Muundo wa ndani wa vifaa vya bomba la tanuru huelezewa kwa undani

Kama inavyoonyeshwa hapo juu, ni kawaida

Nusu ya kwanza:

▪ Kipengele cha Kupasha joto (coil ya kupasha joto):

iko karibu na bomba la tanuru, kwa kawaida hutengenezwa kwa waya za upinzani, zinazotumiwa kupasha joto ndani ya bomba la tanuru.

▪ Mrija wa Quartz:

Msingi wa tanuru ya oxidation ya moto, iliyotengenezwa kwa quartz ya usafi wa juu ambayo inaweza kuhimili joto la juu na kubaki ajizi ya kemikali.

▪ Mlisho wa Gesi:

Iko kwenye sehemu ya juu au upande wa bomba la tanuru, hutumiwa kusafirisha oksijeni au gesi nyingine hadi ndani ya bomba la tanuru.

▪ SS Flange:

vipengele vinavyounganisha zilizopo za quartz na mistari ya gesi, kuhakikisha tightness na utulivu wa uhusiano.

▪ Njia za Kulisha Gesi:

Mabomba ambayo huunganisha MFC kwenye bandari ya usambazaji wa gesi kwa usambazaji wa gesi.

▪ MFC (Kidhibiti cha Mtiririko wa Misa) :

Kifaa kinachodhibiti mtiririko wa gesi ndani ya bomba la quartz ili kudhibiti kwa usahihi kiwango cha gesi kinachohitajika.

▪ Kipenyo:

Inatumika kutoa gesi ya kutolea nje kutoka ndani ya bomba la tanuru hadi nje ya kifaa.

Sehemu ya chini:

▪ Vifurushi vya Silicon:

Kaki za silicon zimewekwa kwenye Kishikilia maalum ili kuhakikisha joto sawa wakati wa oxidation.

▪ Kishikilia Kaki:

Inatumika kushikilia kaki ya silicon na kuhakikisha kuwa kaki ya silicon inabaki thabiti wakati wa mchakato.

▪ Msingi:

Muundo unaoshikilia Kishikilia kaki cha silicon, kwa kawaida hutengenezwa kwa nyenzo zinazostahimili joto la juu.

▪ Lifti:

Hutumika kuinua vishikilia kaki ndani na nje ya mirija ya quartz kwa ajili ya upakiaji otomatiki na upakuaji wa kaki za silicon.

▪ Roboti ya Kuhamisha Kaki:

iko kando ya kifaa cha bomba la tanuru, hutumiwa kuondoa kiotomatiki kaki ya silicon kutoka kwenye sanduku na kuiweka kwenye bomba la tanuru, au kuiondoa baada ya usindikaji.

▪ Jukwaa la Kuhifadhi Kaseti:

Jukwaa la kuhifadhia kaseti hutumika kuhifadhi kisanduku chenye kaki za silicon na kinaweza kuzungushwa kwa ufikiaji wa roboti.

▪ Kaseti ya Kaki:

kaseti ya kaki hutumika kuhifadhi na kuhamisha kaki za silicon ili zichakatwa.