PECVD Graphite Wafer Support

Maelezo Fupi:

Imeundwa kwa usahihi na utendakazi, Usaidizi wa Kaki wa Graphite wa VET Energy ndio nyenzo bora kwa ajili ya uchakataji wa kaki wa hali ya juu, ambapo uthabiti wa juu wa mafuta na utendakazi thabiti ni muhimu. Iwe unafanya kazi na kaki za semiconductor au substrates nyingine dhaifu, usaidizi huu wa ubora wa grafiti utaimarisha mchakato wako wa kutegemewa na ubora wa bidhaa, na kuifanya kuwa sehemu ya lazima kwa utengenezaji wa kisasa.

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

VET Nishati PECVD mchakato wa msaada wa kaki ya grafiti ni msingi wa matumizi ulioundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (uwekaji wa kemikali ya plasma iliyoimarishwa). Bidhaa hii imetengenezwa kwa nyenzo za grafiti zenye ubora wa juu, zenye msongamano wa juu, na upinzani bora wa joto la juu, upinzani wa kutu, utulivu wa dimensional na sifa zingine, inaweza kutoa jukwaa la usaidizi thabiti kwa mchakato wa PECVD, ili kuhakikisha usawa na usawa wa utuaji wa filamu.

Muundo wa "msaada wa grafiti" wa msaada wa kaki ya grafiti ya VET Nishati hauwezi tu kuunga mkono kwa ufanisi kaki, lakini pia kutoa utulivu wa joto katika hali ya joto ya juu na shinikizo la juu la mazingira ya PECVD ili kuhakikisha utulivu wa mchakato.

Usaidizi wa kaki ya grafiti katika mchakato wa VET Nishati PECVD una sifa zifuatazo:

▪Usafi wa hali ya juu:maudhui ya uchafu wa chini sana, epuka uchafuzi wa filamu, ili kuhakikisha ubora wa filamu.

▪Msongamano mkubwa:high wiani, high mitambo nguvu, inaweza kuhimili joto la juu na shinikizo PECVD mazingira.

▪Utulivu mzuri wa sura:mabadiliko madogo ya dimensional kwa joto la juu ili kuhakikisha utulivu wa mchakato.

▪Uendeshaji bora wa joto:kwa ufanisi kuhamisha joto ili kuzuia overheating kaki.

▪Upinzani mkubwa wa kutu:Inaweza kuhimili mmomonyoko wa ardhi na gesi babuzi na plasma.

▪Huduma iliyobinafsishwa:Jedwali la msaada wa grafiti za ukubwa na maumbo tofauti zinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.

Nyenzo za grafiti kutoka SGL:

Kigezo cha kawaida: R6510
Kielezo	Kiwango cha mtihani	Thamani	Kitengo
Ukubwa wa wastani wa nafaka	ISO 13320	10	μm
Wingi msongamano	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Fungua porosity	DIN66133	10	%
Ukubwa wa pore wa kati	DIN66133	1.8	μm
Upenyezaji	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ugumu wa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivity maalum ya umeme	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Nguvu ya flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nguvu ya kukandamiza	DIN 51910	130	MPa
Moduli ya vijana	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Upanuzi wa joto (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Uendeshaji wa joto (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua kwa ufanisi wa hali ya juu, kusaidia usindikaji wa kaki wa ukubwa mkubwa wa G12. Muundo ulioboreshwa wa mtoa huduma huongeza kwa kiasi kikubwa matumizi, kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama ya chini ya uzalishaji.

Kipengee	Aina	Mtoa huduma wa kaki
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 156	156-13 mashua ya grephite	144
	156-19 mashua ya grephite	216
	156-21 mashua ya grephite	240
	156-23 mashua ya grafiti	308
Boti ya Grephite ya PEVCD - Mfululizo wa 125	125-15 mashua ya grephite	196
	125-19 mashua ya grephite	252
	125-21 mashua ya grphite	280