Kiselkarbidbelagd wafer-susceptorskiva

Kort beskrivning:

VET Energys kiselkarbidbelagda wafermottagare är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda över en längre period. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.

Skicka e-post till oss Ladda ner som PDF

Produktinformation

Produktetiketter

Kiselkarbidskiva är en nyckelkomponent som används i olika halvledartillverkningsprocesser. Vi använder vår patenterade teknik för att göra kiselkarbidskivorna säkrare med extremt hög renhet, god beläggningsjämnhet och utmärkt livslängd, samt hög kemisk resistens och termisk stabilitet.

VET Energy är den verkliga tillverkaren av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC, TaC, pyrolytiskt kol, glasartat kol etc., och kan leverera olika kundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Vårt tekniska team kommer från ledande inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material och har utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

Fegenskaper hos våra produkter:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700℃.
2. Hög renhet ochtermisk likformighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning
性质 / Fastighet	典型数值 / Typiskt värde
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-fas多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitet	3,21 g/cm³
硬度 / Hårdhet	2500 维氏硬度（500g last）
晶粒大小 / Kornstorlek	2~10 μm
纯度 / Kemisk renhet	99,99995 %
热容 / Värmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimeringstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Böjhållfasthet	415 MPa RT 4-punkts
杨氏模量 / Youngs modul	430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃
导热系数 / TermajagLedningsförmåga	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1