Jinsi ya kusafisha mashua ya grafiti ya PECVD?| Nishati ya VET

1. Kukiri kabla ya kusafisha

1) WakatiPECVD mashua ya grafiti/ carrier hutumiwa zaidi ya mara 100 hadi 150, operator anahitaji kuangalia hali ya mipako kwa wakati. Ikiwa kuna mipako isiyo ya kawaida, inahitaji kusafishwa na kuthibitishwa. Rangi ya kawaida ya mipako ya kaki ya silicon katika mashua ya grafiti ni bluu. Ikiwa kaki haina rangi ya bluu, rangi nyingi, au tofauti ya rangi kati ya kaki ni kubwa, ni mipako isiyo ya kawaida, na sababu ya kutofautiana inahitaji kuthibitishwa kwa wakati.
2) Baada ya mchakato wa wafanyakazi kuchambua hali ya mipako yaPECVD mashua ya grafiti/mtoa huduma, wataamua ikiwa mashua ya grafiti inahitaji kusafishwa na ikiwa sehemu ya kadi inahitaji kubadilishwa, na mashua ya grafiti/mbeba ambayo inahitaji kusafishwa itakabidhiwa kwa wafanyakazi wa vifaa kwa ajili ya kusafisha.

 

3) Baada yamashua ya grafiti/carrier imeharibiwa, wafanyikazi wa uzalishaji watachukua kaki zote za silicon kwenye mashua ya grafiti na kutumia CDA (hewa iliyobanwa) kupanga vipande kwenyemashua ya grafiti. Baada ya kukamilika, wafanyakazi wa vifaa wataiinua kwenye tank ya asidi ambayo imeandaliwa na sehemu fulani ya ufumbuzi wa HF kwa ajili ya kusafisha.

 

2. Kusafisha mashua ya grafiti

Inashauriwa kutumia suluhisho la asidi ya hidrofloriki 15-25% kwa raundi tatu za kusafisha, kila moja kwa masaa 4-5, na mara kwa mara kunyunyiza nitrojeni wakati wa mchakato wa kuloweka na kusafisha, na kuongeza karibu nusu saa ya kusafisha; kumbuka: haipendekezwi kutumia hewa moja kwa moja kama chanzo cha gesi kwa kububujika. Baada ya kuokota, suuza kwa maji safi kwa karibu masaa 10, na uhakikishe kuwa mashua imesafishwa vizuri. Baada ya kusafisha, tafadhali angalia uso wa mashua, sehemu ya kadi ya grafiti na kiungo cha karatasi ya mashua, na sehemu nyingine ili kuona kama kuna mabaki ya nitridi ya silicon. Kisha kavu kulingana na mahitaji.

3. Tahadhari za kusafisha

A) Kwa kuwa asidi ya HF ni dutu yenye babuzi na ina tete fulani, ni hatari kwa waendeshaji. Kwa hivyo, waendeshaji kwenye kituo cha kusafisha lazima wachukue tahadhari za usalama na wasimamiwe na mtu aliyejitolea.

B) Inashauriwa kutenganisha mashua na kusafisha tu sehemu ya grafiti wakati wa kusafisha, ili kila sehemu ya mawasiliano inaweza kusafishwa vizuri zaidi. Kwa sasa, wazalishaji wengi wa ndani hutumia kusafisha kwa ujumla, ambayo ni rahisi, lakini kwa sababu asidi ya HF ni babuzi kwa sehemu za kauri, kusafisha kwa ujumla kutapunguza maisha ya huduma ya sehemu zinazofanana.