Sebopeho sa ka hare sa thepa ea tube ea sebōpi se hlalosoa ka ho qaqileng

Joalokaha ho bontšitsoe ka holimo, ke e tloaelehileng

Halofo ea pele:

▪ Heating Element (heating coil) :

e lutseng ho pota-potile tube ea sebōpi, hangata e entsoe ka lithapo tsa ho hanyetsa, tse sebelisetsoang ho futhumatsa ka hare ho tube ea sebōpi.

▪ Quartz Tube:

Mokotla oa sebōpi se chesang sa oxidation, se entsoeng ka quartz e hloekileng haholo e khonang ho mamella mocheso o phahameng 'me e lule e se na lik'hemik'hale.

▪ Phepelo ea Khase:

E fumaneha ka holimo kapa ka lehlakoreng la tube ea sebōpi, e sebelisetsoa ho tsamaisa oksijene kapa likhase tse ling ka hare ho tube ea sebōpi.

▪ SS Flange:

likarolo tse kopanyang li-tubes tsa quartz le melapo ea khase, ho netefatsa ho tiea le botsitso ba ho hokahanya.

▪ Mehala ea Phepelo ea Khase:

Liphaephe tse hokahanyang MFC le boema-kepe ba phepelo ea khase bakeng sa phetiso ea khase.

▪ MFC (Molaoli oa Phallo ea Boima) :

Sesebelisoa se laolang ho phalla ha khase ka har'a tube ea quartz ho laola ka nepo palo ea khase e hlokahalang.

▪ Sekhahla:

E sebedisetsoa ho ntša khase ea ho ntša metsi ho tloha ka har'a tube ea sebōpi ho ea ka ntle ho thepa.

Karolo e ka tlase:

▪ Li-Wafers tsa Silicon ka Holder:

Li-wafers tsa silicon li kenngoa ka har'a Holder e khethehileng ho netefatsa mocheso o ts'oanang nakong ea oxidation.

▪ Sets'oere:

E sebelisetsoa ho tšoara sephaphatha sa silicon le ho netefatsa hore sephaphatha sa silicon se lula se tsitsitse nakong ea ts'ebetso.

▪ Pedestal:

Sebopeho se ts'oereng sephaphatha sa silicon, hangata se entsoe ka thepa e hanyetsanang le mocheso o phahameng.

▪ Elevator:

E sebelisetsoa ho phahamisa li-wafer ho kena le ho tsoa ka har'a li-tubes tsa quartz bakeng sa ho kenya le ho laolla liphaephe tsa silicon.

▪ Wafer Transfer Robot:

e ka lehlakoreng la sesebelisoa sa tube ea sebōpi, e sebelisetsoa ho tlosa sephaphatha sa silicon ka lebokoseng ebe o se beha ka har'a tube ea sebōpi, kapa ho e tlosa ka mor'a ho sebetsa.

▪ Cassette Storage Carousel:

Carousel ea polokelo ea lik'hasete e sebelisetsoa ho boloka lebokose le nang le liphaephe tsa silicon 'me le ka fetisoa bakeng sa ho fihlella liroboto.