Sebopeho sa ka hare sa thepa ea tube ea sebōpi se hlalosoa ka ho qaqileng

Joalokaha ho bontšitsoe ka holimo, ke e tloaelehileng

Halofo ea pele:
Heating Element (chelete e futhumatsang) : e pota-potileng tube ea sebōpi, hangata e entsoe ka lithapo tsa ho hanyetsa, tse sebelisetsoang ho futhumatsa ka hare ho tube ea sebōpi.
Quartz Tube: Moko oa sebōpi se chesang sa oxidation, se entsoeng ka quartz e hloekileng haholo e khonang ho mamella mocheso o phahameng 'me e lule e se na lik'hemik'hale.
Lijo tsa Khase: E fumaneha ka holimo kapa ka lehlakoreng la tube ea sebōpi, e sebelisetsoa ho tsamaisa oksijene kapa likhase tse ling ho ea ka hare ho tube ea sebōpi.
SS Flange: likarolo tse kopanyang li-tubes tsa quartz le mela ea khase, ho netefatsa ho tiea le botsitso ba ho hokahanya.
Mehala ea Phepelo ea Khase: Lipeipi tse hokahanyang MFC le boema-kepe ba phepelo ea khase bakeng sa phetiso ea khase.
MFC (Mass Flow Controller) : Sesebelisoa se laolang phallo ea khase ka har'a tube ea quartz ho laola ka nepo palo ea khase e hlokahalang.
Vent: E sebelisetsoa ho ntša khase e tsoang ka har'a sebōpi ho ea ka ntle ho thepa.

Karolo e ka tlase
Li-Silicon Wafers in Holder: Li-wafers tsa silicon li behiloe ka har'a Holder e khethehileng ho netefatsa mocheso o ts'oanang nakong ea oxidation.
Wafer Holder: E sebelisoa ho tšoara sephaphatha sa silicon le ho netefatsa hore sephaphatha sa silicon se lula se tsitsitse nakong ea ts'ebetso.
Pedestal: Sebopeho se ts'oereng sephaphatha sa silicon, hangata se entsoe ka thepa e hanyetsanang le mocheso o phahameng.
Elevator: E sebelisoa ho phahamisa li-wafer ho kena le ho tsoa ka har'a li-tubes tsa quartz bakeng sa ho kenya le ho laolla liphaephe tsa silicon.
Wafer Transfer Robot: e ka lehlakoreng la sesebelisoa sa tube ea sebōpi, e sebelisetsoa ho tlosa sekoahelo sa silicon ka lebokoseng ebe o se beha ka har'a tube ea sebōpi, kapa o se tlose ka mor'a ho sebetsa.
Cassette Storage Carousel: Carousel ea polokelo ea lik'hasete e sebelisetsoa ho boloka lebokose le nang le liphaephe tsa silicon 'me le ka fetisoa bakeng sa ho fihlella liroboto.
Wafer Cassette: wafer cassette e sebediswa ho boloka le ho fetisa silicon wafers ho sebetsa.