Mesebetsi e ka sehloohong easekepe sa silicon carbidetšehetso le tšehetso ea sekepe sa quartz li tšoana.Sekepe sa silicon carbidetšehetso e na le tshebetso e babatsehang empa theko e phahameng. E na le kamano e 'ngoe le ts'ehetso ea sekepe sa quartz lisebelisoa tsa ts'ebetso ea betri tse nang le maemo a thata a ho sebetsa (joalo ka lisebelisoa tsa LPCVD le lisebelisoa tsa phallo ea boron). Lisebelisoa tsa ts'ebetso ea betri tse nang le maemo a tloaelehileng a ho sebetsa, ka lebaka la likamano tsa theko, silicon carbide le tšehetso ea sekepe sa quartz e fetoha lihlopha tse phelisanang le tse hlōlisanang.
① Kamano ea phetisetso ho LPCVD le lisebelisoa tsa phallo ea boron
Thepa ea LPCVD e sebelisoa bakeng sa oxidation ea cell tunneling ea betri le ts'ebetso ea ho lokisa lera la polysilicon. Molao-motheo oa ts'ebetso:
Tlas'a sepakapaka sa khatello e tlase, se kopantsoeng le mocheso o nepahetseng, karabelo ea lik'hemik'hale le sebopeho sa filimi ea deposition se fihlelleha ho lokisa lera le lesesaane la oxide le polysilicon. Ts'ebetsong ea oxidation ea oxidation le doped polysilicon layer layer, tšehetso ea sekepe e na le mocheso o phahameng oa ho sebetsa mme filimi ea silicon e tla beoa holim'a metsi. Coefficient ea katoloso ea mocheso ea quartz e fapane haholo le ea silicon. Ha e sebelisoa ts'ebetsong e ka holimo, hoa hlokahala hore kamehla u khethe le ho tlosa silicon e behiloeng holim'a metsi ho thibela tšehetso ea sekepe sa quartz hore e se ke ea senyeha ka lebaka la ho atolosoa ha mocheso le ho fokotseha ka lebaka la coefficient e fapaneng ea ho atolosa mocheso ho tloha silicon. Ka lebaka la ho kha khafetsa le matla a tlase a mocheso o tlase, sets'oants'o sa sekepe sa quartz se na le bophelo bo bokhuts'oane mme se nkeloa sebaka khafetsa ka har'a kotopo ea oxidation le ts'ebetso ea ho lokisa lera la polysilicon, e eketsang haholo theko ea tlhahiso ea sele ea betri. Katoloso ea coefficient easilicon carbidee haufi le ea silicon. E kopantsoengsekepe sa silicon carbidesets'oants'o ha se hloke ho khetha ka har'a kotopo ea oxidation le ts'ebetso ea ho lokisa lera la polysilicon. E na le matla a phahameng a mocheso le bophelo bo bolelele ba tšebeletso. Ke mokhoa o mong o motle oa ho ts'oara sekepe sa quartz.
Thepa ea katoloso ea Boron e sebelisoa haholo-holo bakeng sa ts'ebetso ea ho etsa li-doping boron element ho mofuta oa N-silicon wafer substrate ea sele ea betri ho lokisa emitter ea mofuta oa P ho theha mateano a PN. Molao-motheo oa ts'ebetso ke ho lemoha karabelo ea lik'hemik'hale le sebopeho sa filimi ea limolek'hule sebakeng sa mocheso o phahameng. Ka mor'a hore filimi e thehoe, e ka fetisoa ke mocheso o phahameng oa mocheso ho lemoha mosebetsi oa doping oa holim'a silicon wafer. Ka lebaka la mocheso o phahameng oa ho sebetsa oa thepa ea katoloso ea boron, sets'oants'o sa sekepe sa quartz se na le matla a tlase a mocheso o phahameng le bophelo bo khuts'oane ba ts'ebeletso ho thepa ea ho atolosa boron. E kopantsoengsekepe sa silicon carbidesets'oants'o se na le matla a phahameng a mocheso o phahameng 'me ke mokhoa o motle ho feta motho ea ts'oereng seketsoana sa quartz ts'ebetsong ea katoloso ea boron.
② Kamano ea ho fetola lisebelisoa tse ling tsa ts'ebetso
Litšehetso tsa sekepe sa SiC li na le bokhoni bo tiileng ba tlhahiso le ts'ebetso e ntle haholo. Litheko tsa bona hangata li phahame ho feta tsa li-quartz boat supports. Maemong a tloaelehileng a ts'ebetso ea lisebelisoa tsa lisebelisoa tsa lisele, phapang ea bophelo ba tšebeletso pakeng tsa litšehetso tsa sekepe sa SiC le litšehetso tsa sekepe sa quartz li nyenyane. Bareki ba tlase haholo ba bapisa le ho khetha pakeng tsa theko le ts'ebetso ho latela lits'ebetso le litlhoko tsa bona. Litšehetso tsa sekepe sa SiC le litšehetso tsa seketsoana sa quartz li se li le 'moho le tlholisano. Leha ho le joalo, phaello e felletseng ea litšehetso tsa sekepe sa SiC e batla e phahame hajoale. Ka ho theoha ha theko ea tlhahiso ea litšehetso tsa sekepe sa SiC, haeba theko ea thekiso ea sekepe sa SiC e tšehetsa e fokotseha ka mafolofolo, e tla boela e be le tlhōlisano e kholo ho litšehetso tsa sekepe sa quartz.
Karolelano ea tšebeliso
Tsela ea theknoloji ea sele ke haholo-holo theknoloji ea PERC le theknoloji ea TOPCon. Kabelo ea 'maraka ea theknoloji ea PERC ke 88%,' me karolo ea mmaraka ea theknoloji ea TOPCon ke 8.3%. Karolo ea 'maraka e kopantsoeng ea bobeli ke 96.30%.
Joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong se ka tlase:
Ho thekenoloji ea PERC, litšehetso tsa likepe lia hlokahala bakeng sa phallo ea phosphorus e ka pele le lits'ebetso tsa annealing. Ho theknoloji ea TOPCon, litšehetso tsa seketsoana lia hlokahala bakeng sa phallo ea boron e ka pele, LPCVD, phallo ea phosphorus e ka morao le lits'ebetso tsa annealing. Hajoale, litšehetso tsa sekepe sa silicon carbide li sebelisoa haholo ts'ebetsong ea LPCVD ea theknoloji ea TOPCon, mme ts'ebeliso ea bona ts'ebetsong ea phallo ea boron e netefalitsoe haholo.
Setšoantšo sa Tšebeliso ea lithuso tsa seketsoana ts'ebetsong ea ts'ebetso ea lisele
Tlhokomeliso: Ka mor'a ho roala ka pele le ka morao tsa theknoloji ea PERC le TOPCon, ho ntse ho e-na le lihokelo tse kang khatiso ea skrine, sintering le liteko le ho hlopha, tse sa kenyelletseng tšebeliso ea litšehetso tsa liketsoana 'me ha li thathamisitsoe setšoantšong se ka holimo.
Nako ea poso: Oct-15-2024