Énergi VETParahu grafit PECVD pikeun sél surya mangrupikeun bahan konsumsi inti anu dirancang pikeun prosés PECVD (deposisi uap kimia ditingkatkeun plasma) sél surya. Parahu grafit dijieunna tina-purity tinggi grafit isostatic kalawan porosity kirang ti 15% sarta roughness permukaan Ra≤1.6μm. Éta gaduh sipat anu saé sapertos résistansi suhu luhur, résistansi korosi, sareng stabilitas dimensi. stabilitas dimensi alus teuing jeung konduktivitas termal mastikeun déposisi pilem seragam jeung ningkatkeun efisiensi batré. Éta tiasa nyayogikeun pamawa anu stabil dina lingkungan PECVD suhu luhur sareng tekanan tinggi pikeun mastikeun déposisi seragam sareng kualitas luhur pilem sél surya.
Bahan grafit tina SGL:
| Parameter has: R6510 | |||
| Indéks | Standar tés | Nilai | Unit |
| Ukuran gandum rata | ISO 13320 | 10 | μm |
| Kapadetan bulk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Buka porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Ukuran pori sedeng | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Perméabilitas | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell karasa HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Résistivitas listrik spésifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Kakuatan flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Kakuatan compressive | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus ngora | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| ékspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| konduktivitas termal (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ieu husus dirancang pikeun-efisiensi tinggi manufaktur sél surya, ngarojong G12 badag-ukuran processing wafer. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat ngahasilkeun anu langkung luhur sareng ngirangan biaya produksi.
| Barang | Tipe | Angka wafer carrier |
| PEVCD Grephite parahu - The 156 runtuyan | 156-13 parahu grephite | 144 |
| 156-19 parahu grephite | 216 | |
| 156-21 parahu grephite | 240 | |
| 156-23 parahu grafit | 308 | |
| PEVCD Grephite parahu - The 125 runtuyan | 125-15 parahu grephite | 196 |
| 125-19 parahu grephite | 252 | |
| 125-21 parahu grafit | 280 |
