Kazi kuu zamashua ya siliconmsaada na msaada wa mashua ya quartz ni sawa.Mashua ya silicon carbidemsaada una utendaji bora lakini bei ya juu. Inajumuisha uhusiano mbadala na usaidizi wa boti ya quartz katika vifaa vya usindikaji wa betri na hali mbaya ya kufanya kazi (kama vile vifaa vya LPCVD na vifaa vya uenezaji wa boroni). Katika vifaa vya usindikaji wa betri na hali ya kawaida ya kufanya kazi, kwa sababu ya uhusiano wa bei, silicon carbudi na usaidizi wa mashua ya quartz huwa aina zinazofanana na zinazoshindana.
① Uhusiano wa kubadilisha katika LPCVD na vifaa vya kueneza boroni
Vifaa vya LPCVD hutumiwa kwa oxidation ya seli ya betri na mchakato wa maandalizi ya safu ya polysilicon. Kanuni ya kazi:
Chini ya angahewa ya shinikizo la chini, pamoja na joto linalofaa, mmenyuko wa kemikali na uundaji wa filamu ya utuaji hupatikana ili kuandaa safu nyembamba ya oksidi ya tunnel na filamu ya polysilicon. Katika mchakato wa utayarishaji wa vichuguu na utayarishaji wa safu ya polysilicon ya doped, usaidizi wa mashua una joto la juu la kufanya kazi na filamu ya silicon itawekwa juu ya uso. Mgawo wa upanuzi wa joto wa quartz ni tofauti kabisa na ule wa silicon. Inapotumika katika mchakato ulio hapo juu, inahitajika kuchuja mara kwa mara na kuondoa silicon iliyowekwa kwenye uso ili kuzuia usaidizi wa boti ya quartz kutoka kwa kuvunjika kwa sababu ya upanuzi wa mafuta na kusinyaa kwa sababu ya mgawo tofauti wa upanuzi wa mafuta kutoka kwa silicon. Kwa sababu ya kuokota mara kwa mara na nguvu ya chini ya joto la juu, mmiliki wa mashua ya quartz ana maisha mafupi na mara nyingi hubadilishwa katika oxidation ya handaki na mchakato wa utayarishaji wa safu ya polysilicon, ambayo huongeza kwa kiasi kikubwa gharama ya uzalishaji wa seli ya betri. Mgawo wa upanuzi wasilicon carbudiiko karibu na ile ya silicon. Iliyounganishwamashua ya siliconmmiliki hauhitaji pickling katika handaki oxidation na doped polysilicon safu ya mchakato wa maandalizi. Ina nguvu ya juu ya joto na maisha ya muda mrefu ya huduma. Ni mbadala nzuri kwa mmiliki wa mashua ya quartz.
Vifaa vya upanuzi wa boroni hutumiwa hasa kwa ajili ya mchakato wa vipengele vya boroni ya doping kwenye substrate ya kaki ya silicon ya aina ya N ya seli ya betri ili kuandaa emitter ya aina ya P kuunda makutano ya PN. Kanuni ya kazi ni kutambua athari ya kemikali na uundaji wa filamu ya uwekaji wa molekuli katika angahewa yenye joto la juu. Baada ya filamu kuundwa, inaweza kusambazwa na joto la juu ili kutambua kazi ya doping ya uso wa kaki ya silicon. Kutokana na joto la juu la kazi ya vifaa vya upanuzi wa boroni, mmiliki wa mashua ya quartz ana nguvu ya chini ya joto la juu na maisha mafupi ya huduma katika vifaa vya upanuzi wa boroni. Iliyounganishwamashua ya siliconmmiliki ana nguvu ya juu ya joto na ni mbadala nzuri kwa mmiliki wa mashua ya quartz katika mchakato wa upanuzi wa boroni.
② Uhusiano wa kubadilisha katika vifaa vingine vya mchakato
Vifaa vya mashua vya SiC vina uwezo mdogo wa uzalishaji na utendaji bora. Bei yao kwa ujumla ni ya juu kuliko ile ya vifaa vya mashua vya quartz. Katika hali ya jumla ya kazi ya vifaa vya usindikaji wa seli, tofauti katika maisha ya huduma kati ya msaada wa mashua ya SiC na mashua ya quartz ni ndogo. Wateja wa chini hulinganisha na kuchagua kati ya bei na utendakazi kulingana na michakato na mahitaji yao wenyewe. Viunga vya mashua ya SiC na viunga vya mashua vya quartz vimedumu na kushindana. Hata hivyo, kiasi cha faida ya jumla ya viunga vya mashua ya SiC ni kikubwa kwa sasa. Pamoja na kupungua kwa gharama ya uzalishaji wa vifaa vya mashua ya SiC, ikiwa bei ya kuuza ya mashua ya SiC inakubali kupungua kikamilifu, italeta ushindani mkubwa kwa vifaa vya mashua vya quartz.
Uwiano wa matumizi
Njia ya teknolojia ya seli ni teknolojia ya PERC na teknolojia ya TOPCon. Sehemu ya soko ya teknolojia ya PERC ni 88%, na sehemu ya soko ya teknolojia ya TOPCon ni 8.3%. Sehemu ya soko ya pamoja ya hizi mbili ni 96.30%.
Kama inavyoonyeshwa kwenye takwimu hapa chini:
Katika teknolojia ya PERC, viunga vya mashua vinahitajika kwa ajili ya uenezaji wa fosforasi ya mbele na michakato ya kupenyeza. Katika teknolojia ya TOPCon, viunga vya mashua vinahitajika kwa uenezaji wa boroni ya mbele, LPCVD, uenezaji wa fosforasi nyuma na michakato ya kunyonya. Kwa sasa, vifaa vya kusaidia mashua ya silicon carbide hutumiwa hasa katika mchakato wa LPCVD wa teknolojia ya TOPCon, na matumizi yao katika mchakato wa uenezaji wa boroni yamethibitishwa hasa.
Kielelezo Utumiaji wa mashua inasaidia katika mchakato wa kuchakata seli
Kumbuka: Baada ya mipako ya mbele na ya nyuma ya teknolojia ya PERC na TOPCon, bado kuna viungo kama vile uchapishaji wa skrini, uchezaji na upimaji na upangaji, ambavyo havihusishi matumizi ya vifaa vya kuhimili mashua na havijaorodheshwa kwenye takwimu hapo juu.
Muda wa kutuma: Oct-15-2024