Den avanceradeSiC Cantilever paddelfor Wafer Processing skapad av vet-kina ger en utmärkt lösning för halvledartillverkning. Denna fribärande paddel är gjord av SiC-material (kiselkarbid), och dess höga hårdhet och värmebeständighet gör att den kan bibehålla utmärkta prestanda i höga temperaturer och korrosiva miljöer. Designen av Cantilever Paddle gör att wafern kan stödjas på ett tillförlitligt sätt under bearbetning, vilket minskar risken för fragmentering och skador.
SiC Cantilever paddelär en specialiserad komponent som används i halvledartillverkningsutrustning såsom oxidationsugn, diffusionsugn och glödgningsugn, den huvudsakliga användningen är för lastning och lossning av wafers, stödjer och transporterar wafers under högtemperaturprocesser.
Vanliga struktureravSiccantileverpaddle: en fribärande struktur, fixerad i ena änden och fri i den andra, har vanligtvis en platt och paddelliknande design.
VET Energy använder högrena omkristalliserade kiselkarbidmaterial för att garantera kvaliteten.
| Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| Egendom | Typiskt värde |
| Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| SiC-innehåll | > 99,96 % |
| Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Synbar porositet | < 16 % |
| Kompressionsstyrka | > 600MPa |
| Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmböjhållfasthet | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Värmeledningsförmåga @1200°C | 23W/m•K |
| Elastisk modul | 240 GPa |
| Motståndskraft mot termisk stöt | Extremt bra |
Fördelarna med VET Energys Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing är:
-Hög temperaturstabilitet: användbar i miljöer över 1600°C;
-Låg värmeutvidgningskoefficient: bibehåller dimensionsstabilitet, vilket minskar risken för wafer-skev;
-Hög renhet: lägre risk för metallkontamination;
-Kemisk tröghet: korrosionsbeständig, lämplig för olika gasmiljöer;
-Hög styrka och hårdhet: Slitstark, lång livslängd;
-God värmeledningsförmåga: hjälper till med enhetlig uppvärmning av wafer.
