakikisha ufanisi wa juu wa mchakato.

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Trei ya kupakia ya VET Energy PECVD ni mtoa huduma sahihi iliyoundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (uwekaji wa kemikali ya plasma iliyoimarishwa). Trei hii ya utuaji wa hali ya juu ya grafiti imetengenezwa kwa nyenzo za ubora wa juu na zenye uzito wa juu wa grafiti. Ina upinzani bora wa joto la juu, upinzani wa kutu, utulivu wa dimensional na sifa nyingine. Inaweza kutoa jukwaa thabiti la mtoa huduma kwa mchakato wa PECVD na kuhakikisha usawa na usawa wa utuaji wa filamu.

Trays za upakiaji za VET Nishati PECVD hutumiwa sana katika semiconductor, photovoltaic, LED na nyanja nyingine. Kwa mfano:

▪ Semikondukta: Mchakato wa PECVD wa nyenzo za semicondukta kama vile kaki za silicon na kaki za epitaxial.

▪ Photovoltaic: Mchakato wa PECVD wa filamu nyembamba za seli za jua.

▪ LED: Mchakato wa PECVD kwa chips za LED.

Faida za Bidhaa

▪Boresha ubora wa filamu:Hakikisha uwekaji wa filamu sawa na uboresha ubora wa filamu.

▪Kuongeza maisha ya kifaa:Upinzani bora wa kutu, kupanua maisha ya huduma ya vifaa vya PECVD.

▪Kupunguza gharama za uzalishaji:Trei za grafiti za ubora wa juu zinaweza kupunguza kiwango cha chakavu na kupunguza gharama za uzalishaji.

Nyenzo za grafiti kutoka SGL:

Kigezo cha kawaida: R6510
Kielezo	Kiwango cha mtihani	Thamani	Kitengo
Ukubwa wa wastani wa nafaka	ISO 13320	10	μm
Wingi msongamano	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Fungua porosity	DIN66133	10	%
Ukubwa wa pore wa kati	DIN66133	1.8	μm
Upenyezaji	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ugumu wa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivity maalum ya umeme	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Nguvu ya flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nguvu ya kukandamiza	DIN 51910	130	MPa
Moduli ya vijana	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Upanuzi wa joto (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Uendeshaji wa joto (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua kwa ufanisi wa hali ya juu, kusaidia usindikaji wa kaki wa ukubwa mkubwa wa G12. Muundo ulioboreshwa wa mtoa huduma huongeza kwa kiasi kikubwa matumizi, kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama ya chini ya uzalishaji.

Kipengee	Aina	Mtoa huduma wa kaki
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 156	156-13 mashua ya grephite	144
	156-19 mashua ya grephite	216
	156-21 mashua ya grephite	240
	156-23 mashua ya grafiti	308
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 125	125-15 mashua ya grephite	196
	125-19 mashua ya grephite	252
	125-21 mashua ya grphite	280