VET Nishati Graphite Wafer Holder ni mtoa huduma sahihi iliyoundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali Ulioboreshwa kwenye Plasma). Kishikilia Substrate ya Graphite ya hali ya juu imetengenezwa kwa nyenzo za ubora wa juu, zenye uzito wa juu wa grafiti, na upinzani bora wa joto la juu, upinzani wa kutu, utulivu wa dimensional na sifa zingine. Inaweza kutoa jukwaa la usaidizi thabiti kwa mchakato wa PECVD na kuhakikisha usawa na usawa wa utuaji wa filamu.
Jedwali la msaada la VET Nishati PECVD lina sifa zifuatazo:
▪Usafi wa hali ya juu:maudhui ya uchafu wa chini sana, epuka uchafuzi wa filamu, hakikisha ubora wa filamu.
▪Msongamano mkubwa:high wiani, high mitambo nguvu, inaweza kuhimili joto la juu na shinikizo PECVD mazingira.
▪Utulivu mzuri wa sura:mabadiliko madogo ya dimensional kwa joto la juu, kuhakikisha utulivu wa mchakato.
▪Uendeshaji bora wa joto:kwa ufanisi kuhamisha joto ili kuzuia overheating kaki.
▪Upinzani mkubwa wa kutu:inaweza kupinga mmomonyoko wa udongo na gesi babuzi na plasma.
▪Huduma iliyobinafsishwa:meza za msaada wa grafiti za ukubwa tofauti na maumbo zinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.
Faida za Bidhaa
▪Boresha ubora wa filamu:Hakikisha uwekaji wa filamu sawa na uboresha ubora wa filamu.
▪Kuongeza maisha ya kifaa:Upinzani bora wa kutu, kupanua maisha ya huduma ya vifaa vya PECVD.
▪Kupunguza gharama za uzalishaji:Trei za grafiti za ubora wa juu zinaweza kupunguza kiwango cha chakavu na kupunguza gharama za uzalishaji.
Nyenzo za grafiti kutoka SGL:
Kigezo cha kawaida: R6510 | |||
Kielezo | Kiwango cha mtihani | Thamani | Kitengo |
Ukubwa wa wastani wa nafaka | ISO 13320 | 10 | μm |
Wingi msongamano | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Fungua porosity | DIN66133 | 10 | % |
Ukubwa wa pore wa kati | DIN66133 | 1.8 | μm |
Upenyezaji | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Ugumu wa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Resistivity maalum ya umeme | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Nguvu ya flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Nguvu ya kukandamiza | DIN 51910 | 130 | MPa |
Moduli ya vijana | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Upanuzi wa joto (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Uendeshaji wa joto (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua kwa ufanisi wa hali ya juu, kusaidia usindikaji wa kaki wa ukubwa mkubwa wa G12. Muundo ulioboreshwa wa mtoa huduma huongeza kwa kiasi kikubwa matumizi, kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama ya chini ya uzalishaji.
Kipengee | Aina | Mtoa huduma wa kaki |
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 156 | 156-13 mashua ya grephite | 144 |
156-19 mashua ya grephite | 216 | |
156-21 mashua ya grephite | 240 | |
156-23 mashua ya grafiti | 308 | |
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 125 | 125-15 mashua ya grephite | 196 |
125-19 mashua ya grephite | 252 | |
125-21 mashua ya grphite | 280 |