MOCVD substratvärmare, Värmeelement för MOCVD,
grafitvärmare, värmare, MOCVD substratvärmare,
SIC-belagd grafitvärmare med lång livslängd för MOCVD K465i
Degrafitvärmarekomponenter används i högtemperaturugnen med en temperatur på 2200 grader i vakuummiljö och 3000 grader i den deoxiderade och införda gasmiljön.
Huvuddragen igrafitvärmare:
1. enhetlighet för värmestruktur.
2. god elektrisk ledningsförmåga och hög elektrisk belastning.
3. korrosionsbeständighet.
4. inoxiderbarhet.
5. hög kemisk renhet.
6. hög mekanisk hållfasthet.
Fördelen är energieffektiv, högt värde och lågt underhåll.
Vi kan producera antioxidations- och grafitdegel med lång livslängd, grafitform och alla delar av grafitvärmare.
Huvudparametrar för grafitvärmare:
Teknisk specifikation | VET-M3 |
Bulkdensitet (g/cm3) | ≥1,85 |
Askinnehåll (PPM) | ≤500 |
Shore hårdhet | ≥45 |
Specifik resistans (μ.Ω.m) | ≤12 |
Flexural Strength (Mpa) | ≥40 |
Kompressionsstyrka (Mpa) | ≥70 |
Max. Kornstorlek (μm) | ≤43 |
Termisk expansionskoefficient Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitvärmare för elektrisk ugn har egenskaper som värmebeständighet, oxidationsbeständighet, god elektrisk ledningsförmåga och bättre mekanisk intensitet. Vi kan bearbeta olika typer av grafitvärmare enligt kundernas design.