Produktegenskaper
· Excellent hög temperatur prestanda
PyC-beläggning har egenskaper med tät struktur, utmärkt värmebeständighet, god värmeledningsförmåga och slitstyrka. Eftersom båda är kolelement har den stark vidhäftning med grafit och kan täta kvarvarande flyktiga ämnen inuti grafiten för att förhindra kontaminering från kolpartiklar.
· Kontrollerbar renhet
Renheten hos PyC-beläggningen kan nå en nivå av 5 ppm, vilket uppfyller renhetskraven för spplications med hög renhet.
· Förlängd service liv och förbättrats produkt qkvalitet
PyC-beläggning kan effektivt förlänga livslängden för grafitkomponenter och förbättra produktkvaliteten och därigenom effektivt minska kundproduktionskostnaderna.
·Bred räckvidd of applikationer
PyC-beläggning används huvudsakligen i högtemperaturfält såsom Si/SiC-halvledarkristalltillväxt, jonimplantation, metallsmältning för halvledare och instruentanalys.
Produkt Specifikationer
Typisk prestanda | Enhet | Specifikation |
Kristallstruktur | Hexagonal | |
Inriktning | Orienterad eller icke-orienterad längs 0001-riktningen | |
Bulkdensitet | g/cm³ | -2.24 |
Mikrostruktur | Polykristallin/multiskiktsgrafen | |
Hårdhet | GPa | 1.1 |
Elastisk modul | GPa | 10 |
Typisk tjocklek | μm | 30-100 |
Ytjämnhet | μm | 1.5 |
Produktens renhet | ppm | ≤5 ppm |