Muundo wa ndani wa vifaa vya bomba la tanuru huelezewa kwa undani

Kama inavyoonyeshwa hapo juu, ni kawaida

Nusu ya kwanza:
Kipengele cha Kupokanzwa (coil inapokanzwa) : iko karibu na bomba la tanuru, kwa kawaida hutengenezwa kwa waya za upinzani, zinazotumiwa kwa joto ndani ya bomba la tanuru.
Quartz Tube: Kiini cha tanuru ya oksidi ya moto, iliyotengenezwa kwa quartz ya hali ya juu ambayo inaweza kuhimili joto la juu na kubaki ajizi ya kemikali.
Mlisho wa Gesi: Iko kwenye sehemu ya juu au upande wa bomba la tanuru, hutumiwa kusafirisha oksijeni au gesi nyingine hadi ndani ya bomba la tanuru.
SS Flange: vipengele vinavyounganisha zilizopo za quartz na mistari ya gesi, kuhakikisha mshikamano na utulivu wa uhusiano.
Laini za Milisho ya Gesi: Mabomba ambayo huunganisha MFC kwenye bandari ya usambazaji wa gesi kwa usambazaji wa gesi.
MFC (Kidhibiti cha Mtiririko wa Misa) : Kifaa kinachodhibiti mtiririko wa gesi ndani ya bomba la quartz ili kudhibiti kwa usahihi kiwango cha gesi kinachohitajika.
Kipenyo: Hutumika kutoa gesi ya kutolea nje kutoka ndani ya bomba la tanuru hadi nje ya kifaa.

Sehemu ya chini
Kaki za Silikoni kwenye Vishikilizi: Kaki za silicon huwekwa kwenye Kishikilia maalum ili kuhakikisha joto sawa wakati wa oxidation.
Kishikilia Kaki: Hutumika kushikilia kaki ya silicon na kuhakikisha kuwa kaki ya silicon inabaki thabiti wakati wa mchakato.
Pedestal: Muundo unaoshikilia Kishikio cha kaki ya silicon, kwa kawaida hutengenezwa kwa nyenzo zinazostahimili joto la juu.
Lifti: Hutumika kuinua vishikilia kaki ndani na nje ya mirija ya quartz kwa ajili ya upakiaji otomatiki na upakuaji wa kaki za silicon.
Roboti ya Uhamisho wa Kaki: iko kando ya kifaa cha bomba la tanuru, hutumiwa kuondoa kiotomatiki kaki ya silicon kutoka kwenye sanduku na kuiweka kwenye bomba la tanuru, au kuiondoa baada ya usindikaji.
Jukwaa la Kuhifadhi Kaseti: Jukwa la kuhifadhia Kaseti hutumika kuhifadhi kisanduku chenye kaki za silicon na kinaweza kuzungushwa kwa ufikiaji wa roboti.
Kaseti ya Kaki: Kaseti ya kaki hutumika kuhifadhi na kuhamisha kaki za silicon ili zichakatwa.