Parahu wafer grafit VET Energy mangrupikeun bahan konsumsi kualitas luhur anu cocog pikeun prosés déposisi dina semikonduktor, fotovoltaik sareng industri sanésna. Dijieunna tina purity tinggi, bahan grafit dénsitas luhur, produk ieu boga résistansi suhu luhur alus teuing, résistansi korosi, stabilitas dimensi jeung ciri séjén, sarta bisa nyadiakeun platform pamawa stabil pikeun prosés déposisi pikeun mastikeun uniformity na flatness of déposisi pilem ipis. .
Parahu grafit PECVD ti VET Energy didamel nganggo grafit isostatik kemurnian tinggi, nunjukkeun porositas handap 15% sareng kasarna permukaan Ra≤1.6μm. Stabilitas diménsi unggul sareng konduktivitas termal mastikeun déposisi pilem seragam sareng efisiensi sél ditingkatkeun.
Bahan grafit tina SGL:
Parameter has: R6510 | |||
Indéks | Standar tés | Nilai | Unit |
Ukuran gandum rata | ISO 13320 | 10 | μm |
Kapadetan bulk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Buka porosity | DIN66133 | 10 | % |
Ukuran pori sedeng | DIN66133 | 1.8 | μm |
Perméabilitas | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell karasa HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Résistivitas listrik spésifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Kakuatan flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kakuatan compressive | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus ngora | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
ékspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
konduktivitas termal (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ieu husus dirancang pikeun-efisiensi tinggi manufaktur sél surya, ngarojong G12 badag-ukuran processing wafer. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat ngahasilkeun anu langkung luhur sareng ngirangan biaya produksi.
Barang | Tipe | Angka wafer carrier |
PEVCD Grephite parahu - The 156 runtuyan | 156-13 parahu grephite | 144 |
156-19 parahu grephite | 216 | |
156-21 parahu grephite | 240 | |
156-23 parahu grafit | 308 | |
PEVCD Grephite parahu - The 125 runtuyan | 125-15 parahu grephite | 196 |
125-19 parahu grephite | 252 | |
125-21 parahu grafit | 280 |