Kiselkarbidbelagd Wafer Susceptor Disc

Kort beskrivning:

VET Energy kiselkarbidbelagd wafer susceptorskiva är en högpresterande produkt designad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda under en längre period. Den har superbra värmebeständighet och termisk enhetlighet, hög renhet, erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.


Produktdetaljer

Produkttaggar

Silicon Carbide Wafer Disc är en nyckelkomponent som används i olika tillverkningsprocesser för halvledartillverkning. vi använder vår patenterade teknologi för att göra kiselkarbiden säkrare skiva med extremt hög renhet, god beläggningslikformighet och en utmärkt livslängd, samt hög kemisk beständighet och termiska stabilitetsegenskaper.

VET Energy är den verkliga tillverkaren av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med olika beläggningar som SiC, TaC, pyrolytiskt kol, glasartat kol, etc., kan leverera olika skräddarsydda delar för halvledar- och solcellsindustrin. Vårt tekniska team kommer från de bästa inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningar för dig.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material, och har arbetat fram en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

Fegenskaper hos våra produkter:

1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700.
2. Hög renhet ochtermisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / kornstorlek

2~10μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt böj, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!