Énergi VETPembawa grafit prosés PECVD mangrupikeun bahan konsumsi kualitas luhur anu disaluyukeun pikeun prosés PECVD (deposisi uap kimia ditingkatkeun plasma). Pamawa grafit ieu dijieunna tina purity tinggi, bahan grafit dénsitas luhur, kalawan résistansi suhu luhur alus teuing, résistansi korosi, stabilitas dimensi jeung ciri séjén, bisa nyadiakeun platform pamawa stabil pikeun prosés PECVD, pikeun mastikeun uniformity na flatness tina pilem ipis. déposisi.
Pamawa grafit pikeun prosés PECVD gaduh ciri-ciri ieu:
▪ Purity tinggi: eusi najis pisan low, Ngahindarkeun kontaminasi pilem tur mastikeun kualitas pilem.
▪ Kapadetan luhur: kapadetan luhur, kakuatan mékanis anu luhur, sanggup tahan suhu luhur sareng lingkungan PECVD tekanan tinggi.
▪ stabilitas dimensi alus: robah dimensi leutik dina suhu luhur, mastikeun stabilitas prosés.
▪ konduktivitas termal alus teuing: éféktif mindahkeun panas pikeun nyegah overheating wafer.
▪ Résistansi korosi anu kuat: sanggup nolak erosi ku rupa-rupa gas korosif sareng plasma.
▪ jasa ngaropéa: operator grafit tina ukuran béda jeung wangun bisa ngaropéa nurutkeun pangabutuh customer.
Bahan grafit tina SGL:
Parameter has: R6510 | |||
Indéks | Standar tés | Nilai | Unit |
Ukuran gandum rata | ISO 13320 | 10 | μm |
Kapadetan bulk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Buka porosity | DIN66133 | 10 | % |
Ukuran pori sedeng | DIN66133 | 1.8 | μm |
Perméabilitas | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell karasa HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Résistivitas listrik spésifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Kakuatan flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kakuatan compressive | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus ngora | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
ékspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
konduktivitas termal (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ieu husus dirancang pikeun-efisiensi tinggi manufaktur sél surya, ngarojong G12 badag-ukuran processing wafer. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat ngahasilkeun anu langkung luhur sareng ngirangan biaya produksi.
Barang | Tipe | Angka wafer carrier |
PEVCD Grephite parahu - The 156 runtuyan | 156-13 parahu grephite | 144 |
156-19 parahu grephite | 216 | |
156-21 parahu grephite | 240 | |
156-23 parahu grafit | 308 | |
PEVCD Grephite parahu - The 125 runtuyan | 125-15 parahu grephite | 196 |
125-19 parahu grephite | 252 | |
125-21 parahu grafit | 280 |